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文档简介

扩散的基本操作 扩散间工艺流程扩散基本作业测方块电阻作业扩散间换源作业 扩散工艺流程 装片 送片 扩散 下舟卸片方块电阻测试 扩散基本操作 打开扩散传递窗对流入扩散间的硅片进行自检 首先检查硅片绒面有无色斑 硅片是否甩干 确认有无碎片 裂纹片 并对照流程卡确认数量 如有及时报告工序长分清职责避免生产统计中差异的产生 将硅片从传递窗取到扩散装片台上 注意只能一只手取一只盒子 严禁一手拿取二只盒子 拿取盒子要轻拿轻放 取完硅片要及时关闭传递窗 在插片前要先检查一下石英舟是否完好 如有裂痕要及时作醒目标识并隔离 扩散装片采用双片单面扩散 即在同一槽内同时插入二片硅片 边装片边检查硅片绒面状况 有绒面问题的要及时挑出 将插好硅片的石英舟放至指定地点 等待空闲的石英管 待slider完全退到外面后 把装满硅片的舟放置于slider正中 选择好工艺号 按确定按钮 扩散工艺结束后 把石英舟从slider上取下 放到卸片台上 待硅片充分冷却后 等距离的抽取5片测方块电阻值 记录好方块电阻值 将硅片卸入硅片盒中 最下面一片应扩散面向上 最上面一片应扩散面向下 避免扩散面受到磨擦而损伤 填写好工序流程卡和生产记录 要注明时间和操作者 时间一定要准确 以便于以后查询 将扩散后的硅片放入刻蚀传递窗口 关上传递窗 扩散后的硅片要禁止堆积过高 测方块电阻作业 将扩散好的硅片从桨上取下放在卸片台上冷却 待硅片充分冷却后 用石英吸笔在石英舟上等距离的抽取5片扩散面朝炉内的硅片 将取出的硅片拿到四探针测试仪处 正常生产时可待机 使 R I EXCH 1 显示灯亮 调整电流档位 将待测量的硅片取出放在测试台上 扩散面向上 按下降按钮 使针头平压在硅片上 四针平齐 校准电流 将 I 的指示灯切换至R 档 读取稳定值 并记录在电池生产记录中 重复以上步骤 根据规定的工艺要求判断是否要返工 扩散间换源作业 为什么需要换源 当源瓶中的源液较浅时 会影响生产线正常生产 所以需要换源 换源前先确认工艺已停止运转 确定可以换源 穿戴好防酸服 防毒面具 和乳胶手套等 关闭源瓶阀门 将满
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