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XX公司环境因素调查表 部门：生产部扩散 填表人： 审核: 日期：2009.03.23 No. E05项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注1车间工序全过程使用一次性手套后丢弃AC固体废弃物废物回收处理2用电NC能源消耗提高利用率3硅片报废AC固体废弃物废物回收处理4清洁使用无尘布、毛巾后废弃AC固体废弃物垃圾处理5使用无水乙醇NC资源消耗提高利用率6使用离子水NC资源消耗提高利用率7废水排放NC水质污染废水处理8维修更换设备零部件AC固体废弃物废物处理9车间照明坏日光灯管废弃AC危险固体废弃物废物处理10设备区扩散生产使用抽风NC能源消耗提高利用率11使用冷却水NC能源消耗提高利用率12使用真空NC能源消耗提高利用率13使用N2、O2、H2NC资源消耗提高利用率14使用压缩空气NC能源消耗提高利用率15使用特气NC资源消耗提高利用率环境因素调查表 项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注16使用B、P等液态掺杂源NC资源消耗提高利用率17使用TEOSNC资源消耗提高利用率18使用三氯乙烷NC资源消耗提高利用率19掺杂源的排空NC空气污染尾废气处理20三氯乙烷的使用后排空NC空气污染尾气处理21CVD尾气排放NC空气污染废气处理22尾气水解NC水体污染废水处理23拆洗尾气管道残渣丢弃AC固体废弃物垃圾处理24更换密封圈后丢弃AC固体废弃物垃圾处理25更换石英件后丢弃AC固体废弃物废物回收处理26设备风机运转NC噪音超标防护27更换炉体后丢弃AC固体废弃物废物回收处理28扩散源气泄漏EC空气污染抽风29测试区硅片测试膜厚仪废纸丢弃AC固体废弃物垃圾处理30扩散检验区检片真空的使用NC能源消耗提高利用率31炉管清洗区石英清洗使用压缩空气NC资源消耗提高利用率环境因素调查表 项次对象地点活动/产品/服务环境因素N/A/EP/C/F环境影响现场管制/监控方式备注32用水NC资源消耗提高利用率33使用化学药品NC资源消耗提高利用率34化学药品挥发NC空气污染抽风35N2使用NC资源消耗提高利用率36废酸排放AC水体污染废水处理37废液排放NC水体污染废水处理38毒气柜区特气柜使用N2NC资源消耗提高利用率39使用抽风NC 能源消耗提高利用率40特气泄漏EC空气污染抽风414243444546备注： N-正
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