已阅读5页，还剩34页未读， 继续免费阅读
版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领
文档简介
1 無塵室用材料 8 ElectronicMaterials 電子材料 2 3 表8 2公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數目 美國聯邦標準USFederalStandard209E 4 5 圖8 1空氣淨化系統 6 7 8 9 圖8 2HEPA過濾器的概略圖 10 11 圖8 3以雷射測試ULPA過濾器的效率 12 圖8 4以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖 13 圖8 5粒子捕集的方法 14 圖8 6空氣過濾器之捕集效率 15 16 圖8 7三種常用的過濾器構造 a 分離器式過濾器 b 小型摺式過濾器 c 無分離器式過濾器 17 續 圖8 7三種常用的過濾器構造 a 分離器式過濾器 b 小型摺式過濾器 c 無分離器式過濾器 18 圖8 8真空泵的分類 19 圖8 9擴散泵 20 圖8 10路茲泵的概路圖 21 圖8 11路茲泵的抽氣原理 22 圖8 12渦輪分子泵 23 圖8 13冷凍式幫浦 24 圖8 14氣體的平衡蒸氣壓 25 圖8 15空氣壓縮機的概略圖 26 27 28 圖8 16空氣乾燥機的概略圖 29 30 圖8 17安全輸送系統 31 圖8 18 a 西貝克效應 b 皮爾第效應 32 圖8 19機械式 壓縮式 冷凍系
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 车轮更换与维修合同
- 看房团合同范本
- 购买矿石加工合同范本
- 个人船转让合同范本
- 家具借租合同范本
- 胎心仪推广合同范本
- 装卸货劳务合同范本
- 购车合同范本复印
- 公司门头制作合同范本
- 商品店租赁合同范本
- 环境材料概论 完整全套课件第1-9章 绪论、吸附材料 -环境材料的绿色设计
- 金安桥水电站枢纽布置及主要技术问题
- 端子铆压标准规范
- csc服务分包考试
- 高级(三级)育婴师理论试题-附答案
- YY 0271.1-2016牙科学水基水门汀第1部分：粉/液酸碱水门汀
- GB/T 30146-2013公共安全业务连续性管理体系要求
- GB 1886.232-2016食品安全国家标准食品添加剂羧甲基纤维素钠
- 地理信息系统技术概述课件
- 美育PPT精选文档课件
- 医院介入手术病人护送交接流程
评论
0/150
提交评论