三氯氢硅的安全生产.doc

三氯氢硅的安全生产董群摘要：介绍了三氯氢硅生产车间安全操作规程，需要采取的预防措施，三氯氢硅和氢气储存和运输中的正确操作步骤，应该采取的预防措施，以及泄漏时的处理。关键词：三氯氢硅；氢气；厂区安全；储存安全；运输安全；预防措施 目前国内生产三氯氢硅多采用改良西门子法，用氯气和氢气合成氯化氢（或外购氯化氢），然后氯化氢和工业硅粉在高温下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行精馏分离提纯得到三氯氢硅和副产物四氯化硅。生产过程中涉及到氢气、氯气、氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅等危险物料，而且生产装置存在高温、低温等操作条件，因此存在着火灾、爆炸、化学毒物伤害、化学灼伤、腐蚀、高低温烫、电气伤害、粉尘危害、噪声危害、机械伤害危险源。因此生产中应该特别注重安全问题，严格按照正确的操作规程，采取相应防火防爆措施。1厂区安全 在三氯氢硅生产的各个工序中，为防止火灾、中毒 ，要严格执行各项消防安全制度，严格控制工艺指标 ，严格遵守操作规程。加强对设备管道的维护保养，严防跑、冒、滴、漏。具体预防措施如下 ：生产车间应配备必要的通风设备和良好的静电接地；防爆车间必需设有足够的安全疏散用门、通道和楼梯，疏散用门一律向外开启。在生产中进行检修时所使用的工具应该是不产生火花的工具 ，严禁用铁器敲打设备或管道 ，工作人员应穿棉制品工作服。生产区要禁止明火，生产中动火要严格执行有关安全管理制度。 生产过程中产生的大都是易燃易爆有毒物质 ，生产设备、工艺管道和贮罐如果发生泄漏极易酿成火灾 、爆炸和中毒事故。因此，生产中应选择密闭性能好的设备，防止物料泄漏、可燃气体散发。日常工作中要做好安全检查，不留死角，设备要定期检修，发现问题及时采取补救措施 ，修复存在跑、冒、滴、漏的部位。应该配备一定数量的防毒面具、空气呼吸器、手套、堵漏工具防。厂区内的专职消防员要定期进行演练 ，熟练掌握各种情况下的堵漏方法和处置措施。配备一定数量的手提式二氧化碳和干粉灭火器。在作业场所配备有毒气体检测报警仪器。尽量提高自动化控制水平，减少生产现场操作人员数量，提高生产装置的安全运行能力。三氯氢硅主厂房和氢气干燥厂房是具有甲类火灾危险性的生产厂房，应独立设置，采用轻质屋顶，耐火等级不低于二级。生产设备尽量布置在敞开式、半敞开式厂房，室内设备增加强制通风设施。装置内的设备、管道、建筑物之间保持规定的防火间颧。有火灾爆炸危害场所的建筑物的结构形式以及材料按防火防爆要求选用，具有易燃液休的生产装置设置防静电接地系统;具有火灾爆炸危险的生产装置设置防静电接地系统;具有火灾爆炸危险的生产设备和管道设计安全阀、爆破板、阻火器等防爆阻火设施。对有火灾爆炸存在场所安装火灾报警设施。控制室要单独设置在甲类房之外。氯化氢气体缓冲罐与合成炉之间设止回阀，防止合成炉的三氯氢硅回到缓冲罐。应控制氯化氢气体的流量，控制合成炉内的温度。对设备管道要经常进行维护保养，防止三氯氢硅泄漏。在生产中，要保持整个系统的密闭，用99.99%的氮气进行保护1。一旦发现皮肤沾染化学品时，应先用抹布将化学品擦掉，让后用大量清水冲洗，然后按医嘱治疗。设备、场地需动火时，应先检查动火地是否有易燃易爆的气、液体，只有当空间环境低于爆炸极限时，并且准备好相应的灭火装置才能动火。高空作业时，要先做好安全防护措施才能作业。2储存安全 三氯氢硅贮罐和氢气如果发生泄漏，其危险性远远大于工艺管道泄漏的危险性，因为其贮量大，如果堵漏不及时，影响会不断扩大。同时，泄漏的三氯氢硅遇水会发生反应，产生有毒的氯化氢气体向四周扩散，给抢险工作带来困难。因此储存时应注意以下内容。2.1 三氯氢硅的储存 贮罐区禁止明火，生产中动火要严格执行有关安全管埋制度，氢气、三氯氢硅的贮罐必须彻底进行氮气置换并办理动火证。常备干砂的量最好不少于一个贮罐的容积，厂内仓库存放一定的水泥作应急之用。三氯氢硅的贮罐设置低温保护装置和降温措施。贮罐与生产装置要有一定的防火间距，并且要设防火堤，降温水的排放管道经过防火堤处要设闸阀。贮罐应设静电接地装置和避雷装置。贮罐内的气相要与氮气系统相连进行保护，贮罐的气相与外部连通的平衡管(放空管)应与尾气回收系统相连，不能直接排空，并应设止回阀和阻火器。贮罐区应设个备用罐，紧急情况下应将泄漏的贮罐内的物料转移至备用罐，防正大量泄漏。储罐不应完全装满，对于三氯氢硅的储罐，不应超过总容积的90%，且储罐内的氧气含量应低于2%。只允许有资格，有经验并经过全面培训的员工才能给储罐及槽车取样、连接、装载或断开。在取样、连接、装载或断开操作中，应穿着防护服，在装载或卸载区域8到15m的范围内，应设置淋浴装置和洗眼喷泉，连接并准备好紧急情况下使用的消洗软管，在操作前应测试相关的设施是否完好。三氯氢硅泄漏后发生燃烧时，应采用干砂、二氧化碳、千粉、水泥灭火，禁止直接用水和泡沫扑救。当处理泄漏的储罐时，应穿上全套防护设备，并戴上防毒面具和空气呼吸器， 把非抢险人员和材料从相邻区域转移出去，如果泄漏情况严重，应戴上防酸罩和空气呼吸器，如果准备有特大型“应急储罐”，可将泄漏的储罐放入这种储罐内。通常情况下，应将泄漏的储罐搬运到一个通风良好的区域或室处，并避免将其暴露在潮湿空气或雨天中。当三氯氢硅少量泄漏（不超过4L）时，用大量的碳酸氢钠覆盖溢出物，将混合物铲入桶水中，静置几分钟，用水溶解混合物，中和并用水稀释混合物液，将符合环保要求的混合液排入废水沟中。当三氯氢硅大量泄漏（超过4L）时，大量泄漏产生的盐酸雾可用开花水枪直接作用于雾云进行控制，绝不能将消防水柱直接指向一处未的溢出物。对酸性废水进行中和后，才能排放至地表水或城市污水系统。高倍数泡沫（100：1）也是控制三氯氢硅泄漏产生酸雾的首选方法，但作用前应事先经过与三氯氢硅化合物兼容性测试后进行选择，因某些泡沫和三氯氢硅发生化学反应。如果是贮罐发生泄漏 ，又不能及时排除泄漏 ，就应该将发生泄漏的贮罐内的三氯氢硅用氮气压人备用罐内。如果是生产中的设备和管道发生泄漏，应立即停止生产，并迅速关闭有关阀门切断物料输送。2.2 氢气的储存 贮罐区禁止明火，生产中动火要严格执行有关安全管埋制度，氢气的贮罐必须彻底进行氮气置换并办理动火证。贮罐区必须有良好的通风，而且通风口应设置在屋顶的最高部位，氢气贮罐一般宜布置在顶层靠外墙处。贮罐区应备有泄漏应急处理工具和装备。禁止敲击和碰撞贮罐；不得靠近热源；夏季应防止曝晒。必须使用专用的减压器，开启时，操作者应站在阀口的侧后方，动作要轻缓。阀门或减压器泄漏时，不得继续使用；阀门损坏时，严禁在贮罐内有压力的情况下更换阀门。贮罐内气体严禁用尽，应保留0.52kgf/cm2以上的余压。 氢气贮罐与盛有易燃、易爆、可燃物质及氧化性气体贮罐和容器的间距不应小于 8 m，与明火或普通电气设备的间距不应小于 10 m，与空调装置、空气压缩机和通风设备等吸风口的间距不应小于20 m。贮气罐应设放空阀、安全阀和压力表。凡最高工作压力大于或等于 0.1 MPa时，其设计、制造和检验应符合压力容器安全监察规程的要求。贮气罐的基础和支承必须牢固，且为非燃烧体。贮气罐的地面应高于相邻散发可燃气体、可燃蒸汽的甲、乙类生产单元的地面，否则应设高度不低于 l m的实体围墙予以隔离。当氢气发生大量泄漏或积聚时，应立即采取措施，首先报警并建立警戒区，迅速撤离泄漏区人员至上风处，并进行隔离，划出警戒线，设立明显标示，以各种方式，通知警戒区内和周边人员迅速撤离，无关人员进入警戒区。消除火种，停止所有用火作业和消除可能产生火花的活动。进入泄漏区域前用水枪降低面喷湿，防止摩擦、撞击产生火花。控制泄漏源，隔离泄漏的管线或阀门，在保证安全 的情况下堵漏或搬运钢瓶。卸压排放 ，在工艺流程完好的情况下，通过排放线将容器 内的氢气排放至紧急事故火炬管线。罐体掩护和稀释泄漏区氢气，从安全距离，用开花水枪对准泄漏的罐壁和泄漏点喷洒消防水，以降低现场气温和泄漏的罐体温度，降低现场氢气浓度，直到完全消除泄漏。3 运输安全3.1 三氯氢硅的运输 在液体三氯氢硅输送过程中，由于钢瓶、设备、管道、阀门等处的泄漏，操作、维修人员接触氯气的机会较多，如果防护措施不完善，操作人员不会使用或不正确使用个人防护器材，不注意个人防护，发生中毒、窒息的机会和可能性较大。因此工业三氯氢硅产品在运输时应注意以下内容。运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备，装运本品的车辆排气管须有阻火装置。将三氯氢硅从储罐中输入槽车，应在通风良好的区域或设有强排风系统的建筑内，并且储罐应接地，避免静电的集棸，可以利用重力或泵进行输送，不得使用空气压力进行置换。运输过程中要确保容器不泄漏、不倒塌、不坠落、不损坏。严禁与氧化剂、酸类、碱类、氧化剂、水、食用化学品等混装混运。运输途中应防曝晒、雨淋，防高温，中途停留时应远离火种、热源、高温区。操作人员在搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。运输用车、船必须干燥，并有良好的防雨设施。铁路运输时要禁止溜放。卸载时需注意：卸载前，应关掉发动机，用楔子将车轮垫上或固定车轮，检查储罐及相关装置、附属物无湿气或污染物。卸载的区域应禁止抽烟，明火以及产生火花的工具。工作人员应始终检查储罐的液面，以确保三氯氢硅不会溢出，并将储罐的排气管接到蒸气分离，回收蓝天保存系统。利用加压置换的氮或惰性气体管线应当使用调节器和安全阀安装，前者控制压力，后者防止今朝罐超压，氮或惰性气体的安全阀和截流阀应设置在远离卸载区域的安全地带。如果发生任何危险情况，应立即关掉泵或关闭气体，释放储罐压力，然后关闭所胡阀门，并断开所胡的卸载连接，危险情况解除后才可恢复卸载。当用泵进行输送材料时，应注意通风（补充）气体系统的阀门和管道尺寸大小，应避免取出材料的速度比办理入气体的快，造成系统内部真空状态产生。卸载时所有的储罐及相关装置应良好接地2。3.2 氢气的运输 氢气与空气混合能形成爆炸性的混合物，遇火星、高热能引起燃烧爆炸，能与氯气起猛烈的化学反应，引起爆炸。运输时应注意：采用钢瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。 钢瓶一般平放 ，并应将瓶 口朝同一方向不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。 运输时运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材。装运车辆排气管尾端必须配备完好的阻火器，禁止使用易产生火花的机械设备和防护工具装卸。 严禁与氧化剂，卤素等混装混运。夏季应早晚运输 ，防止 日光曝晒。中途停 留时应远离火种、热源。 公路运输时要按规定路线行驶，勿在居民区和人口稠密区停留，铁路运输