离子氮化炉漏气该如何检测.doc

离子氮化炉漏气该如何检测 通常离子氮化炉经过长时间的使用磨损之后，会出现一定的漏气现象。轻微漏气不会影响正常的工件氮化质量，而严重漏气的话必然会影响工件氮化处理的质量，需要我们进行检测漏气位置，以及维修。 真空设备的检漏一般采用分段检查的办法，即一段一段的检查。 第一步：首先将离子氮化炉体与供气系统分离，目的是分清漏气是由炉体造成的还是由供气系统造成的。将进气管与钟罩分离，然后将进气接头处封死。启动真空泵抽真空，抽到较高真空度(如30Pa左右或更高)后，关闭蝶阀，停顿一段时间(15-30分钟)后，观察设备的漏气情况。 第二步：在完成第一步工作后，若离子氮化炉体漏气，则应逐个检查可能产生漏气的各密封部位(包括观察窗，充气装置，钟罩下部密封法兰面，底盘上的大密封圈，测压部分密封处，阴极部位密封处，蝶阀及抽气管道之间的联结法兰面等)，直至离子氮化炉体基本不漏气为止。注意：在实施以下检查步骤时，要遵循分段检查法的原则，即一个步骤一个步骤进行，每完成一个检查步骤后，抽真空观察检查效果，如果漏气问题得以解决，则不再进行其它检查。否则，再依次做检查(检查步骤可乱序进行。)1，检查观察窗的玻璃视镜是否破裂，若破裂则应予以更换。2，检查观察窗上紧固玻璃视镜的内六角螺钉是否松动，若有松动情况，则应予以紧固，但一定要对称均匀紧固，且用力不得过大，以免压碎玻璃。3，检查观察窗内外密封圈(白色)是否老化，若老化，则需更换新密封圈。4，卸掉离子氮化炉体底座上的自动充气装置，用沾汽油的干净抹布除去密封橡皮和充气密封面上的灰渣，重新照原样安装好。5，检查炉体底盘上测压处的密封情况，紧固螺母若有松动予以紧固，若密封圈损坏应更换。6，检查阴极部位的密封情况，紧固螺母若有松动予以紧固，若密封圈损坏应更换。7，检查离子氮化炉体钟罩底部密封法兰面，如有锈迹，凹坑等损伤应及时处理。(注意：每次吊起钟罩后，应放置于橡皮板，木方或其它柔软的支撑物上，以防损伤密封法兰面。)8，检查离子氮化炉体底盘上的大密封圈，如有损坏应及时修理或更换。(注意：每次吊起钟罩后，再次罩上钟罩前，先用干净毛刷将底盘及大密封圈上的灰渣除净，然后用沾汽油的干净抹布擦去密封法兰面及大密封圈上的灰渣，以防灰渣嵌入大密封圈中造成漏气。)9，检查抽气硬弯管各联结法兰面的紧固情况，若有松动，应均匀紧固。若密封圈损坏，应及时更换。10，检查碟阀内密封圈上是否粘有灰渣，若粘有灰渣可能造成蝶阀关不严而漏气。发现存有此种情况，应及时用沾汽油的干净抹布清理干净，然后涂上真空脂。注意：清理蝶阀密封圈时，切忌用汽油浸泡密封圈，否则密封圈涨大，蝶阀将无法开关。第三步：在完成第二步的工作后，若离子氮化炉体不漏气，说明炉体各个密封部位完好。接着再慢慢地打开蝶阀，此时可能出现以下两种情况。1，真空度在打开蝶阀的瞬间有一微小的下降，但其后不再继续下降(即压升率在设备规定的范围内或压升率在工艺许可的范围内)，则说明不锈钢抽气软管，电磁阀及其连接部位完好。2，如果真空度在打开蝶阀后持续下降，则说明电磁真空带充气阀，抽气不锈钢波纹软管或软管两端的连接密封部位可能漏气。出现这种情况，可按以下程序检漏。(1)首先检查波纹管两端的密封部位，若密封法兰松动应均匀紧固，若密封圈损坏应及时更换。(2)然后检查电磁阀内的密封圈是否粘有灰渣，若粘有灰渣可能造成漏气。发现存有此种情况，可用沾汽油的干净抹布将灰渣清理干净。(3)最后再检查波纹软管。检查可采用密封加压(压力为0.1MPa)的方法进行，加压后管体分段浸入水中，观察漏气部位。(加压时应避免波纹管伸长)。第四步：在完成前三步工作，已解决离子氮化炉体漏气问题或确认漏气不是由炉体引起后，重新将第一步中与离子氮化炉体脱离的进气管连接到炉体钟罩上(并保证接头处密封完好)，先关死各流量计，再启动真空泵对炉体抽真空。此步骤的目的是检查供气系统的漏气情况。若发现设备又存在漏气，可检查进气接头部分，气管，各种气源流量汇流三通各连接处的密封情况，直至漏气问题排除。(1)检查进气管与进气接头和流量计出口接头处的密封情况，若怀疑漏气，接头处可用真空封泥密封。(2)检查流量计能否关严。办法是堵严流量计的进口端，比较