DP操作流程-YK.doc

1. DP网版匹配性测量分别测量3#、4#两块网版的4个基准点之间的距离，以及每个基准点到相应的最外侧细栅线之间的距离；比较所测量两块网版的 每个相对应距离的数值，要求所有的误差都在15um以内，否则判定此套网版不匹配；2. Check机台硬件1. 要求3#、4#所有印刷台面均为厂家原装156*156玻璃台面；2. 要求3#、4#印刷机机头与机身、机头与台面之间水平误差在100um以内， 用千分尺测量，超出误差范围要求设备做出调整；3. 每次开线前衬纸、刮条、网版的辅料均要求为新的；3. DP校准1. 切换4#机台程序，DP时在file中将V1.data程序切换为dp.data程序，切换程序后reset 4#机台；2. 校准机台sensor、13MG、15MG以及回墨刀；3. 相机校准选择file/calibration.data将L形校准工具上在4#网框上，插入机台，相机所照台面上垫A4纸一张10MG、11MG、12MG全部归零通过13MG找到相机所照台面的零点，例如零点为-10000打开52-CalibrationMotorsZ改为-10000，X、Y改为0Apply 同理操作2、3、4、5相机 Vision menu Image Move（X、Y） 将白色model移至视野中央Apply 打分（90分以上为优） 同理操作2、3、4、5相机LOCAL、 GLOBAL参数CheckCamera 1 “Degree = 1”“Row = 3”“Columns = 3”“Step X = 2000”“Step Y = 2000”Cameras 2, 3, 4 and 5 “Degree = 5”“Rows = 12”“Columns = 9”“Step X = 1500”“Step Y = 1500”Global - Number of points = 9”- “Angular step (mdeg) = 500”参数确认OK后，Run Calibration运行每一个相机参数运行完成后保存结果再次切回dp.data 并Reset4#机台4. Alignment在Vision Menu” select “51-Alignment/Substrate- “Upper light = disabled”- “Alignment type = Center (edge)”Click “Settings”: the “Substrate center edge alignment - “Image edge”: “Top, Right, Bottom,Left”- “Model”: “1, 2, 3, 4”- “Camera”: “1, 1, 1, 1”- “Algorithm”: “Line, Line, Line, Line”.在Vision Menu中分别给Line1、2、3、4打分（分数在60-70分为优）Line1、2、3、4校准OK后在Vision Menu select 51-Alignment/Substrate- “Upper light = enabled”,- “Alignment type = Fiducials”. 然后Click “Settings” and the “Substrate fiducials alignment”在Vision Menu中分别给27、28、29、30 Model打分（分数90以上为优）做完27-30Model的打分后，最后做32-35Model的打分Vision Menu select “51-Alignment/Print”. - “Substrate Upper Light=enabled”- “Print Upper light = enabled”- “Alignment type = Fiducials”. 完成32-35Model的打分后，Alignment结束5. Auto Offset在HELP中将16-27项偏移量清零在22-Print Parameters中调试偏移量例如记录下调试OK后的偏移量然后From “2-Machine” menu select “21-Cycle”printing =Enablewafer alignment =Enableauto offset =EnableSingle Nest=0然后start，弹出对话框后点击No，印刷4片wafer， 完成第一次auto-offset，记录下HELP中16-27的偏移数值；在22-Print Parameter中输入之前记录下的X、Y、T的值，做第二次auto-offset，比较两次得出的16-27的偏移数值，每组偏移量都在15um以内表示OK，否则继续做auto-offset，直到OK为止；5auto-offset OK后打开Bobcat软件，监控DP印刷质量，确认OK后方可大量跑片。注：正常情况下相机校准以