洁净度等级的划分标准及比较.doc

洁净度等级标准洁净度等级标准ISO 14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um5.0um范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um5.0um）、超微粒子（0.1um）和宏粒子（5.0um）。空气洁净度分级标准： ISO14644-1 （国际标准） 空气洁净度等级（N）大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）0.1 um0.2 um0.3 um0.5um1um5 umISO Class 1102 ISO Class 210024104ISO Class 31 000237102358ISO Class 410 0002 3701 02035283ISO Class 5100 00023 70010 2003 52083229ISO Class 61 000 000237 000102 00035 2008 320293ISO Class 7 352 00083 2002 930ISO Class 8 3 520 000832 00029 300ISO Class 9 35 200 0008 320 000293 000注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。空气洁净度分级标准： GB/T16292-1996（中国标准）粒径、数值洁净度级别尘埃最大允许数/立方米微生物最大允许数0.5um5um浮游菌/立方米沉降菌/皿100 级3,50005110,000 级350,0002,0001003100,000 级3,500,00020,00050010300,000 级10,500,00060,00015美国联邦标准 209D 洁净室分级：（已停用）空气洁净度等级（N）大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）0.1 um0.2 um0.3 um0.5um5 um1357.531 10350753010100 7503001001000 1000710000 100007010000010000700英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级：空气洁净度等级（N）大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）0.3um0.5um5um10um25 umC100350 D10003500E1000035000F 35000G100000350002000H 350002000J 35000020004500K 3500000200004500500L 200000450005000M 45000050000各种国际标准的比较：美国联邦美国联邦英国标准澳大利亚标准法国标准德国标准国际标准日本标准标准 209D标准 209EBS5295AS1386AFNORX44101VDI208314644-1JACA24 11 0221M1.5C0.03513310M2.5D0.35244100M3.5E3.540003551000M4.5G3546610000M5.5J350400000577100000M6.5K35004000000688 M 79 美国联邦美国联邦英国标准澳大利亚标准法国标准德国标准国际标准日本标准标准 209D标准 209EBS5295AS1386AFNORX44101VDI208314644-1JACA24 11 0221M1.5C0.03513310M2.5D0.35244100M3.5E3.5400035510