SEM-EDX 培训2.ppt

ServethroughPeople ConnectthroughTechnology SEM EDX介绍 GQA SEM EDX介绍 ServethroughPeople ConnectthroughTechnology 一 SEM EDX基本原理二 样品制备三 参数选择 ServethroughPeople ConnectthroughTechnology SEM EDX基本原理 二次电子和背散色电子 二次电子SE 二次电子SE检测器接受入射电子与试样产生二次电子 进行SEM分析 二次电子SE特点 1 二次电子主要来自试样表面 只有试样表面产生的二次电子能被检测到 因此SE用来分析样品的表面形状 外观形貌特征 ServethroughPeople ConnectthroughTechnology SEM EDX基本原理 二次电子和背散色电子 2 它与加速电压存在一定的关系 当加速电压越低时 SE分辨率越高 越适合观察表面形状 所以低电压适合观察表面形状 备注 并不是越低越好 因为当加速电压降低 探头直径变大 当直接大于二次电子深度 信息流失 此时并不适合观察 比如 钨灯丝电子枪 当加速电压很低时 0 5KV 信息流失 不适合观察 ServethroughPeople ConnectthroughTechnology SEM EDX基本原理 背散射电子 背散色电子检测器接受入射电子与试样产生背散射电子 BSE 进行SEM分析 主要分析样品组成 不同元素颜色分界明显 右图背散射电子像显示试样中金和镍的镀层组成信息 ServethroughPeople ConnectthroughTechnology SEM EDX基本原理 背散射电子应用 1 背散射电子主要来自试样的较深层 它能区分不同元素原子量 因此不同元素物质颜色分界明显 主要用来分析试样的组成 如背散射电子图中 元素原子量较低部分的颜色较灰暗 如下Au Ni镀层背散射电子图 原子量较小的Ni P层颜色比原子量大的Au部分灰暗 Au层比较明亮 备注 Au原子量 79 Ni原子量 28 P原子量 15 ServethroughPeople ConnectthroughTechnology SEM EDX基本原理 背散射电子应用 2 如果ENIGkeypad上有机污染 在背散射电子图中可以看到明亮的keypad上有其它黑色物质 这是因为有机物主要由C元素组成 C的原子量为6 而金的原子量为79 所以在图上 含C物质比keypad灰暗 含C污染物 金面 ServethroughPeople ConnectthroughTechnology SEM EDX基本原理 SEM EDX一体化分析 SEM EDX能谱仪接受入射电子与试样产生的特征X射线 二次电子 或背散色电子进行 进行SEM EDX分析 在SEM监视器及EDX监测器上显示相关SEM图像分析及EDX数据分析 ServethroughPeople ConnectthroughTechnology SEM EDX能谱仪介绍 能谱仪系统主要由以下几个部分组成 电源供应器 为x stream提供24v直流电源X stream控制器 包含数字脉冲处理器 从探测器接收电信号 测量并计入相应通道 从而在谱图相应位置获得峰谱 Mics控制器 与SEM TEM的图像接口相连接 实现图像获取 探测器 探测X射线信号并转换为电信号 计算机系统 运行微分析应用软件 仪器介绍 计算机系统 SEM EDX样品制备 ServethroughPeople ConnectthroughTechnology 样品制备注意事项 针对有机物试样 由于熔点低 会受到热的影响 再加上导电性差 所以样品在制备时候必须做一些特殊制备 否则会影响SEM图像质量 ServethroughPeople ConnectthroughTechnology SEM EDX参数选择 SEM EDX参数优化的选择 正在DOE实验进行中 待定 1 加速电压2