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文档简介

EXT75DX复合涡轮分子真空泵EXT75DX复合涡轮分子泵采用众多先进技术，下轴承为陶瓷机械轴承，上轴承为永久性磁悬浮轴承，Holweck 拖曳级24V驱动，可通过并口/串口与TIC控制器通讯。这样一台EXT75DX泵、一台TIC控制器、一个空冷或水冷附件，再选用一台合适的前级泵就可以组成一套基本的抽真空系统。性能曲线1. N2 2. He 3. H21. N2 2. He安装尺寸A 手动放气阀（放气口） E 吹扫口（空白）B 电源插件F 级间接口（仅EXT75iDX）C 逻辑接口G 电源插件连接插孔D 前级泵接口 H 接地订货信息产品描述货号EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN63ISO-KB72241000EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN63CFB72242000EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN40NWB72243000EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN100ISOKB72245000EXT75DX涡轮分子泵：接口法兰DN100ISO-K (DN25NW Backing)B72246000EXT75iDX涡轮分子泵：接口法兰DN40NWB72235000EXT75iDX涡轮分子泵：接口法兰DN63ISO-KB72237000EXT75iDX涡轮分子泵：接口法兰DN63ISO-K (NW25 Interstage)B72238000技术参数入口法兰DN63ISO-K、 DN63CF、DN40NW、DN100ISO-K出口法蓝NW16泵速N2（ISO63/63CF、DN40NW、ISO100）61 l/s42 l/s66 l/sHe（ISO63/63CF、DN40NW、ISO100）57 l/s49 l/s59 l/sH2（ISO63/63CF、DN40NW、ISO100）53 l/s48 l/s54 l/s压缩比N211011He1106H25104极限真空前级泵用RV泵，ISO/CF110-9/ 110-10mbar前级泵用隔膜泵，ISO/CF110-8/ 110-9mbar推荐前级泵*RV5/XDS5放气口1/8 inch BSP内螺纹吹扫净化口1/8 inch BSP内螺纹最大入口连续压力（抽轻的气体）水冷（水温15C，环境温度40C）210-2mbar空冷（环境温度35 C）110-2mbar泵转速额定转速90000 rpm待机转速4950090000rpm（缺省设置63000 rpm）可调功率范围50120W（缺省设置80W）启动时间（达到90%转速）110s模拟输出泵转速、功耗、泵温、控制温度冷却方式?空冷/水冷空冷时的环境温度范围535C最小水冷流速（水温15C）15 l/h水温范围1020C最大入口温度80C工作姿态垂直，水平噪音（1m）50 dB(A)最大允许磁场强度5mT推荐控制器TIC100涡轮仪表控制器稳态功耗10W* 根据应用也可以使用较小的前级泵，可以使
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