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镀膜机的操作 镀膜机的基本操作 镀膜机的工作原理 镀膜机的工作原理 PVD PhysicalVaporDeposition 物理气相沉积法以物理機制來進行薄膜堆積而不涉及化學反應的製程技術 所謂物理機制是物質的相變化現象 镀膜机的操作 现有的镀膜制程下 光学镀膜是在真空条件下沉积而成的 在真空泵和各种阀门的协调工作下 镀膜机真空室形成一个高真空环境 电子枪发射热电子 轰击镀膜材料使其蒸发 并在基板上生成薄膜 镀膜机的工作原理 镀膜机的操作 镀膜机的工作原理 镀膜机的操作 镀膜机的工作过程中 所有过程动作皆由PLC和IPC控制 所以镀膜机的操作实际上就是对PLC和IPC的控制操作 操作类型 1 触控面板 设备端 2 控制软件 PC端 镀膜机的操作 镀膜机的基本操作 镀膜机的操作 镀膜机的基本操作 触控面板 optrun系列 showa系列 2020 1 29 7 可编辑 镀膜机的操作 镀膜机的基本操作 触控面板的操作触控板操作是镀膜制程启动前期和进行手动镀膜时使用的 所有镀膜机触控板上 都将被操作对象和事件归类 最常见 常用的为抽真空项目和蒸发项目 可以控制最重要的抽气 坩埚 监控片的旋转和选择 镀膜机的操作 镀膜机的基本操作 控制软件 optrun系列 showa系列 镀膜机的基本操 镀膜机的操作 控制软件的操作在自动镀膜时 控制软件控制着成膜的各种重要参数 这些参数包括 真空度 预熔时间 功率 沉积速率 膜厚 监控模式等 这些参数按照不同的膜系和镀膜机条件设置在
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