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静静电电皮皮点点检检记记录录表表 年度 日期 检查线 别 月份1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月11月12月 项目 台面 对地 台面 对地 台面 对地 台面 对地 台面 对地 台面 对地 台面 对地台面 对地 台面对地 台面 对地台面 对地台面 对地 线别编号电阻 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻电阻 电阻 电阻电阻 电阻 电阻电阻 电阻电阻 电阻 测试人员签名 注 1 本表要测项目每月测一次 静电测试不合格及时改善 2 检测标准 台面电阻在7 5 105 1 1010 范围内 对地电阻在7 5 105 1 109 范围内 表单编号 版本 QS 017 01 B 审核 核准 静静电电设设施施点点检检记记录录表表 月份 表单编号 版本 QS 017 02 A 检查内容工作椅周转箱防静电托盘地 面 部门 线别编号 位置 表面电阻对地电阻表面电阻表面电阻表面电阻系统电阻 备注 1 本表要测项目每月测一次 每次抽样数量不少于10组 静电测试不合格及时改善 2 工作椅应满足ESD技术指标 表面电阻 1 1010 对地电阻在7 5 105 1 109 范围内 3 静电箱静电系数要求 表面电阻在7 5 105 1 1010平方范围内 4 防静电托盘 表面电阻1 105 1 1010平方范围内 5 防静电地板表面电阻在1 105 1 1010 范围内 系统电阻
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