管式PECVD设备操作及维护.doc

广东爱康太阳能科技有限公司文件编号编辑陈郡志文件名称管式PECVD设备操作规程页 码1/8编制/日期：2011/3/12审核/日期：批准/日期：1. 目的确保PECVD良好的运转和延长PECVD的寿命。2. 使用范围PECVD维护及保养。3. 内容（ Centrotherm PECVD）3.1 开机3.1.1 打开冷却水（先开出水阀，再开进水阀）、压缩空气、N2、特气（SiH4、NH3）关。将冷却水压力计调为56公斤；N2压力计调为23 bar；特气压力计调为12bar；3.1.2 打开设备侧面红色旋转式电源开关；打开位于真空泵正上方的黑色旋钮电源开关，绿色指示灯亮为开关已打开；3.1.3打开设备UPS电源开关；打开电脑UPS电源开关，正常显示为“ON Line”的状态，启动触摸屏；3.1.4 打开设备UPS电源开关V4F7及V4F8；打开VF开关（24V in general CMS），以及相对应的加热开关（V1S1、V2S1、V3S1、V4S1）。打开24V电源控制开关；3.1.5 打开CESAR控制开关。检查每根炉管的状态，正常状态为：Tubeready，Lifeready，Door=closed，PLC=ok，SLS=up，TGA free=Yes；将炉管温度设置为450（Manual T-Paddle All Set point450）；3.1.6 待炉管内的温度高于400时，便可进行生产。3.2关机3.2.1 降温，确保每个炉管的温度降至100以下。Manual T-Paddle All Setpoint203.2.2 将炉管内的压力设置为最小。Manual Vacuum Tube PressureMinimum3.2.3 打开大氮开关，向炉管内充氮气；Atmpress1000mbar时，关闭大氮阀门。打开大氮：Manual Gas N2NO ValveOpen关闭大氮：Manual Gas N2NO ValveClose3.2.4 关闭特气阀门，可以只关闭位于真空泵房的特气保护阀，设备尾部的特气阀可以不关闭；关闭设备尾部氮气阀门。3.2.5 关闭真空泵Manual Vacuum Pump Switch Off。广东爱康太阳能科技有限公司文件编号编辑陈郡志文件名称管式PECVD设备操作规程页 码2/83.2.6 关CESAR ，Service Shutdown Yes。3.2.7 关闭总电源： 将Mainswitch开关调至OFF档。3.2.8关闭真空泵电源开关。3.2.9 关闭真空泵与设备上的冷却水，先关进水口，再关出水口。4保养保养周期序号内容实 施 方 法检 查 标 准工 具时 间班保养1清洁上料台用酒精和无尘布擦拭桨，存储区，上料台上料台表面干净，无碎片等异物无尘布、酒精0.2H2清洁石墨舟上氮化物用N2枪吹扫石墨舟表面石墨舟表面无氮化物吹尘枪0.1H3清洁石墨舟承载车用拭有酒精的无尘布擦拭承载车承载车上无碎片无尘布、酒精0.1H4清洁石墨舟装片房和冷却柜用拭有酒精的无尘布擦拭装片房和冷却柜装片房和冷却柜无碎片无尘布、酒精0.1H5清洁真空吸笔用拭有酒精的无尘布擦拭真空吸笔被吸的硅片上不留下痕迹无尘布、酒精0.1H6检查氮气压力 23bar确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修N2压力值达到2.50.5bar无0.05H7检查压缩空气压力 56bar确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修CDA值达到5.50.5bar无0.05H8检查硅烷压力 1-2bar确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修SiH4压力值达到1.50.5bar无0.05H9检查氨气压力 1-2bar确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修NH3压力值达到1.50.5bar无0.05H10检查冷却水进水温度 1822确认温度计上的显示值能否达到要求值，否则通知设备人员检修温度计温度达到202无0.05H11检查冷却水进水和出水压差3bar确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修冷却水进水压力减去出水压力值大于3bar无0.05H12检查排风有流量100L/min确认流量计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修流量计上流量值大于100L/min无0.05H广东爱康太阳能科技有限公司文件编号编辑陈郡志文件名称管式PECVD设备操作规程页 码3/813检查冷却房风机用小车推入冷却房查看风机是否正常转动,有风风口有风无0.1H14检查上料台净化风机查看风机是否正常转动,有风风口有风无0.1H周保养1清洁炉门密封圈用无尘布把炉口和炉门的氮化物擦干净炉门和炉门口干净整洁无尘布、酒精、百洁布0.5H2清洁SiC浆上的氮化物用吸尘器沿着浆吸去氮化物浆上无氮化物粉尘吸尘器0.5H3清理工艺炉管碎片用自制的毛刷把炉管内碎片清理干净炉管内用肉眼观察整洁无碎片，灰尘自制毛刷、无尘布、酒精1H4调整小车和上料机的位置用内六角调整限位螺丝上舟时能够正确定位内六角、扳手0.2H5检查真空泵泵油的颜色和油量,N2流量和压力,水压和水温确认真空泵上的显示值能否达到要求值油液透明，过半、氮气压力20psi。一字螺丝刀0.2H6检查同步带检查同步带表面无磨损，同步带无磨损并且位置测量正确一字螺丝刀0.2H7检查TGA传感器在CMI上TGA传感器是否灵敏TGA能正确检测内六角0.2H8检查特气喷嘴确认特气喷嘴是否突出特气喷嘴无突起无0.2H月保养1清洁特气喷嘴及密封圈将特气喷嘴及密封圈卸下用拭有酒精的无尘布擦拭特气喷嘴及密封圈无氮化物无尘布、酒精0.5H2清洁真空泵出水口排污将进水出水口阀门关闭，拔出水管接口，打开进水阀，将废水排入水桶中，把水管接头接上，将进出水管阀门打开。排出的废水较清澈水盆0.5H3清洁真空泵尾气管道把泵的出口关闭，用氮气吹扫出口废气管道10分钟开泵后排气压力在1400mpa以下无尘布、酒精0.5H4调整高频电极用内六角将电极固定螺丝调整到电极与石墨舟孔对上。石墨舟孔与电极对准内六角、扳手1H5润滑直线导轨拆除前挡板擦去直线导轨上的赃油，给直线导轨涂上新的润滑油润滑油涂抹均匀无尘布、润滑油1H广东爱康太阳能科技有限公司文件编号编辑陈郡志文件名称管式PECVD设备操作规程页 码4/8季保养1清洁特气管道用N2吹扫特气管道特气管道清洁无堵塞无0.5H2清洁热电偶防护管将热电偶拆下将护管用沾有酒精的无尘布擦拭清洁热电偶护管表面无氮化物无尘布、酒精1H3清洁角阀和碟阀拆下角阀和碟阀进行清洁角阀和碟阀表面干净光滑无氮化硅沉积物无尘布、酒精、扳手1H4检查光电开关确认各个光电开关是否灵敏对规定距离范围内的物体能正确感应无0.2H5更换特气喷嘴密封圈将炉门打开拔出特气喷嘴将新的特气喷嘴及密封圈换上换上后抽真空不漏气无0.5H年保养1更换真空泵润滑油将原有废油排出放入新的润滑油加入的润滑油清澈，液位在观察孔的中间位置内六角2H2更换电位器同步带用工具将同步带及电位器卸下能正确检测舟的位置内六角、板手2H3更换炉门密封圈将炉门密封圈拆下，把新的密封圈换上换上后抽真空不漏气内六角、板手2H4更换电极头及护管用内六角将电极卸下电极与石墨舟孔对上内六角、板手2H5常见故障及其排除方法5.1 Process recipe has terminated with error state 进行中的工艺以错误状态结束警报确认A. To store 储存B. To store enable unload 储存并缷下C. Restart recipe重新开始工艺A用于选错工艺号，手动结束工艺，重新开始新的其他工艺时进行选择B多数情况下选择此项C工艺中断需要重新进行时选择，但不建议使用，建议选择（B），查看镀膜的实际情况后再做决定。5.2 Boat already in tube-Select:Process=0. Unload=1(.) 选择0或1说明：当管内有舟存在时，异常排除后手动运行工艺时会出现此提示。5.3 Lost homing check poti 失去引导，检查位置（一般此警报会自动解除）说明：此警报会自动解除，但需要检查一下桨是否在原点位置即可。广东爱康太阳能科技有限公司文件编号编辑陈郡志文件名称管式PECVD设备操作规程页 码5/85.4 HFGENout of 1ST (2ND) tolerance如果是镀膜中退出，要检查状态栏中deposition time (s)：000秒高频发生器超过第一个（第二个）限值，如果是镀膜中退出，要检查状态栏中镀膜时间（s）：000秒说明：通常此报警有两种情况A. 石墨电极内有硅片倒落，小碎片卡在两片电极中间（做弯曲片或者大片子的时候也会出现此报警）B. 炉内碎片太多，石墨电极底部接触到碎片形成两片电极之间短路，此报警复位后仍不会消除，直到采取相应的措施后方不会再报警。5.5 Recipe abort 2-process abort to continue : enter AB工艺退出运行终止！继续，请输入AB说明：对工艺异常结束的手动确认，然后就会出现报警（一）5.6 Vacuum Tube out of 1ST (2ND) tolerance管内真空压力超过第一个（第二个）限值说明：由于某种原因抽真空被延时，但在特定的时间内无法达到真空要求，系统就会出现这样的报警，检查一下状态栏中的压力值和真空泵的工作是否正常，如果是的话只需等待一段时间，等压力值到达系统要求值时，报警便会自动解除需通知设备人员。5.7 Boat sensor of grad has changed without permission 机械手上的传感器被非允许的改动。说明：机械臂在上下移动的时候，前后不能移动，若前后位置发生移动机械将被锁定，出现报警，此报警需设备人员的密码登陆在Handing对话框中的Tech模式下进行复位。5.8 Collective alert pump ST.1真空泵报警（检查泵房里的真空泵）说明：一般情况下是由于负压太大，导致报警，如果将报警复位（包括真空泵的报警复位）无效的话，就需通知设备和设施人员，对排废气管路进行清理。5.9 Gas N2(SIH4,NH3) out of 1ST (2nd ) tolerance氮气（硅烷、氨气）超出第一个（第二个）限值说明：一般来说此报警是由多方面原因的，例如高频放电失败（电极短路）管内压力不正常或者由于某种系统被锁定（冷却水报警）都会出现这样的报警，如果出现第一个报警，只是警告，查看设备状态，第二个报警出现后工艺会自动中断，此报警消除后，会出现报警（五）。5.10 Warming check SIH4 distribution 警告，检查硅烷流量状态。广东爱康太阳能科技有限公司文件编号编辑陈郡志文件名称管式PECVD设备操作规程页 码6/8说明：查看硅烷的流量是否与设定值吻合，如果不是，退出工艺，重新开始工艺，随即会出现报警（四）和（九）。5.11 Recipe couldnt be started please check protocol for reason!工艺不能运行，请检查原因。5.12 There is already an active recipe 工艺名 from local testing 已有工艺在此管的工艺列表中说明：这两个报警经常出现，若能够确认此管未有工艺在运行，就必须将此管重新启动，如果工艺运行，可以将工艺手动停止，或者等待工艺结束。5.13 Tube ready in undefined. Please ensure that the cesar loading machine is at “0”position and softlander is “up”管子的状态无法被确认，请确保CESAR接收到桨在“0”和“up”的位置。5.14 Boat collision/舟被撞击5.15 The boat sensor has detected no boat in the grap although a boat should be in the grap. Please check boat in grap sensor and try again.虽有一个舟在机械手上，但传感器感应不到，检查舟是否接触到传感器后再试一次。5.16 Grab sensor undefined No movement possible! Check boat position.传感器不明确，无法移动，检查舟的位置。说明：机械臂不在正确的位置，无法移动，若机械臂没有锁定请在Handing对话中将机械臂移至中央位置，如果机械臂锁定，请用技术密码。5.17 Boat position (speed)out of 1ST (2ND ) tolerance舟的位置（速度）超过第一个（第二个）限值5.18 Boat failure 退舟失败说明：先检查石墨舟在桨上的位置是否正确，如果不正确，勿进行操作，立即通设备，如果正确，手动将舟退到原点即可。5.19 Water flow flange TGA (gas side) st1.冷却炉报警5.20 VN: No process boat in source position在设定的位置没有舟的存在说明：删除舟的信息，并重新设置5.21如果在进舟的过程中，我们已将桨的位置设为2082MM，但却只能到达2050MM位置，最有可能的原因？主要原因：等离子高频电极位置发生偏移。广东爱康太阳能科技有限公司文件编号版本状态A/0文件名称管式PECVD设备操作规程页 码7/8对策：将载有舟的桨送到管中2050处，使得舟电极孔与电极位置达到最小但又刚好不接触电极位置，进行电极校准。5.22 如果炉管的状态是“Busy”应怎样将其改为“ready”状态？a. 首先要查看此时炉管内压力值，如不是一个大气压，先把tube内部真空度设为最小值MANUAL/TUBE/PRESSURE/MINIMUMb. 打开大氮（N2No）阀门对炉内充氮气，直到炉管内真空度达到最小值（10000mtorr）.此时还要等Atmpress 的值达到990Mbar以上MANUAL/GAS/N2No/VALVE/OPENc. 查看Boat Poit的值是不是“1”，如果不是还要对paddle进行复位MANUAL/BOAT/Service/homing/Startd. 如果此时Paddle仍然未复位，应考虑到Paddle的速度是否为0,应把它的值设为最大MANUAL/BOAT/SPEED/SETPOINT/MAXIMUM5.23 当我们手动使用机械臂把揷滿片子的舟送向某一炉管时，机械臂虽到了该桨旁边，但系统却禁止向该桨进行加舟操作，即“to paddle”命令变成了禁用状态。解决方法：首先检查CEASR主界面各个传感器的位置信号是否正常如：tube的状态ready TGA的状态yes5.24在进舟的过程中，当Trolley载有舟时，传感器（储存1）却识别不到小车，而空小车才能被系统识别。解决方法：检查storage 2和3 是否存有舟5.25如果在出舟的时候，出现舟桨分离的情况，应怎样处理？解决方法：先按急停按钮，再手动将舟取出。6安全6.1 非PECVD受训人员不得操作此设备。6.2 机械臂运行时不可以打开门。6.3 设备运行时禁止接触电控柜中的元器件，避免电击和烫伤。6.4 设备日常清扫和维护保养时须关闭总电源，冷却设备。6.5 严禁接触真空泵上标有灼热符号的部分。6.6 上料时，若机械臂已开始运行，严禁再触碰石墨舟。6.7 设备运行时禁止打开侧面盖板。6.8 设备运行时，注意不要阻挡所有光电感应器，以免有误动作。广东爱康太阳能科技有限公司文件编号版本状态A/0文件名称管式PECVD设备操作规程页 码8/87.注意事项7.1 SLS处于“UP”位置时，管内有舟时不可手动进桨。7.2 SLS处于“DOWN”位置时，桨上有舟时不得手动进舟。7.3 桨上有舟时，舟