HDI系統2(ppt 11).ppt_第1页
HDI系統2(ppt 11).ppt_第2页
HDI系統2(ppt 11).ppt_第3页
HDI系統2(ppt 11).ppt_第4页
HDI系統2(ppt 11).ppt_第5页
已阅读5页，还剩6页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

製程注意重點 內三盲孔製作 蝕刻首五件AOI 底片無誤 雷鑽靶檢視 對位無誤 雷鑽 孔型控制70 80 水平鍍銅 面銅1Oz 曝光須知 1 誤差值65um以內 最大 不得超過80um 2 少量拒曝以65um3孔曝 使用川寶曝光機 或現場調配外層曝光 製程注意重點 內三線路製作 使用川寶曝光機 或外層 蝕刻首五件AOI 底片無誤 同心圓檢視 對位無誤 曝光須知 如銅窗 1 誤差值65um以內 最大 不得超過80um 2 少量拒曝以65um3孔曝 3 曝光後目檢對準度 不得 破Ring 製程注意重點 三壓 銅窗 外層壓合 菊花靶打靶 見靶打靶 確定最佳準度 P S 相關規定見製程管制要點 二撈 使用125mil銑刀 HDI缺口 三壓缺口 P S 檢查川寶Pin孔須鑽透 漲縮尺寸量測 10Pnls For銅窗 外鑽 外層比較 壓0 5Oz銅箔 料號區 後續注意事項同 1 1二壓後流程 製程管制要點 此製程管制要點主要針對HDI製程中漲縮變化及底片管控提出管理模式以應最終成品尺寸之需求 製程管制要點 漲縮值控制點 埋孔漲縮 L靶預設值 埋孔層線路漲縮 填孔 刷磨結果 內層漲縮 銅窗 銅窗層線路漲縮 銅窗 外鑽 外層線路漲縮 防焊文字 1 1 無埋孔 有埋孔 2 2 漲縮量測統一由X Ray進行 製程管制要點 漲縮管理模式 以Sample取得漲縮變化履歷 量產調整最佳預設值 漲縮預設值之產生 漲縮履歷表 列於料號途程表 說明 同料號第一批Sample記錄漲縮數值 出Match底片 後續批號由製前調整預設值 作為製程中比對用 並一次出齊全套料號Tooling 製程管制要點 漲縮記錄模式 漲縮量測統一由製一課壓合人員以X Ray進行 量測時 將鑽靶偏差設定為0 1mil 靶距 標準值 5mil 漲縮記錄檔案命名 例 490330 1 一壓 X 490330A1Y 49033011 一壓刷磨後 X 490330V1Y 490330H1 二壓 X 490330B1Y 49033021 三壓 X 490330C1Y 49033031 製程管制要點 漲縮值比對模式 說明 搭配量產中之批量 同一鍋 管制法 1 每階段量測之實際漲縮平均值與途程表上預設值 比對 在容許範圍內 歸類為LevelA 並依預 設程式 底片進行製作 2 超出容許範圍訂為LevelB 重出程式 底片 管 制不得與其他製程品混雜 製程管制要點 LevelBTooling申請 製程管制要點 LevelB管制模式I 現場提出LevelB申請 CAM重出程式 底片 半撈時做缺口記號 P S 多批LevelB之程式 底片共用判別 由CAM人員決 定 同LevelA之判別模式 並通知現場人員執行之 L靶距由CAM通知現場為之 執行LevelB時 須將LevelA 底片記錄並收入底片櫃 作 完LevelB管制批量則迅即將 底片記錄並回收於底片房 製程管制要點 LevelB管制模式II 鑽
人人文库> 全部分类> 行业资料 > 管理策划

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论