山东元鸿光电材料有限公司声表面波材料一期工程竣工环境保护验收监测报告表

建设项目竣工环境保护验收监测报告济瑞环验201647号项目名称：声表面波材料项目一期工程建设单位：元鸿（山东）光电材料有限公司济宁瑞康环境监测评价有限公司二一六年十二月元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目一期工程竣工环境保护验收监测报告验收监测及数据分析人员职责表职责签名现场采样负责人现场采样人员现场检查人员分析化验人员报 告 编 制审 核授权签字人前 言元鸿（山东）光电材料有限公司成立于2009年，位于济宁高新技术产业开发区济宁联电工业园内。企业以生产蓝白LED专用的蓝（白）宝石晶柱为主。为了适应市场需求，元鸿（山东）光电材料有限公司投资1875万元建设声表面波材料项目。本项目利用国外先进技术和投资各方的资金实力开发、生产声表面波材料，可大大提升我国无线电通讯产业研制生产领域的技术水准，缩短我国与先进国家间在该领域的差距，同时还可带动我国许多关联产业企业的发展，因此本项目的建设是必要的。本项目的实施可以带动相关产业发展，完善无线电通讯产业相关产业链，因此具有强大的产业联动效应和社会效益。无线电通讯产业产业链产出价值呈现逐级放大效应，该项目所带动的上下游产业链形成的产业规模将十分可观。根据中华人民共和国环境影响评价法和建设项目环境保护管理条例中有关规定，2016年11月，济宁富美环境研究设计院编制完成元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目环境影响评价报告书；2016年11月21日，济宁市环境保护局高新技术产业开发区分局以关于元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目环境影响报告书的批复（济高新环审201612号，见附件1）对该报告书进行了批复。根据国家有关法律法规的要求，受元鸿（山东）光电材料有限公司的委托，2016年12月济宁瑞康环境监测评价有限公司承担了元鸿（山东）光电材料有限公司的声表面波材料项目一期工程竣工环境保护验收工作。2016年12月到现场进行了现场勘察，编制了元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目一期工程竣工环境保护验收方案。2016年12月02日-12月03日，济宁瑞康环境监测评价有限公司根据验收方案对该项目外排污染物、环保设施运行、污染物总量排放进行了监测；对环境管理水平情况、清洁生产水平进行了检查；根据实地调查和监测的结果，编制了本报告。2济宁瑞康环境监测评价有限公司目录前言1目录3第一章总论51.1 验收内容及目的51.2 验收依据51.3 验收对象8第二章建设项目工程概况92.1 项目地理位置92.2 项目工程概况122.3 工程建设内容142.4 项目和主要生产设备、环保设备、原料动力消耗.152.5公用工程172.6生产工艺流程及产污环节分析192.7污染物产生、处理及排放情况22第三章环评结论及环评批复要求313.1 环评结论及建议313.2 环评批复主要要求34第四章验收监测调查374.1 监测目的和范围374.2 验收期间工况调查37第五章验收监测内容395.1 废气监测395.2 废水监测465.3 噪声监测555.4总量核算56第六章环境管理检查586.1 建设项目环境管理法规执行情况586.2 环境机构设置和环保管理制度检查586.3 突发性环境事件应急预案及环境风险应急物资检查586.4 污染物排放口规范化、污染物在线监测系统检查596.5 厂区绿化检查606.6 环境监测计划落实情况606.7 环保投资核查61第七章环评批复落实情况63第八章结论与建议668.1工程基本情况结论668.2 环保执行情况668.3验收监测结果688.4对今后环保工作的建议69附件：1、济宁市环保局高新技术产业开发区分局以济高新环审201612号文关于元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目环境影响报告书的批复。2、元鸿（山东）光电材料有限公司济宁市建设项目污染物总量确认书。3、元鸿（山东）光电材料有限公司排水许可证。79济宁瑞康环境监测评价有限公司元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目一期工程竣工环境保护验收监测报告第一章总论1.1 验收内容及目的本次验收项目为元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目一期工程。1.1.1 验收内容核查工程在设计、施工和试运营阶段对设计文件和环境影响报告书及批复中所提出的环境保护措施的落实情况，以及对各级环境保护行政主管部门批复要求的落实情况；核查项目实际建设内容、实际生产能力、产品内容以及各个工段原辅材料的使用情况；核查各个生产工段的污染物的实际产生情况以及已采取的污染控制和生态保护措施，评价分析各项措施实施的有效性；通过现场检查和实地监测，确定本项目产生的污染物达标排放情况和污染物排放总量的落实情况；核查其环境风险防范措施和应急预案的制定和执行情况，核查环境管理制度执行情况、环境保护管理制度的制定和实施情况，相应的环境保护机构、人员和仪器设施的配备情况；核查周围敏感保护目标分布及受影响情况；1.1.2 验收目的本次验收的主要目的是通过对建设项目外排污染物达标情况、环保设施运行情况、污染物治理效果、必要的环境保护敏感目标、环境质量等的监测、建设项目环境风险和环境管理水平检查，综合分析、评价得出结论，以报告书的形式为环境保护行政主管部门提供建设项目竣工环境保护验收及验收后的日常监督管理提供技术依据。1.2 验收依据1.2.1 法律法规依据(1)中华人民共和国环境保护法（2015.1）；(2)中华人民共和国水污染防治法（2008.2）；(3)中华人民共和国环境噪声污染防治法（1996.10）；(4)中华人民共和国大气污染防治法（2015.08）；(5)中华人民共和国固体废物污染防治法（2005.4）；(6)中华人民共和国环境影响评价法（2003.9）；(7)中华人民共和国清洁生产促进法（2012.7）；(8) 国务院令第253号，建设项目环境保护管理条例（1998.12）；(9) 原国家环境保护总局令第13号，建设项目竣工环境保护验收管理办法（2002.2）；(10) 原国家环境保护总局环发200038号文，关于建设项目环境保护设施竣工验收监测管理有关问题的通知及附件建设项目环境保护设施竣工验收监测技术要求（试行）（2002.2）；(11) 山东省环境保护局文件鲁环发2007131号关于进一步落实好环评和“三同时”制度的意见（2007.09）；(12)山东省环境保护条例（山东省人大常委会2001.7）；(13)山东省人大常委会2006年第98号公告山东省南水北调工程沿线区域水污染防治条例（2006.11）；(14) 鲁环函2011417号文山东省环境保护厅关于加强建设项目竣工环境保护验收管理的通知（2011.6）；(15) 鲁环函2011808号文山东省环境保护厅关于印发和的通知（2011.12）。(16) 国家环境保护部环发201277号关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知(2012.7)(17) 国家环境保护部环发201298号关于切实加强风险防范严格环境影响评价管理的通知(2012.8)(18) 山东省环境保护厅鲁环函2012493号山东省环境保护厅关于加强建设项目竣工环境保护验收等有关环境监管问题的通知（2012.9）(19) 山东省环境保护厅鲁环发20134号山东省环境保护厅关于进一步加强环境安全应急管理工作的通知(2013.1)(20) 山东省环境保护厅鲁环评函2013138号山东省环境保护厅关于加强建设项目特征污染物监管和绿色生态屏障建设(2013.3)1.2.2 技术文件依据(1) 济宁富美环境研究设计院元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目环境影响报告书（2016年11月）；(2)济宁市环保局高新技术产业开发区分局以济高新环审201612号文关于元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目环境影响报告书的批复（2016.11.21）。(3) 济宁市环保局高新技术产业开发区分局济宁市建设项目污染物总量确认书（JGXZL(2016)41号）。1.2.3 验收执行标准验收执行标准来源于环评报告以及环评批复确定的标准，主要包括以下污染物排放标准：（1）大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表2中二级标准；（2）山东省固定源大气颗粒物综合排放标准（DB37/1996-2011）表2新建企业大气颗粒物排放标准；（3）恶臭污染物排放标准（GB14554-1993）；（4）工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中的3类区标准；（5） 一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准（GB18599 -2001）；（6）危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）；（7）污水排入城镇下水道水质标准（GB/T 31962-2015）中B等级标准。1.3 验收对象本次验收项目为元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目一期工程。监测对象主要包括：粉尘洗涤塔产生的废气排气筒、碱液喷淋洗涤塔废气排气筒、酸液喷淋洗涤塔废气排气筒；本项目的无组织废气监测；本项目厂界噪声监测；本项目厂区高浓池、沉淀池、污水处理站进出口废水的监测。表1.3-1 验收监测对象一览表类别监测对象污染源废气有组织切割工序粉尘洗涤塔排气筒蚀刻及清洗喷淋洗涤塔排气筒清洗喷淋洗涤塔排气筒无组织厂界污染物无组织废气监测废水研磨废水调匀池研磨废水澄清池酸碱废水调匀池酸碱废水澄清池厂区总排放口厂区生活废水噪声厂界噪声排放第二章 建设项目工程概况2.1 项目地理位置元鸿（山东）光电材料有限公司位于山东省济宁市高新技术产业开发区济宁高新区信息产业园内，项目位于联华路8号4#电子厂房。地理位置如图2.1-1所示。2.1.2项目环境保护目标本项目确定的卫生防护距离为50m。本项目卫生防护距离内无敏感点，与环评阶段相比周围环境保护目标没有变化，不涉及搬迁问题。场址周围主要环境保护目标见表2.1-1、图2.1-2。表2.1-1 环境保护目标一览表序号保护目标方位相对厂界的距离（m）环境特征备注1创意SOHOW150居住区2科苑青年公寓E290居住区该项目位置图2-1 该项目地理位置图项目所在地图2.1-1厂区地理位置图图2-1 新建项目地理位置图元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目 长晶工序厂区元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目 晶元工序厂区创意SOHO科苑青年公寓图2.1-2厂区环境保护目标图2.2 项目工程概况为了适应市场需求，元鸿（山东）光电材料有限公司投资1875万建设声表面波材料项目。本项目利用国外先进技术和投资各方的资金实力开发、生产声表面波材料，可大大提升我国无线电通讯产业研制生产领域的技术水准，缩短我国与先进国家间在该领域的差距，同时还可带动我国许多关联产业企业的发展，因此本项目的建设是必要的。本项目的实施可以带动相关产业发展，完善无线电通讯产业相关产业链，因此具有强大的产业联动效应和社会效益。无线电通讯产业产业链产出价值呈现逐级放大效应，该项目所带动的上下游产业链形成的产业规模将十分可观。项目名称：声表面波材料项目一期工程；建设单位：元鸿（山东）光电材料有限公司；建设性质：新建；建设地点：济宁高新技术产业开发区济宁高新区信息产业园内；投资总额：1875万元，厂区总占地面积11516.56m2。建设规模：项目分三期建设，其中一期将形成年产LN（铌酸锂）晶棒276kmm、LT（钽酸娌）晶片6万片及LN晶片6万片的生产加工规模。劳动定员：建设项目生产人员部分从厂区调配，不新增工作人员。生产班制：年工作日为360天，车间生产班制为四班运转制，每班工作12小时；行政管理、技术人员采用白班8小时工作制。项目组成包括主体工程、辅助工程、贮运工程、公用工程和环保工程等，项目主要建设情况详见表2.2-1。表2.2-1项目主要建设情况项目名称元鸿（山东）光电材料有限公司声表面波材料项目建设单位元鸿（山东）光电材料有限公司工程内容车间分类内容生产车间主体工程LN长晶生产车间依托厂区年产300万mm蓝白光LED专用蓝（白）宝石晶柱项目生产车间内预留用地，新增长晶炉、退火极化炉和测试设备，依托年产300万mm蓝白光LED专用蓝（白）宝石晶柱项目项目的切片机、磨床等设备。主要包括晶体成长控制工序和滚圆整形工序。LT/LN晶圆工序生产车间依托厂区蓝宝石衬底片、图形片制作项目1F车间，面积10716.56m2，主要有切割站、研磨站、导角站、热处理站、抛光站组成，依托现有项目设备。辅助工程仓库1F、2F主要用于存放原辅材料，依托原有化学品库1F采用防腐蚀环氧树脂地面，主要存放硝酸、氨水等化学品原料，依托原有成品仓1F用于存储成品、半成品，依托原有危废仓库废水站1F主要用于存放各类危险废物及空化学品容器，依托原有贮运工程原辅料来源所需原材料主要来源于国内运输采购的原辅材料均采用公路运输公用工程供电依托高新区济宁联电工业园内供电管网供给，厂区建有配电室供水项目用水由济宁高新技术产业开发区市政自来水供水管网供给供气拟建项目采暖季蒸汽供应依托高新区内的华能济宁热电厂供应；非采暖季依托厂区建设的3t天然气蒸汽锅炉供气，可以满足供气需求。环保工程废气治理系统对生产中的各种废气采用技术可行、经济合理的治理措施，即粉尘经过洗涤塔进行处理；酸性废气进入碱液进行淋洗；碱性废气采用酸液进行淋洗。废水治理依托公司原有污水处理站，处理能力3000m3/d，各生产废水分质采用不同的处理工艺，处理后废水达到接管标准后和生活污水进入高新区第二污水处理厂进行进一步处理噪声治理采用吸声、隔声和降噪等措施水土及生态保护培植绿化带2.3 工程建设内容建设项目总平面布置大致为： 1）LN晶柱车间依托年产300万mm蓝白光LED专用蓝（白）宝石晶柱项目生产车间，主要包括晶体成长控制工序和滚圆整形工序。1）LT/LN晶圆车间主要包括切割站、研磨站、导角站、上蜡站、热处理站、抛光站、清洗站。2）软水制备装置3）研发区、办公区4）物料暂存室5）仓库、成品仓、化学品库6）动力站房、变电站、控制室2、总平面布置方案拟建项目LN晶柱生产车间位济宁市高新区联电园区的北侧，于LT/LN晶圆车间位于济宁市高新区信息产业园西南角的一层，平面布置充分考虑了工艺流畅性与完整性。晶圆车间北侧布置仓库和化学品原料库，车间由北向南依次布置切割站、研磨站、导角站、热处理站、抛光站，车间东部布置纯水站、动力站房和变电站，晶圆车间东南侧布置生产员工准备区、更衣间和换鞋区。厂区排水采用污水和雨水分流制排水系统。雨水经过厂区建设的雨水管网收集后排入厂区外市政雨水管网。项目产生的生产废水根据不同的废水性质，采用不同的分流管道，经过收集后进行分质处理。厂区废水处理站位于生产车间的东侧，事故水池位于污水处理站的北部，方便事故状态下事故废水的收集与处理，危废间位于污水处理站的东南角，用于危险废物的暂存。各车间废气经过管道收集以后送至生产厂房三楼顶层进行集中处理，由北向南依次布置酸排气喷淋塔及排气筒、碱排气及排气筒、湿粉尘排气及排气筒。根据项目原辅材料消耗情况及厂区内最大贮存量，结合风险专章分析，本项目使用的化学品最大贮存量均未超过临界量，未构成最大危险源。2.4项目主要生产设备、环保设备、物料消耗2.4.1项目主要生产设备、环保设备本项目主要生产设备、环保设备详见下表。表2.4-1LN长晶车间主要设备一览表项次设备名称一期备注1LN长晶炉46新购46台2退火&极化炉27新购27台3TC测试设备1新购1台4带锯切片机1依托原有5平面磨床2依托原有6外圆磨床2依托原有表2.4-2 LT/LN晶圆车间主要工艺设备一览表项次站别名称设备名称一期备注1切割站切片机1新购1台2脱胶烤箱室熔炉1依托原有3切割站六槽超音波清洗机1依托原有4切割站旋干机1依托原有5研磨站12B研磨机1依托原有6研磨站六槽超音波清洗机1依托原有7切割站旋干机1依托原有8倒角站WGM倒角机-双轴1依托原有9蚀刻蚀刻机1依托原有10抛光36B/32B抛光机2依托原有11抛光七槽清洗机1依托原有12抛光旋干机1依托原有13抛光非接触式量测仪1依托原有2.4.2物料及能源消耗表2.4-3 原辅材料及能源消耗（LiNbO3长晶工序） 单位：/年序号名称单位状态万毫米用量一期LN晶柱产能万毫米-27.61碳酸锂（Li2CO3）kg固态80kg22082氧化铌（Nb2O5）kg固态320kg88323切削液kg液态1kg27.64粗磨液kg液态2kg55.2表2.4-4 原辅材料及能源消耗（LT/LN晶圆工序） 单位：/年序号名称单位状态规格、成分千片用量一期1LN晶柱（自产）mm 75045000LT晶柱 750450002切割液kg液态矿物油96.7kg116043研磨粉kg固态氧化铝/碳化硅60kg72004研磨添加剂L液态界面活性剂3.4L4085抛光液L液态界面活性剂214.28L25713.66双氧水L液态31%H2O28.67L1040.47氨水L液态26%NH3H2O8.67L1040.48硝酸L液态68%HNO32.74L328.89清洗剂Kg液态界面活性剂55.47kg6656.4表2.4-5 主要原辅材料性质名称分子式理化性质用途危险性碳酸锂Li2CO3碳酸锂，一种无机化合物，化学式为Li2CO3，为无色单斜晶系结晶体或白色粉末。密度2.11g/cm3。熔点723(1.013*105Pa)。溶于稀酸。微溶于水，在冷水中溶解度较热水下大。不溶于醇及丙酮。可用于制陶瓷、药物、催化剂等。常用的锂离子电池原料。用于制取各种锂的化合物、金属锂及其同位素。还用于制备化学反应的催化剂。半导体、陶瓷、电视、医药和原子能工业也有应用。分析化学中用作分析试剂。在锂离子电池中也有应用。在水泥外加剂里作为促凝剂使用。健康危害:误服中毒后，主要损及胃肠道、心脏、肾脏和神经系统。中毒表现有恶心、呕吐、腹泻、头痛、头晕、嗜睡、视力障碍、口唇、四肢震颤、抽搐和昏迷等。环境危害:对环境可能有危害，对水体可造成污染。燃爆危险:该品不燃。危险特性:自身不能燃烧。受高热分解放出有毒的气体。有害燃烧产物:一氧化碳、二氧化碳。氧化铌Nb2O5五氧化二铌:化学式Nb2O5，分子量265.81，白色晶体，熔点1460，相对密度4.47，相对介电常数35-50，带隙3.4eV。受热至400颜色变黄，溶于氢氟酸、热硫酸及碱，不溶于水是最稳定的氧化物。其水合物的化学式为Nb2O5 xH2O，受热分解，可溶于浓硫酸、浓盐酸、氢氟酸及强碱, 不溶于水及氨水，在空气中灼烧金属铌或由铌酸脱水可得。五氧化二铌用作拉铌酸镍单晶，制特种光学玻璃、高频和低频电容器及压电陶瓷元件。也用于生产铌铁和特殊钢需要的各种铌合金。是制取铌及其化合物的原料。还用作催化剂、耐火材料。受热时变黄色，冷却后仍变白色。与碱金属的酸式硫酸盐、盐酸盐或氢氧化物共熔而分解。铌及其氧化物的最高容许浓度为10mg/m ；含氟化合物通常按氟计算，即1mg/m 。在粉尘含量较高的环境中工作，要戴防毒口罩,要注意通风和除尘。2.5 公用工程1、给、排水（1）给水本项目生产及生活用水全部由高新区自来水管网供给，采取生产、生活和消防各自独立给水系统。该项目给水系统依托原有供水系统。（2）排水按照环保要求，厂区排水设计为“雨污分流”、“清污分流”系统。雨水经厂区雨水管网收集排入周围沟渠。项目排放的废水主要为生产废水，包括研磨废水、酸碱废水（包括工艺酸碱废水、洗涤塔排污水、纯水系统废水）进入厂区配套建设的污水处理设施分质处理达标后与设备、地面冲洗废水和生活污水一起排入市政污水管网进入济宁市高新区第二污水处理厂进行综合处理。2、供电项目用电由济宁高新技术产业开发区变电站供电系统供给，供电设施能够满足生产需求。3、供热项目采暖季蒸汽供应依托高新区内的华能济宁热电厂供应；非采暖季依托厂区建设的3t天然气蒸汽锅炉供气，可以满足供气需求。办公楼采用空调制冷/供暖。4、储运项目配套建设仓库、化学品库和危废间。1010242425.21.23710预处理道路洒水除漆用水清洗用水31LN长晶工序仓库位于厂区北侧，主要存放LN原料，切削液以及粗磨液；LT/LN晶圆工序仓库位于生产车间内的北侧，主要存放晶体、研磨粉、清洗剂等材料，另外在另外在仓库设置专门的化学品库房，用于存放氨水、硝酸等化工产品。在厂区东侧设置危废暂存区，用于暂存废化工原料容器等危险固废，严格按照危险废物的贮存标准要求，对危险废物暂存间做防渗、防风、防雨、防晒措施，根据危废性质采用钢桶盛装，避免泄漏及有害物质的挥发。项目原辅材料及产品运输均采用汽车运输，依托社会运输力量。5、厂区绿化本工程在厂区内拟种植草坪、四季花卉及多种观赏性树种。绿化部位主要布置在道路两旁、围墙及车间周围，对办公楼前区域进行了重点绿化，尽可能选择滞尘能力强及净化大气效果好的植物，营造一个舒适、优雅的办公环境。办公楼前广场中间可布置花坛或花台，但要注意高度，不能遮挡车辆和行人的视线。围墙绿化设计要充分体现防火、防风、抗污染和减弱噪音的功能，并与周围的景观协调一致。6、与现有工程的依托关系：项目LN长晶工序依托年产300万mm蓝白光LED专用蓝（白）宝石晶柱项目生产车间、部分设备、仓库及公用工程，LT/LN晶圆工序依托蓝宝石衬底片、图形片制作项目1FPW项目的车间、部分设备、仓库及公用工程，两部分车间相距约有386m。现有工程落实了各项环保措施，能够保证污染物达标排放。在事故应急状态下，事故废水如果处理不当，可能污染项目周围水环境。企业要确保事故状态下的消防废水全部收集后进行专门处理，不直接排入外环境。2.6生产工艺流程及产污环节分析2.6.1工艺流程及产污环节图LN原料长晶退火&极化切削液W4、S4切头尾粗磨液W4、S4端磨粗磨液W4、S4滚圆检验包装入库注： W3 切磨废水，S4下脚料（可回用）图4.2-1 铌酸锂（LN）长晶工序生产工艺流程及产污环节图2.6.2工艺流程说明长晶：LiNbO3（块料）投入长晶炉（硅钼棒加热），约1250成熔体，然后缓慢降温结晶，降温至室温，LiNbO3（晶体，LN）出炉。退火&极化：LiNbO3（晶体，LN）投入退火极化炉，加热至约1000，恒温10小时退火，施加电场极化1小时，然后缓慢降温至室温，取出晶体。切头尾：利用线切割机按照来料状况进行切头去尾。端磨：利用磨平机对晶柱两端进行磨平。滚圆：利用滚圆机对晶柱进行滚圆处理。LN/LT晶柱切削液G1W1切割氧化铝研磨粉研磨添加剂G1 W1S1双面研磨倒角硝酸G2 W2蚀刻G1 W2抛光液抛光G3 W2，S2氨水双氧水清洗检验镭刻包装入库图4.2-2 钽酸锂、铌酸锂（LT/LN）晶圆工序流程注：G1粉尘；G2酸性废气，G3碱性废气；W1研磨废水；W2酸碱废水；S1废研磨粉，S2 空化工桶2.6.3工艺流程说明（1）切割晶棒粘合鸠尾座上面，把粘好晶棒的鸠尾座装夹在切片机上，设定好机台参数，利用切割机上已布置好的钻石线，搭配机台的功能进行切片。（2）导角研磨后晶片进站检，设定机台直径需求，使用双轴导角机进行圆边导角作业。（3）研磨对切割后的晶片进行双面研磨处理，使厚度均匀、集中，表面粗糙度控制在规格范围内。首先，晶片摆放在磨盘上的蓝钢片的孔洞内；然后，机台启动进行研磨；最后，停机检验后，收片。（4）蚀刻HNO3加热至45，利用其强烈的酸性对晶片表面进行化学腐蚀。（5）抛光经过研磨后的晶片仍然会在表面留下明显的刮伤，因此要经过一道抛光工序，将刮伤以铜抛机（机台名称，作业不产生铜）抛光去除掉，也就是磨光晶片表面。首先将晶片加蜡，使其粘连与陶盘上，便于铜抛作业，继而利用铜盘抛光机将晶片先进行初抛处理，该工段连续运行时会产生抛光废水，废水排至研磨水池处理。（6）清洗将蚀刻完成后的晶片，通过加入氨水、双氧水进行清洗。（7）镭刻对出货前的晶片按照客户需求的规格进行打标。首先，把晶片放入机台的指定区；然后，启动机台对晶片进行镭刻作业；最后，取出晶片，进行检验。2.6.4产污环节1、废气G1：切割粉尘；G2：酸性废气；G3：碱性废气。2、废水W1：切割、研磨、抛光废水；W2：蚀刻及清洗废水；W3：长晶工序切磨废水3、固体废物S1：废研磨粉；S2：废包装桶；S3：污水处理设施污泥；S4：长晶工序下脚料。4、噪声：机加工设备、水泵、风机等产生噪声。2.7污染物产生、处理及排放情况2.7.1废气污染物产生情况及采取的治理措施本项目产生的大气污染物主要有切割倒角粉尘（G1）、蚀刻清洗工序酸雾（G2）、碱洗工序的氨气（G3）。1、有组织排放废气其中，本项目三期粉尘洗涤塔及排气筒、酸性和碱性废气的处理装置及排气筒均依托元鸿（山东）光电材料有限公司蓝宝石衬底片、图形片制作项目废气处理装置。本项目所依托的废气处理装置排气筒概况见表2.7-1。表2.7-1项目废气污染源排气筒依托概况表污染源排气筒所在位置处理措施排气筒高度(m)排气筒内径(m)数量粉尘厂房栋屋顶层洗涤塔除尘（吸收率90%）280.951酸雾厂房栋屋顶层碱液喷淋吸收装置处理（处理效率90）280.951氨气厂房栋屋顶层酸液喷淋洗涤塔（处理效率90）280.951根据大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）要求，排气筒高度应高出周围200m半径范围内的建筑5m，本项目西侧150m为创意SOHO（居住小区），楼层为28层，建筑物高度为84m，排气筒高度不能满足标准相关要求，因此项目排放速率标准应该严格50% 执行。（1）晶圆车间切割、倒角粉尘（G1）本项目依托PW车间切割、研磨工序配套建设洗涤塔除尘器一套及28m高排气筒一个。洗涤塔技术参数见表2.7-2。表2.7-2 湿粉尘洗涤塔技术参数一览表技术指标停滞时间处理量处理效率湿润因子是否分级参数值0.5s550 m3/min90%0.1否项目原料以成品晶体为主，在切割、倒角工序会产生极少量的粉尘，产生的粉尘通过集气罩集中收集后，采用洗涤塔喷淋装置(除尘效率90%)处理， 洗涤塔除尘装置排气筒高度28m，处理后粉尘排放浓度满足大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表2二级标准的要求（颗粒物，其他，120mg/m3，28m，9.79kg/h）及山东省固定源大气颗粒物综合排放标准（DB37/1996-2011）中表2标准的要求（其它尘源，30mg/m3），达标排放。（2）酸性废气（G2）项目在清洗、蚀刻、最后清洗过程会产生酸性废气（主要是硝酸雾），酸性废气经收集以后汇集到一根DN100的导气管统一输送到屋顶气体净化区，经碱液喷淋塔处理后，通过28m高的排气筒排放。项目碱液喷淋塔技术参数见表2.7-3。表2.7-3碱液喷淋塔技术参数一览表技术指标停滞时间处理量处理效率湿润因子是否分级参数值0.5s900 m3/min90%0.1否碱液喷淋塔装置排气量为54000m3/h，将其引入碱液喷淋吸收装置处理（处理效率90），处理以后经一根28m高的排气筒排放，处理后排放浓度满足大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）表2二级标准（氮氧化物（硝酸使用和其他）最高允许排放浓度240mg/m3，28m，1.89kg/h）。（3）碱性废气（G3）项目在最后清洗过程会产生碱性废气氨气，碱洗工序依托PW项目一期酸液喷淋塔装置及排气筒。项目酸液喷淋塔技术参数见表2.7-4。表2.7-4酸液喷淋塔技术参数一览表技术指标停滞时间处理量处理效率湿润因子是否分级参数值0.5s500 m3/min90%0.1否项目氨气排气量为30000m3/h，将其引入酸液喷淋装置处理后，去除率可达90%，最后通过一根28m的排气筒排放，氨气排放满足恶臭污染物排放标准（GB 14554-93）表2二级标准（氨）最高允许排放速率：28m，20kg/h）。2、无组织排放无组织排放是指排气筒高度小于15m或不通过排气筒的废气排放。（1）车间无组织废气根据项目氨平衡及建设单位提供资料计算，无组织排放的粉尘量0.06t/a，切割站长度31.4m，宽度11m，高度7.8m；硝酸雾产生量为0.006t/a，蚀刻站长度33.5m，宽度7.5m，高度3.6m；氨气产生量0.0042t/a，清洗站长度29.9m，宽度25.3m，高度5.2m。（2）化学品的储存过程本项目化学品根据生产需要由供应商负责储存、运输、供货。工艺中使用的化学品，全部采用厂家专用塑料桶包装密封后用车运的方式运输入厂，然后根据其不同的用途和性质分别储存在化学品库内。在储存过程中不存在损耗，基本没有污染物的无组织排放。（3）化学品的供应过程本项目生产车间大部分为超洁净室，全封闭式操作，化学品在车间的化学柜中央供应，化学柜上接排气管路至楼层顶部的洗涤塔，易挥发有机、无机废气分别抽取到各类废气净化系统中进行处理，再通过28m高度的排气筒排放。废气处理系统划分合理，覆盖面大，基本消除了工艺废气在使用过程中的无组织排放源；废气处理措施完善，系统的净化效率较高。（4）化学品运输过程中的极微量泄漏管道输送液体的过程中，在管道接口处有极微量液体泄漏。根据类比数据，化学材料在运输过程中，在罐装、管道等接口处可能的极微量泄漏约为总量的0.05%。本项目考虑的是使用量较大的硝酸、氨，年使用量分别按2762kg/a、5680kg/a计，泄漏量按最坏情况来考虑，为总量的0.8%计，可得到硝酸、氨的极微量无组织排放约为0.0026kg/h、0.005kg/h。2.7.2废水产生及排放情况按照环保要求，厂区排水设计为“雨污分流”、“清污分流”系统。雨水经厂区雨水管网收集排入周围管网。由于本项目不新增工作人员，故无生活污水的产生和排放，拟建项目排放的废水主要为研磨废水、酸碱废水、地面冲洗废水、纯水制备废水、酸碱洗涤塔废水。1、研磨废水晶圆车间切割、研磨、抛光等工序中会产生切磨废水，其中切割废水、研磨废水悬浮物含量较高，主要污染物为CODCr、BOD5、SS、NH3-N等，厂区元鸿（山东）光电材料有限公司蓝宝石衬底片、图形片制作项目终期切磨废水产生量为733m3/d，厂区研磨废水设计处理规模为1750 m3/d。故厂区研磨废水处理系统的余量能够接纳本项目的废水，经过厂区污水处理设备处理达标后排入高新区第二污水处理厂进行处理。研磨废水处理流程如下：研磨废水研磨沉淀槽研磨慢混池研磨快混池研磨调匀池好氧池A/B缺氧池A/B研磨液废水澄清池PH调节池A/B研磨沉淀槽A/B市政管网研磨液废水澄清池酸碱废水处理系统图2.7-5 研磨废水处理流程2、酸碱废水酸碱废水主要包括工序酸碱废水、废气洗涤塔废水和纯水制备排污水酸碱废水污染物浓度相对较低，主要污染物是酸碱失衡，水量较大。由于研磨终端都要接入酸碱废水处理系统进行处理，本系统设计处理规模为3000m3/d。厂区元鸿（山东）光电材料有限公司蓝宝石衬底片、图形片制作项目终期酸碱废水产生量为1231m3/d，厂区酸碱废水处理系统余量能够接纳本项目的废水，该废水中主要是酸碱性污染物，不能满足管网要求，需要入厂区配套建设的污水处理设施处理达标后排入市政污水管网进入高新区第二污水处理厂进行综合处理。酸碱废水简化处理流程如下：酸碱废水酸碱调匀池PH调节池1PH调节池2不合格放流槽市政管网图2.7-6 酸碱废水处理流程生产废水经厂区配套污水处理设施处理后能满足污水排入城镇下水道水质标准（CJ343-2010）标准，进入济宁市高新区第二污水处理厂处理，不会对周围地表水环境造成明显的不利影响。2.7.3噪声源强及现状影响项目噪声主要为切割机、研磨机、净化塔风机、空压机及各类泵等运行噪声。项目工程大部分设备均在车间内密封，生产线实行集中控制，主要噪声源设备噪声级在85110dB(A)左右。本项目在工程设计时，为了降低噪声污染主要采取以下措施：（1）设备选型建设项目设备在满足生产的前提下，在采购设备时选用低噪声设备。（2）设备安装设计的防噪措施在设备安装时完全按照安装要求进行，避免设备的重心偏移和安装间隙，减少不必要的噪声。车间各种风机、空压机均设置在独立空间，采用减振基底，连接处采用柔性接头；定期进行设备维修，加装润滑剂，减轻设备运转时产生的噪声，确保噪声达标。（3）厂房建筑设计中的防噪措施设置隔声门和楔形窗，降低室内混响，增大隔声量；高噪声设备的车间尽量不要安排在靠近厂界的地方。（4）厂区总布置中的防噪措施厂区合理布局，以降低噪声的影响，噪声尽量远离办公区，噪声较高的生产车间周边布置运输通道，降低生产噪声对厂界处影响。（5）设备维护生产中加强设备维护，确保设备处于良好的运转状态，杜绝因设备不正常运转时产生的高噪声现象。（6）项目在机加工下料阶段会产生相当强度的瞬时噪声，可通过轮岗的方式减少操作人员受噪声影响的时间；操作人员工作时佩戴耳塞作为劳动保护措施。（7）厂区多种植树木，有效降低噪声的影响。2.7.4固体废物产生及处置情况项目主要固废包括研磨工序产生的废研磨粉、空化学品容器、污水处理设施工序产生的污泥等。根据环函2014126号关于用于原始用途的含有或直接沾染危险废物的包装物、容器是否属于危险废物问题的复函中指出：用于原始用途的含有或直接沾染危险废物的包装物、容器是指由原所有者回收并重新用于包装或者盛装该危险废物的包装物、容器。该类包装物、容器不属于固体废物，也不属于危险废物。公司原辅材料包装桶由厂家回收重新利用，不列为固体废物一栏，但是为了控制含有或者直接沾染危险废物的包装物、容器在回收过程中可能发生的环境风险，应当按照国家对该类包装物、容器所包装或盛装的危险废物的有关规定和要求对其贮存、运输等环节进行环境监管。若厂家表示包装桶无法重新利用时，应参照国家危险废物名录中HW49其他废物中非特定行业900-041-49含有或直接沾染危险废物的废弃包装物、容器、清洗杂物进行处理，委托资质单位回收。项目研磨工序产生的废研磨粉收集后全部由厂家回收再利用；废化学品容器由厂家回收重新利用；一般废物的污泥经过脱水处理后定期清运作农肥，均不会产生长期堆存。项目固体废物产生、治理情况见表2.7-7。表2.7-7项目固体废物产生、治理情况一览表序号固废名称产生工段产生量性质处理措施排放量S1研磨粉研磨工序21.6t/a一般废物厂家回收再利用0S2废化学品容器清洗工序3.36t/a/厂家回收重新利用0S3污泥污水处理设施81.6t/a一般废物属于一般固废，经脱水后运至建筑型材加工厂加工成建筑型材0S4长晶工序下脚料长晶工序0.02t/a一般废物回用于长晶工序0项目固体废物均得到综合利用，不会对周围环境造成明显的不利影响。2.7.5车间防渗措施为了确保项目建设对厂区内及周边地下水环境不会产生影响，必须对生产区、原料区、仓储区以及“三废”临时储存场所地面进行硬化和必要的防渗处理，防雨淋、防冲刷。普通车间及仓库车间设置水泥硬化地面，对化学品储存点及危险废物仓库进行重点防渗。项目污染物产生量及处理设施、排放量汇总2.7-8项目营运期污染物产生、排放及处理处置措施一览表类别编号产生环节污染物产生量措施及去向排放量废气G1切割工序切割粉尘有组织0.2t/a依托处理设施，采用洗涤塔除尘，除尘效率达到90%，通过28m高排气筒排放0.02t/a无组织0.01t/a车间排风系统排出0.01t/aG2蚀刻及清洗工序硝酸废气有组织0.019t/a依托处理设施，采用碱液喷淋吸收装置处理，处理效率90%，通过28m高排气筒排放0.0019t/a无组织0.001t/a车间排风系统排出0.001t/aG3清洗工序氨气有组织0.014t/a依托处理设施，采用酸液喷淋吸收装置处理，处理效率90%，通过28m高排气筒排放0.0014t/a无组织0.00074t/a车间排风系统排出0.0007t/aG4黑化工序氢气、氮气有组织-通过管道排出室外-废水W1切割、研磨、抛光工序切磨废水15.57m/d经过厂区污水处理设备处理后达标后排入高新区污水管网，由高新区第二污水处理厂进行处理15.57m/dW2蚀刻及清洗工序蚀刻清洗废水40.36m/d40.36m/d固废S1研磨工序废研磨粉3.6t/a厂家回收后，综合利用0S2清洗工序空化学品容器0.56t/a原厂家回收利用0S5污水处理污泥13.6t/a属于一般固废，经脱水后运至建筑型材加工厂加工成建筑型材0S4长晶工序下脚料0.011t/a回用于长晶工序0S3线切割工序切割砂浆16t/a交有资质部门处理0噪声噪声主要来自于切割机、研磨机、净化塔风机、空压机及各类泵等，噪声级在7580db（A）之间，采取一定降噪措施后，厂界噪声可满足工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）2类标准的要求。第三章环评结论及环评批复要求3.1 环评结论及建议3.1.1建设项目概况本项目为元鸿（山东）光电材料有限公司投资1875万元在济宁高新技术产业开发区济宁联电工业园内建设的声表面波材料项目；厂区总占地面积11516.56m2。项目分三期建设，其中一期将形成年产LN（铌酸锂）晶棒276kmm、LT（钽酸娌）晶片6万片及LN晶片6万片的生产加工规模，二期形成年产LN晶棒120kmm、LT晶片24万片及LN晶片12万片的生产加工规模，三期形成年产LN晶棒84kmm、LT晶片12万片及LN晶片12万片的生产加工规模，最终形成年产LN晶棒480kmm、LT晶片42万片及LN晶片30万片的生产加工规模。拟建项目生产人员部分从厂区调配，不新增工作人员，年工作日为360天，车间生产班制为四班运转制，每班工作12小时；行政管理、技术人员采用白班8小时工作制。3.1.2产业政策的相符性分析本项目生产声表面波材料，属于产业结构调整指导目录（2011年本）（修正）中鼓励类“二十八、信息产业21、新型电子元器件制造”，不属于其限制类和淘汰类中的项目，在产品生产过程中未使用国家明令禁止的淘汰类和限制类的设备及工艺，符合国家产业政策。3.1.3厂址选择合理性综合考虑总体规划、外部建设条件以及环境可行性、公众支持度等因素，本项目选址可行，但同时必须加强管理，确保各项污染物稳定达标排放，防止各类污染事故发生，同时做好应