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文档简介
1 無塵室用材料 8 ElectronicMaterials 電子材料 2 3 表8 2公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數目 美國聯邦標準USFederalStandard209E 4 5 圖8 1空氣淨化系統 6 7 8 9 圖8 2HEPA過濾器的概略圖 10 11 圖8 3以雷射測試ULPA過濾器的效率 12 圖8 4以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖 13 圖8 5粒子捕集的方法 14 圖8 6空氣過濾器之捕集效率 15 16 圖8 7三種常用的過濾器構造 a 分離器式過濾器 b 小型摺式過濾器 c 無分離器式過濾器 17 續 圖8 7三種常用的過濾器構造 a 分離器式過濾器 b 小型摺式過濾器 c 無分離器式過濾器 18 圖8 8真空泵的分類 19 圖8 9擴散泵 20 圖8 10路茲泵的概路圖 21 圖8 11路茲泵的抽氣原理 22 圖8 12渦輪分子泵 23 圖8 13冷凍式幫浦 24 圖8 14氣體的平衡蒸氣壓 25 圖8 15空氣壓縮機的概略圖 26 27 28 圖8 16空氣乾燥機的概略圖 29 30 圖8 17安全輸送系統 31 圖8 18 a 西貝克效應 b 皮爾第效應 32 圖8 19機械式 壓縮式 冷凍系
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