电子科技有限公司沉铜与板面电镀工作指示.doc

(广东)电 子 科 技 有 限 公 司文件名称： 沉铜与板面电镀工作指示Document title: PTH&Panel plating work instruction文件编号：Document number: MEI009QAI001-2/07-01页号Page 18of 18目 录1. 目的-第2页2. 范围-第2页3. 适用文件-第2页4. 设备及工具-第2页5. 责任-第3页6. 指示内容6.1 工序流程图-第3页6.2 磨板机操作指引-第3-5页6.2.1 1#磨板机操作指引-第3-4页6.2.2 3#粗磨机操作指引-第4页6.2.3 4#粗磨机操作指引-第4-5页6.2.4 磨痕测试-第5页6.2.5 操作注意事项-第5页6.2.6 清洁保养-第5页6.3 沉铜拉操作指引-第6-11页6.3.1 沉铜1#拉操作指引-第6-7页6.3.2沉铜2#拉操作指引-第7-8页6.3.3沉铜3#拉操作指引-第8-9页6.3.4.16.3.4.8 沉铜拉注意事项-第9-11页6.4 板电拉操作指引-第11-15页6.5 干板机操作指引-第15-16页6.6 安全与环保-第16-17页 7.0 记录-第17-18页1.0 目的 本文件为沉铜与板面电镀生产提供操作方法。2.0范围本指示适用于沉铜与板面电镀工序。3.0 适用文件下列文件的最新版本有效。 QAP05品质/环境记录控制程序MEI034 千尺物料消耗一览表MEI040 化验分析工作指示MEI041 化学药水控制及保养工作指示MEI042 全厂取、放及搬运板工作指示MEI043 喷咀保养工作指示 MEI046 首板制作指示MEI049 重要操作参数指引 MEI051 空化学品容器操作指引QAI029可靠性测试指示EIEI012 废液，废渣处理指示EIEI006 废水处理工作指示EIEI015 废气处理工作指示PMCI005 废物及废料处理指示P&AI004 非本厂回收废物操作指示 P&AI002环境/工业安全指示4.0 设备及工具 设备： 沉铜拉、板电拉、磨板机、干板机工具：温度计、量杯、光台、放大镜 、运板车、上板台、钳表 、养板盆 5.0 责任生产部：负责日常操作、 工艺参数控制、日常保养及生产中出现问题进行处理；制作工程部：负责为流程问题提供技术支持、设备认可、物料试用； 品质保证部：负责对生产部操作及产品品质进行监督与分析；维修工程部：负责为生产设备提供保养及维修服务及设备调试安装； 环境工业工程部：负责废气、废水、废液、废渣的处理及废气、废水及废液管道的安装。 6.0 指示内容6.1工序流程图：磨 板沉铜上工序板电干板下工序 6.2 磨板机操作指引6.2.11#磨板机操作指引6.2.1.1 开机操作：a.打开总电源开关, 打开水阀开关;b.打开控制柜电源开关,依次打开循环泵、运输马达、高压泵、磨辘、风刀、自动收板机开关、调整热风温度、喷水压力至要求范围内。6.2.1.2 关机操作：先关二组磨辘, 然后关掉控制柜上其它停键, 接着关掉水阀和离心泵开关, 最后关总电源。6.2.1.3 流程制作程序： a. 工艺流程图：上板 磨板 水洗 高压水洗 风干 收板b.调整供板速度, 用同等厚度废铜板调校磨辘压力至要求范围, 并且生产中不断检查调整磨辘压力至要求范围。6.2.2 3#粗磨机操作指引6.2.2.1 开机操作a.依次打开水阀开关，总电源开关；b. 打开稳压器电源，调节电压至规定值20010V；c. 打开控制柜电源开关，再依次开启去披锋机行辘、过滤器、供水过滤泵、水洗泵、水洗行辘、冲洗螺旋阀、循环泵、烘板行辘、1#4#磨辘、空气吹送器、加热器以及铜粉回收机、超声波发生器；d. 设定各磨辘及行辘之转速、磨辘压力、高压水洗压力、烘板温度；e. 输入板料之厚度，开始放板料磨板。6.2.2.2 关机操作先关超声波发生器，再关各行辘开关、冲洗螺旋阀、水洗泵、供水过滤泵、过滤器、循环泵、 1#4#磨辘、加热器、空气吹送器、铜粉回收机开关、控制柜电源开关、稳压器电源开关，最后关 闭总电源开关及水阀。6.2.2.3 工艺流程图：上板磨板高压水洗超声波水洗烘干收板6.2.3 4#粗磨机操作指引6.2.3.1 开机操作a.依次打开水阀开关，总电源开关；b. 打开稳压器电源，调节电压至规定值20010V；c. 打开控制柜电源开关，再依次开启去披锋机行辘、过滤器、供水过滤泵、水洗行辘、冲洗螺旋阀、循环泵、1#4#磨辘、空气吹送器、加热器以及铜粉回收机；d. 设定各磨辘及行辘之转速、磨辘压力、高压水洗压力；e. 输入板料之厚度，开始放板料磨板。6.2.3.2 关机操作先关各行辘开关、冲洗螺旋阀、水洗泵、供水过滤泵、过滤器、循环泵、1#4#磨辘、加热器、 空气吹送器、铜粉回收机开关、控制柜电源开关、稳压器电源开关，最后关闭总电源开关及水阀。6.2.3.3 工艺流程图：上板磨板高压水洗超声波水洗烘干收板6.2.4 磨痕测试a 关掉所有磨辘开关；b 用相同厚度之铜板，当板行至第一组磨辘压住板1/3时关掉行辘关，然后打开第一组磨辘开关510秒后关掉磨辘开关；c 同理检查第二组磨辘之磨痕；d 当板行至第三组压辘板压住板2/3时，关掉行辘开关，然后打开第二组磨辘开关510秒后关掉磨辘开关；e 同理检查第四组磨辘之磨痕；f 每道磨痕宽度应控制在815mm之间，当某一段达不到要求时，重新调整压力，直到磨痕宽度达到要求范围上；g. 磨痕宽度要求左右对称均匀，同一条磨痕最宽与最窄之差不超过2mm。6.2.5 操作注意事项a.放板试磨，检查试磨板效果，板面光滑平整，无明显披锋，无擦花与磨坏孔现象，符合要求后正式生产，如第一块板试磨效果不好，先检查参数调校是否正确，再检查磨辘，若有问题追SE维修OK后再做磨痕测试，磨痕正常下试板，试板OK后批量生产。b.更换磨辘时需注意磨辘上的指示方向与磨辘转动方向是否一致。c. 磨板员要时刻留意磨板情况,发现磨板效果不好或机械擦花时立即停机检查磨辘,必要时通知SE检修；d. 生产时注意检查高压水洗压力、烘干温度、行板速度和水洗喷嘴，发现问题及时追SE维修。6.2.6 清洁保养6.2.6.1 按粗磨机检查保养记录表对磨板机进行保养，检查并记录检查结果；6.2.6.2 粗磨机喷嘴的保养参见MEI043。6.2.6.2 粗磨机喷嘴的保养参见MEI043。6.3 沉铜拉操作指引6.3.1 沉铜1#拉操作指引6.3.1.1开机步骤a.开启电源总开关，系统电源及控制电脑开关，并进入操作界面；b.开启各药水缸加热器或冷却器;c.开启各药水缸过滤泵及其进出口阀门;d.检查冷水进水阀是否打开;e.开启冷却水控制开关;f.开启打气泵及抽气泵电源开关;g.开启除胶缸再生系统及搅拌。1)开启自来水及DI水总阀。2) 检查并补充各药水缸液位, 调整各水洗缸进水阀大小至合适。3) 开启震荡系统, 并检查各震荡器是否完好。h.排好飞巴初始缸位： 1#、2#、4#、5#、9#、12#、19#、21#、25#、27#、30#、34#、35#6.3.1.2 关机步骤a.暂时停机将天车控制系统打为手动控制, 关自来水和DI水总阀, 关震荡器。b.假期停机除按暂时停机操作方法外, 要关闭各缸循环、加热、冷却系统（沉铜缸、钯缸循环除外），打气泵常开，关系统电源。6.3.1.3 流程制作步骤：a.工艺流程1) 正常沉铜一次程序上板 膨胀 三级水洗 除胶渣 喷水洗 二级水洗 还原调整 三级水洗 除油I 除油II二级水洗微蚀 二级水洗 酸浸 水洗 预浸 活化 二级水洗还原 水洗 沉铜 二级水洗 下板。2) 沉铜二次程序上板 膨胀 三级水洗 除胶渣 喷水洗 二级水洗 还原调整 三级水洗 除油I 除油II二级水洗微蚀 二级水洗 酸浸 水洗 预浸 活化 二级水洗还原 水洗 沉铜 一级水洗微蚀后二级水洗 酸浸 水洗 预浸 活化 二级水洗还原水洗 沉铜 二级水洗 下板。3) 高Tg板（Tg145）除胶程序粗磨 上板 膨胀(第一次75) 三级水洗 除胶（第一次） 三级水洗 还原调整二级水洗 膨胀（第二次75） 三级水洗除胶（第二次） 三级水洗还原调整二级水洗b.待各药水缸温度升至要求范围内(见附表15、16), 调整各药水浓度在要求范围内(见MEI041)，检测药水缸振荡器振幅、摇摆频率在要求范围内（见附表17）即可开始生产。6.3.2 沉铜2#拉操作指引6.3.2.1开机步骤a.开启电源总开关;b.开启各药水缸加热器或冷却器;c.开启各药水缸过滤泵及其进出口阀门;d.检查冷水进水阀是否打开;e.开启冷却水控制开关;f.开启打气泵及抽气泵电源开关;g.开启除胶缸再生系统及搅拌。1) 开启自来水及DI水总阀。2) 检查并补充各药水缸液位, 调整各水洗缸进水阀大小至合适。3) 开启震荡系统, 并检查各震荡器是否完好。h.开启火牛及显示表。i.排好飞巴初始缸位： 1#、3#、4#、5#、(6#、7#)、12#、15#、19#、20#、23#、25#、27#、28#、30#6.3.2.2 关机步骤a.暂时停机将REPEAT扭向OFF, 关自来水和DI水总阀, 关震荡器。b.假期停机除按暂时停机操作方法外, 还要关总电源, 但打气泵常开。6.3.2.3流程制作步骤：a.工艺流程1) 正常沉铜一次程序上板 膨胀 三级水洗 除胶渣 三级水洗 中和 二级水洗 除油 二级水洗微蚀 二级水洗 预浸 活化 二级水洗 加速（促化） 水洗 沉铜 二级水洗 下板。2)沉铜二次程序上板 膨胀 三级水洗 除胶渣 三级水洗 中和 二级水洗 除油 二级水洗微蚀 二级水洗 预浸 活化 二级水洗 加速(促化) 一级水洗沉铜 一级水洗 微蚀后二级水洗 预浸 活化 二级水洗 加速（促化） 一级水洗 沉铜二级水洗 下板。3)高Tg板(Tg145)除胶程序：粗磨 上板 膨胀(第一次79) 三级水洗 除胶（第一次） 三级水洗 中和二级水洗 膨胀（第二次79） 三级水洗除胶（第二次） 三级水洗中和二级水洗b.待各药水缸温度升至要求范围内(见附表1、2), 调整各药水浓度在要求范围内(见MEI041)，检测药水缸振荡器振幅、摇摆频率在要求范围内（见附表12）即可开始生产。6.3.3 沉铜3#拉操作指引6.3.3.1开机步骤a.开启电源总开关;b.开启各药水缸加热器或冷却器;c.开启各药水缸过滤泵及其进出口阀门;d.检查冷水进水阀是否打开;e.开启冷却水控制开关;f.开启打气泵及抽气泵电源开关; g.开启除胶缸再生系统及搅拌。幕词1)开启自来水及DI水总阀；2)检查并补充各药水缸液位, 调整各水洗缸进水阀大小至合适。3)开启震荡系统, 并检查各震荡器是否完好。h.开启火牛及显示表。i.排好飞巴初始位置：1#、3#、4#、5#、6#、7#、8#、9#、10#、11#、14#、18#、21#、23#、24#、29#、31#、34#、35#。6.3.3.2关机步骤a.暂时停机：将REPEAT扭向OFF, 关自来水和DI水总阀, 关震荡器。b.假期停机：除按暂时停机操作方法外, 还要关总电源, 但打气泵常开。6.3.3.3流程制作步骤：a. 工艺流程：1）正常沉铜一次程序上板膨胀三级水洗除胶渣喷水洗二级水洗中和喷水洗水洗除油热水洗二级水洗微蚀二级水洗预浸活化二级水洗加速水洗沉铜二级水洗下板；2） 二次程序上板膨胀三级水洗除胶渣喷水洗二级水洗中和喷水洗水洗除油热水洗二级水洗微蚀二级水洗预浸活化二级水洗加速水洗沉铜一级水洗微蚀后二级水洗预浸活化二级水洗加速水洗沉铜二级水洗下板；3）高Tg板(Tg145)除胶程序 粗磨 上板 膨胀(第一次79) 三级水洗 除胶（第一次） 三级水洗 中和膨胀（第二次79） 三级水洗除胶（第二次） 三级水洗中和二级水洗b.待各药水缸温度升至要求范围内（见附表1、2）, 调整各药水浓度在要求范围内即可开始生产；6.3.4.1 每天开始生产时或停入板28小时以内,拖4架飞巴拖缸板(PTH1#每飞巴至少70PNL，总尺数不少于350 ft2。PTH2#每飞巴至少100PNL，总尺数不少于500 ft2。PTH3#每飞巴至少60PNL，总尺数不少于300ft2).超过8小时以上，再开拉时应落5架飞巴以上拖缸板（PTH1#每飞巴至少70PNL，总尺数不少于420 ft2。PTH2#每飞巴至少100PNL，总尺数不少于600 ft2。PTH3#每飞巴至少60PNL，总尺数不少于360 ft2)拖缸板每拖缸一次必须蚀铜后再使用，出现拖缸板掉纤维丝时，立即停用此拖缸板,换新拖缸板。6.3.4.2上板时发现板面污染或氧化的板, 要拣出做返磨处理。6.3.4.3 沉铜后取每排板中间的一块板，QA做背光测试(参见QAI029)。6.3.4.4 背光不合格时处理措施:a. 发现背光不合格,及时通知ME;b. 督促QA逐缸做背光直到稳定或停拉为止 (但停拉后, 拉内板都要逐缸做背光) 从发现背光不合格时起, 至上次背光之间所做沉铜板, 每缸做背光测试做到OK为止，不合格则返工,方法见6.4.3.8。c. 若做完板面电镀, 则按下列程序返工: 粗磨沉铜用1/2正常电流密度电镀或粗磨除油开始做High BuildD/F。d. 所有背光不合格板均要返做沉铜, QA对返沉铜板作背光跟进。6.3.4.5 坏机时处理措施：a. 若微蚀缸有板, 及时取出放入水洗缸中;b. 坏机超过15分钟, 需将促化缸、钯缸、 膨胀缸、高锰酸钾缸中的板取出放入水洗缸中；机器正常后，按正常程序生产即可。c. 坏机超过30分钟, 需将微蚀缸之前所有药水缸中的生产板按正常程序走，将微蚀之后的板取出经磨板重新从除油缸按正常程序走。6.3.4.6沉铜不合格板返工方法a. 沉铜不合格板(背光小于5级、倒缸擦花的沉铜板、严重氧化的沉铜板) 微蚀OKNO PROD全检 (1530秒) 细磨 除油开始PTH 出货。 QA背光测试OK 修理或返工 b. 沉铜不合格板（背光58级）1/2电流电镀幼磨正常PTH背光测试 1/2电流电镀干板出货6.3.4.7 过滤棉蕊浸泡方法:a. 以510% NaOH溶液浸泡34hr;b. 以510% H2SO4溶液浸泡34hr; c. 以DI水浸泡12hr并冲洗干净; 6.3.4.8 特殊板制作方法:6.3.4.8.1High build板制作方法：a. 工艺流程:磨板 Desmear PTH(High Build) 落板 D/Fb. 行Low Build程序做 High build板其方法:1） 孔High build板连续在沉铜缸沉铜三倍Low Build 时间。2） 最小孔径小于0.4mm的 High build板, 连续二次Low Build后(即连续在沉铜缸沉铜二倍Low Build时间), 从水缸吊回预浸缸走第三次Low Build程序。High Build 板沉铜后放入养板盆 (养板液用0.30.5%硫酸溶液), 然后送D/F磨板, HighBuild 板在养板盆内放置不得超过3小时。返工处理方法: High Build板背光小于10级或严重氧化作返工处理。其返工方法: 微蚀(1530秒) 细磨(开第三、四组磨辘)从除油开始返高速沉铜。6.3.4.8.2 小孔径板、高层板、盲孔板、埋孔板、Aspect ratio5的板制作方法: 对于孔径0.35mm，层数10层，盲孔板、埋孔板、Aspect ratio（板厚与最小孔径比）5 的板需做沉铜两次程序,制作工艺流程如下:0.25mm孔径0.35mm 粗磨全检塞孔 膨 胀除胶中和除油微蚀预浸活化速化孔径0.25mmDI水浸泡30min沉铜水洗手动吊至微蚀缸后第二个水洗缸 从预浸开始PTH 下板6.3.4.8.3 高铜板制作方法： 对于底铜3OZ板，沉铜上板时，采用倾斜上板或隔空卡口上板。6.3.4.8.4 内层除胶板除板面流胶流程:内层棕化压板膨胀三级水洗除胶30分钟三级水洗中和二级水洗下板过化学清洗机或在磨板机开第3组、第4组磨辘幼磨，测试磨痕合格，QA每批板抽检8pnl，经检查板面无胶渍后方可做板。6.3.5 流程制作注意事项：6.3.5.1 上板时戴干净棉砂手套、下板时必须戴干净胶手套，每次下板之前要清洗胶手套,洗手套液(DI水) 每小时更换一次,当胶手套有粘性需立即更换, 每一班更换一次手套,胶手套只作上、下板之用,不得 与其它物体接触,并小心取板,避免擦花。6.3.5.2 下板后放入养板盆中，养板液配制0.30.5%的稀硫酸，在养板盆中板存放时间不能超过3小时,养板液每3小时更换一次（开缸方法：先加半盘水后再加约0.5LT浓硫酸再加水至要求液位）,养板液更换后经化验室分析OK后才可投入使用。6.3.6 每三个月清洗沉铜拉打气管一次,酸洗(5% H2SO4)、碱洗(5% NaOH)沉铜拉除胶段水洗缸一次.6.3.7 PTH1#、3#拉挂蓝每生产6000Kft2喷砂处理一次，PTH2#拉挂蓝每生产5000Kft2喷砂处理一次6.3.8 清洁保养注意事项：PTH&PP LINE 的清洁保养参见附表2。6.4 板电拉操作指引：6.4.1 工艺流程：干板机烘干上板 酸浸 电镀铜 水洗 喷水洗 下板 炸棍二级水洗上板6.4.2 开机步骤：6.4.2.1 板电1#、2#开机步骤a.开启控制柜电源开关 开启打气泵； 开启过滤泵及循环泵； 开启冷水机； 开启火牛及显示表。b.开自来水、DI水总阀，检查并调节各水缸流动水流量及打气；c.排好飞巴位：PP1#：1#、6#、7#、8#、12#、13#、14#、15#、16#、17#PP2#：1#、4#、6#、7#、8#、11#、12#、13#、14#、15#、16#、17#、18#d. 当各缸药水浓度、温度及液位正常时即可开拉做板；6.4.2.2 板电3#开机步骤：a.开启控制柜电源、系统电源、火牛电源及控制电脑电源开关 开启控制电脑，进入操作软件“mh”界面； 进入“周边控制”操作窗口，打开各铜缸过滤泵、循环泵、冷却装置及打气、抽气装置； 进入“整流器及加药控制”操作窗口，打开各火牛整流器控制开关及自动加药器开关，并将操作方式由“手动”变成“自动”。b.开自来水、DI水总阀，检查并调节各水缸流动水流量及打气；c.进入“天车控制”操作窗口，打手动控制排好飞巴位，或现场手动操作天车排好飞巴位：A段：A1#、A4#、A5#、A7#、A9#、A10#、A11#、A12#、A13#、A14#、A15#、A16#B段：B1#、B4#、B5#、B7#、B9#、B10#、B11#、B12#、B13#、B14#、B15#、B16#d.当各缸药水浓度、温度及液位正常时，将天车控制系统打为自动控制即可开拉做板；6.4.2.3拖缸处理：a.停拉超过4小时未超过48小时，开拉前应作拖缸处理，拖缸一个Cycle,拖缸时用1318ASF电流密度，拖缸板用磨过的铜板。b.停拉超过48小时，拖缸前先分析调整药水浓度，再以1318ASF电流密度，拖二个Cycle，即可做板c.新开铜缸，做碳处理后拖缸，先分析调整药水浓度，再按每飞巴拖缸板总面积不低于40ft2，先以10ASF拖缸23小时，再分别以1315ASF、1820ASF电流密度各拖缸23小时，至拖缸板全部光亮后即可做生产板6.4.3 关机步骤：6.4.3.1板电1#、2#关机步骤a.暂时停机：将“REPEAT”掣扭向“OFF”关自来水、DI水总阀及打气泵；b.假期停机：除按做暂时停机操作外，还要关火牛及电流显示表开关及电源开关、DI水开关、自来水进水总阀、打气进出口阀。6.4.3.2板电3#关机步骤a. 暂时停机：将天车控制系统打为“手动”，关闭火牛整流器及自动加药器开关、关自来水、DI水总阀及打气泵；b.假期停机：除按做暂时停机操作外，还要关火牛电源开关、电脑电源开关、系统电源开关及控制柜总电源开关，关DI水、自来水进水总阀、打气进出口阀。6.4.4 流程制作步骤：6.4.4.1 按照开机步骤开机；6.4.4.2 按附表设备进行保养并记录操作条件，并按附表介定频率测试火牛；6.4.4.3上下板时必须戴干净胶手套，每次上下板之前要清洗手套，洗手套液（DI水）每小时更换一次，当胶手套有粘性需立即更换，每班更换一次手套，胶手套只作上下板之用，不得与其它物体接触；6.4.4.4 上板时左手托板下边,右手压住板的上边，将生产板推入电镀夹并扭紧,上板时尽量避免胶手套与板面接触，杜绝单手抓板上板；6.4.4.5 (针对板电3#)电镀电流数值由控制电脑根据输入的生产板型号及挂板数自动输入，因此应根据板面电镀电流指示将资料输入至电脑。具体方法是进入“板材料设定”操作窗口，根据板面电镀电流指示将板材料资料输入，在生产做板时，直接在“板材料设定”操作窗口中输入生产型号及挂板数即可。6.4.4.6当板运到铜缸时按板面电镀电流指示开启调节电流；6.4.4.7生产时尽量上满夹仔及飞巴，无板时要关电流，避免电镀夹电铜而产生铜粉，上、下板时发现夹仔破损要即时更换；6.4.4.8 每三个月做碳处理，清洗钛篮、钛篮袋，小于1cm3的铜粒废弃不用，每星期检查一次钛篮袋，发现钛篮破损需及时更换；6.4.4.9 每四个星期过滤镀铜缸药水、清理缸底铜粉一次，如发现V座有漏电、空飞巴打电流、钛篮破损严重等情况应提前过滤铜缸；6.4.4.10每周补加铜粒二次，补加前先摇实篮内铜球；6.4.4.11铜粒清洗：a. 新铜粒用5%（V/V）硫酸清洗；b. 旧铜粒用5%硫酸加5%双氧水（50%）（V/V）清洗。6.4.4.12钛篮清洗，新钛篮袋先用5%NaOH浸泡3小时后用5%（V/V）硫酸浸泡2小时，最后用清水冲洗干净旧钛篮袋先用5%（V/V）硫酸加5%（V/V）双氧水浸泡2小时后，用清水冲洗干净。6.4.4.13生产部当打气有故障时应立即关电流，并将铜缸中板按电镀时间长短分开并做好标记取出返沉铜， 遇有天车故障维修时，已入铜缸的板电镀时间一到立即关掉电流，并人工取板，不得使板电镀超时， 产生铜厚，取板时应关闭该缸火牛电流输出；6.4.4.14当遇有摇摆故障维修时，先将各缸电流降至5080安培保护电流，并将铜缸中板按电镀时间长短分开取出，做好标记返沉铜6.4.4.15当电流超出偏差范围时，将板分开并通知ME提供处理方法；6.4.4.16不同型号的生产板不能放在同一飞巴上混镀；6.4.4.17尾数板电流输入值按电流指示数值折算，尾数板不够电镀夹仔时，多余夹仔上夹长度与生产板长度或宽度一样的挡板，使夹板时长度尺寸一致；挡板为铜板或不锈钢板，挡板电流应按实际挡板面积计算，即：当时电流密度档板面积档板数量。6.4.4.18按电镀（PP）线落缸记录表作入缸记录。6.4.4.19 物理实验室每班取每一条板电拉的一个缸中飞巴中间的一块板做铜厚测试,并保证在一个取板周期内取到每一个缸中板。a. PP1#拉6个缸,每三天一个取板循环周期;b. PP2#拉8个缸,每四天一个取板循环周期;c. PP3#拉A段8个缸,每四天一个取板循环周期;d. PP3#拉B段8个缸,每四天一个取板循环周期。6.4.4.20板电镀铜铜箔拉力强度与延展性测试:a. 样品准备:取5个尺寸为150mm15mm无凹痕、无毛边的镀铜铜箔样品,用电子天平称出每个样品的重量(Wi),量出每个样品的长宽尺寸(mm)b. 测试方法:以10mm/min速度拉伸样品,直至样品被拉断为止,拉力为F1(i),并从拉力机上记下拉伸后长度L1(i)和拉伸前长度L2(i)c. 计算方法:电镀铜箔密度(D):8.909g/(mm)3 样品面积(mm2): 长宽 D(g/mm3)Wi(g)样品面积(mm2)平均厚度Ti(mm) = 槽切面积Si(mm2) = Ti 样品宽度F1(i) Si拉力强度F2(i)= L1(i)-L2(i)L1(i)延展性L3(i) = 100%d. 标准:铜箔规格(QZ)延展性(%)拉力强度(N/mm2)1/2(0.6-0.7mil)51031(1.2-1.4mil)102062(2.4-2.8mil)15206 e. 测试频率: 每条拉每月测试一次.6.5 干板机操作指示6.5.1 开机步骤： 6.5.1.1 打开自来水阀，打开各泵出口阀门；6.5.1.2 打开总电源及各分电掣；6.5.2 关机程序 将所有电掣关上，关闭自来水阀、各泵进出口阀门; 6.5.3 流程制作步骤：OK6.5.3.1 工艺流程Rej 放板水洗酸洗水洗强风吹干热风吹干收板PQA抽检(每LOT抽6块) 干菲林 PROD全检并作全检记录 6.5.3.2设定烘干温度、调节运板速度；6.5.3.3酸洗循环槽酸浓度(1.51)% (V/V)H2SO4。（开缸方法: 加半缸水加45L浓H2SO4再加水至要求液位。）6.5.3.4检查并补充各水缸及酸缸液位；6.5.3.5自检问题板要进行修理出货：a. 塞孔板用针截穿后，一律作返工处理，返工方法：磨板PTH2/3正常电流做板面电镀；b. 板面粗糙及严重披锋时，用手磨机或细砂纸（用800#或更细砂纸）打磨；c. 露纤维擦花，经磨板后开始返做沉铜、板面电镀（2/3正常电流）；d. 其它问题通知ME提供处理方法；e. 所有返做板，生产部必须做标记出货，并由生产部和QA将标记方法知会图电工序，或由生产部和QA与图电工序约定标记方法；f. 坏机时铜缸中的板由QA送物理实验室切片作铜厚测试，根据切片结果作标记出货，并由QA知会图电工序。6.5.3.6注意事项：a. 操作员放板/收板需分别戴干净胶手套，棉手套进行；b. 发现叠板/卡板应即时停机检查原因；c. 板面发现擦花时应立即停机检查原因，排除后方可重新生产 6.6 安全与环保6.6.1 配制溶液时, 需戴好防护口罩、防护面具、防护眼镜。6.6.2清洗水缸, 需停止行车运行, 洗液经排废液管排入废水站处理。6.6.3药液和洗液不慎泄漏, 用清水冲洗后, 经排废液管排至废水部处理。6.6.4生产中产生的废液、废渣经专一管道排至废水站，废水部依EIEI012处理。6.6.5生产中产生的废水，由废水排放管道排至废水站，废水部依EIEI006进行处理。6.6.6生产中产生的各种废气经管道排出，其处理方法参看EIEI015。6.6.7 生产中产生的废纸皮，要放在指定的地方，待清洁工收走，其处理方法参看P&AI0046.6.7 已用过的废棉手套、清洁布、过滤棉芯、碳芯、胶手套由使用部门统一收集回仓，PMC依PMCI005进行处理。6.6.8 已使用完的空化学品容器，由使用者依MEI051进行处理。 6.6.9 配制硫酸、双氧水安全注意事项：6.6.10配戴好防护用品(防毒面具、防护眼镜、胶手套、耐酸碱水鞋等)。6.6.11配制时慢慢地将浓H2SO4、H2O2倒入水中 (严禁将水倒入浓硫酸中)。6.6.12若不慎将浓H2SO4或H2O2溅到皮肤上, 应立即用大量清水冲洗,若被灼伤立即就医。6.6.13在存放硝酸、硫酸、双氧水等化学品时, 周围要设警告标志。6.6.14在搬运硝酸、硫酸、双氧水等化学药品时要轻装轻御, 防止损坏容器造成泄漏污染环境。6.6.15若将浓硫酸和浓硝酸不慎溅到地面,应立即用大量水冲洗,经稀释后的洗水排入废水部处理。6.6.16生产中产生的废铜粒、废钛篮