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IDF工序缺陷判断及质量数据分析 SYEQE08 02 25 培训目的 了解IDF工序现阶段质量监控点 主要质量问题 缺陷形态 可能产生原因 了解IDF工序主要质量数据和指标 了解IDF工序质量数据分析 改善及效果评估 一 IDF工序主要质量问题 缺陷形态 可能产生原因 现阶段质量监控点 纲要 1 IDF工序现阶段主要质量监控点及监控参数 2 流程查核 一 IDF工序主要质量问题 缺陷形态 可能产生原因 现阶段质量监控点 1 IDF工序现阶段主要质量监控点 具体见附件 一 IDF工序主要质量问题 缺陷形态 可能产生原因 现阶段质量监控点 2 主要参数及质量监控点 前处理 1 速度 2 0 2 7m min 2 烘干温度 45 55 3 微蚀量 0 8 1 6um 贴膜 1 贴膜温度 压力 110 10 kg cm2 2 预热温度 80 5 贴膜速度 电镀板 2 0 2 m min 其它 3 0 3 m min 3 贴膜后静止时间 15 1440min 曝光 1 曝光级数 干膜 7 8 湿膜 6 5 7 5 MASK2 4 5 能量均匀性 10 真空度 25 30inHg 2 曝光时间 15s 温湿度 20 1 46 54 RH 曝光后静止时间 15 1440min 一 IDF工序主要质量问题 缺陷形态 可能产生原因 现阶段质量监控点 湿油 1 速度 2 0 3 5m min 2 油墨粘度 40 62sec 3 膜厚 9 13um4 洁净度 涂膜室1000grade 菲林制作及使用 1 菲林剖出至使用最小时间 4H2 保护膜贴膜速度 1 5 2刻度3 存放条件 温湿度 20 1 46 54 RH 一 IDF工序主要质量问题 缺陷形态 可能产生原因 现阶段质量监控点 3 工序查核 1 日常查核 2 专项查核 二 IDF工序主要质量指标 纲要 1 报废率2 PONC3 一次合格率4 RTV5 重点客户 型号 二 IDF工序主要质量指标 工序主要质量数据 二 IDF工序主要质量指标 1 普通板及HDI板报废率 A 曝光房每周普通板报废率趋势 二 IDF工序主要质量指标 曝光房每周普通板报废率趋势 报废率是工序最重要的质量指标 二 IDF工序主要质量指标 B DES每周普通板报废率趋势 二 IDF工序主要质量指标 DES每周普通板报废率趋势 报废率是工序最重要的质量指标 二 IDF工序主要质量指标 C AOI每周普通板报废率趋势 二 IDF工序主要质量指标 AOI每周普通板报废率趋势 报废率是工序最重要的质量指标 二 IDF工序主要质量指标 D 曝光房每周HDI报废率趋势 二 IDF工序主要质量指标 曝光房每周HDI报废率趋势 报废率是工序最重要的质量指标 二 IDF工序主要质量指标 E DES每周HDI板报废率趋势 二 IDF工序主要质量指标 DES每周HDI报废率趋势 报废率是工序最重要的质量指标 二 IDF工序主要质量指标 F AOI每周HDI板报废率趋势 二 IDF工序主要质量指标 AOI每周HDI报废率趋势 报废率是工序最重要的质量指标 二 IDF工序主要质量指标 普通板主要缺陷柏拉图 主要缺陷近期报废趋势 二 IDF工序主要质量指标 2 PONC值 PONC PriceofNonconformance 不符合要求的代价 指当质量不符合要求时产生的额外的费用 包括返工 返修 赶工 报废 库存过多 客户抱怨及索赔等 工序PONC InternalMRBPonc ProcessPonc 内部报废产生的PONC 返工产生的PONC PONC是公司内部除报废率 一次合格率之外衡量质量状况的另一重要质量数据 PS 具体见 QA38 质量成本控制 二 IDF工序主要质量指标 各工序PONC的具体计算方法 各小组列出影响工序的各项不合格所引起的资源的浪费 包括人数 时间 返工数量 机器水流量 机器功率 单位时间平均人工 单位物料消耗代价 水单价 电单价 单位时间机器折旧等 根据公式计算 1 人工费用 人数 时间 单位时间平均人工2 物料费用 实际返工数量 面积 单位数量 面积消耗物料代价3 机器费用 时间 单位时间机器折旧4 水的费用 时间 机器平均水流量 水单价5 电的费用 时间 机器功率 电单价工序PONC MRBPONC ProcessPONCMRBPONC 工序报废面积 单位面积消耗所有资源总和ProcessPONC 返工数量 返工生产单元面积消耗的所有资源总和 二 IDF工序主要质量指标 07年各月份IDF工序PONC目标及实际达成情况 二 IDF工序主要质量指标 07年各月份IDF工序PONC目标及实际达成情况 具体见附件 二 IDF工序主要质量指标 3 工序一次合格率 线宽 3 5mil 二 IDF工序主要质量指标 4 E Test工序内层开短路缺陷率 说明 E T工序外层开短路数据的分析更适合于型号分析 而且对数据的分析一定要基于对问题板缺陷原因的分析判断上 二 IDF工序主要质量指标 5 重点客户 型号内层AOI数据 A 内层AOI数据包括一次合格率 报废率 以及缺陷形态分析 B 内层AOI数据可以在第一时间真实的反映出生产型号的缺陷及质量问题 从而根据这些质量数据 信息第一时间对工序问题点进行查找和改善 C 内层常见缺陷图片 三 IDF工序质量数据分析及改善 工序的质量数据分析和改善分为两个方面 1 工序常规缺陷质量数据分析和改善 常规缺陷的数据分析 根据工序日常质量数据的变化来进行判断 分析 改善和评价 此类项目的分析多数是通过表观确认 切片确认等方法来确认问题点和改善思路 2 工序异常 重要缺陷质量问题的分析和改善 主要是对于工序异常批量问题和与板可靠性有关的重要项目进行的系统的专项实验分析和跟进 此类项目的分析通常要借助特殊的质量监控点和物理 可靠性测试方法来对实验结果进行确认 三 IDF工序质量数据分析及改善 1 工序常见缺陷原因及处理方法 一 IDF工序主要质量问题 缺陷形态 可能产生原因 现阶段质量监控点 三 IDF工序质量数据分析及改善 2 IDF缺陷分析判断 曝光缺陷分析判断 三 IDF工序质量数据分析及改善 3 异常 可靠性项目专项分析和跟进 例 曝光不良改善跟进 三 IDF工序质量数据分析