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反光镜镀膜生产关键点控制 镀膜车间2009 8 18 关键点 一 杜绝返油生产 预防措施 1 每小时观察冷井工作状态是否正常 不正常立即上报车间 并做好记录 2 每4小时观察冷水机冷却水温度是否低于28度 高于28度立即上报车间 并做好记录 3 1100镀膜机扩散泵关机温度控制在120度一下 6 机冷却2 5小时 做好关机温度记录 做好关闭扩散泵与关机时间记录 4 1100镀膜机扩散泵预热要1小时以上才能抽高真空 1350镀膜机扩散泵预热要2小时以上才能抽高真空 做好开扩散泵时间与抽真空时间记录 关键点 二 停电或水泵坏了停水处理措施 依顺序立即关闭高阀 电子枪阻蒸 离子源 烘烤 工转 然后立即打开1350镀膜机后部的自来水 同时关闭冷却桶进水阀门与水泵电源 具体操作如下 冷却水正常工作状态 停电水泵坏开自来水状态 停电水泵坏开自来水状态 关键点 三 真空度预防措施 1 控制枪阻蒸工作本底真空度5 10 3Pa 2 加强车间巡检督查力度 抽查在镀真空度与记录 3 培训宣导真空度对产生铝变的影响及铝变问题对产品影响的严重性 四 真空室清洁度预防措施 1 衬板电极挡板等泡完片碱后用砂纸全部砂过一遍 然后用清水冲洗一遍 再用纱布蘸点配好得酸液擦拭一遍 然后再用清水冲洗一遍烘箱烘干 最后用纱布蘸点酒精擦拭一遍即可安装衬板和电极等 2 每天交接班检查高阀盖并用纱布蘸丙酮擦拭一遍 关键点 五 新钨丝油质及脏污预防措施 1 新钨丝使用前单独抽真空烧亮 一次可以多烧几根 把多余的卸下了用白纸包好放置在干燥的位置待用 或者一次就烧四根直接使用 2 烧好的钨丝不得用手直接接触 包括工具在使用前都必须用丙酮擦拭干净 六 铝丝脏与污染预防措施 1 剪刀使用前用丙酮擦拭干净 2 铝丝剪之前用擦拭布蘸丙酮擦拭多次 直到铝丝擦亮 擦拭布几乎不黑为宜 3 剪好的铝丝要用白纸盖好 镊子头不能用手直接接触 并与铝丝分开放置保持干净 关键点 七 清洗残留物与腐蚀预防措施 1 烘干槽 第12槽定期清洁更换IPA 2 加强车间过程巡检 保证超声波各槽清洗时间与功率符合工艺要求 3 烘干槽液位定时观察修正 4 严格按工艺控制零件在各槽浸泡时间 加快流程 5 定期更换各槽过滤芯 6 定时检查冷却水工作状态 7 定时检查纯水指数 定期清洗纯水混床 关键点 八 清洗好的玻璃暴露空气时间 20分钟预防措施 1 协调好烘玻璃时间 篮数多要两个烘干槽同时烘 2 上盘要准备好锅及时上盘 同时做好记录 3 等锅的要计算好烘玻璃时间 同时要先下盘再清洁真空室及准备工作 4 取件装件时过道空调要及时关闭 九 手修工序参数1 抛光液浓度保证1 003 1 005 2 抛光液温度保证31 35 3 抛光间室温保持26 28 4 压力3K
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