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万吨级粒状多晶硅工程装置研究 以化学工程科学和技术为基础，以流化床反应器和反应精馏反应器为核心，开发粒状多晶硅工业化生产技术。 建立万吨级高纯度（大于 7N ）多晶硅成套工程化技术，技术经济目标为：(1) 1 万吨规模投资小于 10 亿元人民币；(2) 每吨多晶硅的电耗小于 1.5 万 kWh ；(3) 每吨多晶硅生产成本小于 10 万元 RMB ( 相当于 15 美元 /kg) 。 硅烷生产技术 采用三氯氢硅方法生产硅烷，结合现有的西门子法，有利于 西门子法的改 硅烷纯净化技术： 通过精馏、吸收、吸附、萃取、过滤等将这些氯化物和氢化物彻底地分离，使得硅烷的纯度可以达到6N以上，确保多晶硅的高纯度要求。 硅烷热分解技术： 通过优化反应条件，尤其优化反应器的温度分布，可以增强非均相沉积，抑制均相和器壁沉积。 10,000TPY 粒状多晶硅装置工艺包 硅烷流化床热裂解过程是一个系统工程，包括各子过程之间的集成，系统优化和耦合。建立该大系统的计算机仿真模型，优化工艺条件，尤其是能量的优化耦合利用，同时还包括主要设备和辅助设 备的设计，主要工艺条件的控制策略，还包括三废的处理，以及安 全保护等措施。 可进一步由工程设计院编制可行性研究报告和初步设计报告，再实施工程设计和工程建设。 硅烷分解法：反应放热，投资小，能耗低，纯度高，反应器可采用 化工过程常见的，特别适合大规模生产的流化床反应器，单台规模万吨以上，最有可能大幅度降低生产成本，是多晶硅技术发展的必然方向。 流化床还原技术与钟罩式比较项目钟罩式流化床还原产品纯度9N11N7N9N还原电耗，Kwh/Kg501001525生产效率间歇批次反应连续原生产品形态棒状，后续加工复杂粒状，适合单晶原料综合电耗占比，%406020改进方向降低能耗，提高产量防止炉壁沉积、硅粒污染流化床还原技术在国际多晶硅生产公司中的应用公司采用技术产能产品级别美国MEMCFBR流化床15000太阳能美国REC硅烷+流化床6500太阳能美国HemLock改良西门子+FBR流化床3000太阳能德国Wacker改良西门子+FBR流化床7000太阳能问题：（1）目前刚踏入多晶硅领域，正在做多晶硅项目的设计，应用改良西门子工艺法，该方法还有很大的改进空间，特别是还原炉的壁温冷却及其生产效率，在以后相当长一段时间里，将致力于此! e# x# L! & n5 j（2） 为了提高提高在多晶硅领域的技术影响，目前项目组织力量开发流化床反应器。问题的关键在于，如何有效的去除反应床内壁硅沉淀物，及其
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