烧结炉结构PPT课件.ppt

烧结炉培训材料 1 功能及用途 对第三道丝印后硅片表面浆料进行烘干去除浆料中的有质粘结剂铝背场及栅线烧结 烧结炉用于烘干硅片上的浆料 去除浆料中的有质成分 完成铝背场及栅线烧结 硅片在炉中 上 下两面能同时烧结 烧结过程如下 2 烧结炉结构 3 烧结炉总体结构 4 炉体分为三个部分 烘干区烧结区冷却区 5 烘干区包括四个加热区 ZONE1 ZONE2 ZONE3 ZONE4 其中ZONE4为对流加热区 位于其它三个温区上部 每个加热区温度单独可调 加热元件为电热丝 加热温度可设置到500摄氏度 但过程温度不应超过300摄氏度 烘干区 6 烧结区包括六个加热区 ZONE1 ZONE2 ZONE3 ZONE4 ZONE5 ZONE6 ZONE1 4为预烧结区 ZONE5和ZONE6为主烧结区 加热元件为近红外线加热管 其中1 4区加热管功率为1600W 5 6区加热管功率为2700W 每个温区温度单独可调 1 4温区温度可设置到700摄氏度 5 6温区可设置到摄氏1050度 烧结区 7 冷却区采用水冷 给水温度大约在20 25摄氏度范围内 冷却区 8 烘干区与烧结区之间 烧结区与冷却区之间各有一个隔离炉膛 通过风帘隔离 隔离炉膛防止相邻区域中的过程气体相互混合 烘干区与烧结区连接处的隔离炉膛 烧结区与冷却区连接处的隔离炉膛 10 除了上述三个主要部分外 在炉体头部有上料区 在尾部有下料区 外加一个单独的冷凝器 冷凝媒介为冷却水 11 烧结炉的开关机 12 烧结炉的开关机 开机步骤 慢速开启冷却水主给水阀 给烧结炉供水 通常各管道给水阀和流量已设定好 勿需调节 慢速开启压缩空气主阀 炉子提供过程气体 同时给各气缸提供压缩空 通常各管道流量已设定好 勿需调节 将主电源开关拨到 1 开启主电源 启动PC 等待机器完成自检和监控程序装入 将 DriveOn 拨到 1 DrivePC Manual 拨到 0 将 HeatingFF 拨到 ON 将 HeatingHTO 拨到 ON 点击启屏幕上 Driveon off 收音开关 并按确认收音键 启动传送带 如果有设置好的升温程序 顺序装入 使炉子逐步升温到过程温度 如果没有 则手动设置 每200度为一阶 逐步升温到过程温度 第一次装入后 需点击加热收音开关 开始加热 根据工艺要求调整工艺参数 只需调整各温区温度和带速设定值 当过程值达到设定值后 机便处于就绪状态 13 烧结炉的开关机 14 烧结炉的开关机 关机步骤 关机步骤则与开机步骤相反 需注意 当炉温降到100度左右时 方可将传送带停下 15 监控程序几乎可以定位所有故障 当故障发生时 报警系统会发出声光报警 并可能停炉 可打开 Alarm 标签 察看报警信息 判断故障位置 分析故障原因 并排除故障 常见的故障报警及处理 空气流量过小或过大 空气压力不稳 提请设施部作解决 压缩空气中有大量水份和油份 加大流量 排除积累在流量计中的水份 同时提请设施部设法滤去压缩空气中的水份和油份 冷凝器排风量过小 开大风门 同时提请设施部加大抽风量 冷却水温度过高 提请设施降低水温 HTO过滤器堵塞 用风枪吹洗过滤器 传送带过长 调整