ESO设备安全查核训练.ppt

2010 12 29 AUOProprietary Confidential ESO设备安全查核训练课程 工程师安全教育训练系列之 苏州环安部 Agenda 引言Sign Off制度简介Level1查核Level2查核Level3查核常见查核缺失与重点 引言 落实sign off可避免下列意外事件 因设备厂商在机台端排气未标示排气种类导致hookup厂商配错排气管路 酸排 碱排 使制程废气未处理排放至大气中 24hr氮气保压 测漏以避免因管路焊道不佳 化学品 气体从焊道上的砂孔外泄 化学品管路仍需保压测试 valvebox相关阀件在氮气flush时应先行测试 以避免送气后发生阀件无法调压或关闭之状况 多次发生机台设备工程师 厂务hookup工程师在送酸前未确认管路衔接工程是否完成 进行toolrelease时确认所有管路是否完成衔接作业化学及气体管路因赶工而忽略相关管路标示导致配错管路 焊道砂孔为泄漏点 标准管路焊道表面光滑平整 无任何砂孔 Sign off制度简介 toolsafetyreviewmeetingvendor简介机台并说明安全设计相关证明文件完整性讨论 toolrelease前验机 确认是否符合安全规范 safetyinterlock功能测试 洽谈规格AUO机台设备安全规范GuaranteeLetter相关证明文件list 设备工程师 厂验确认是否符合AUO机台设备安全规范 装机sign off查核EQ3stagesign offchecklist PRGuaranteeLetter 设备工程师 设备工程师corp siteESH PO 设备工程师siteESH 设备工程师 设备工程师corp siteESH 设备工程师siteESH 项目式查核 ex smalltoolsafetyreview MOC 设备请购流程 确保装机完成 符合法规要求 避免装机时或后续发生事故 隐患 ESOEquipmentInstallationSign off 执行ESO目的 一 使用110V以上电源之机台设备 除工作桌 个人电脑 临时电器设备 检测设备 施工设备等 适用范围 110V 二 使用制程危害物质 HazardousProcessMaterial HPM 国内称之为危险化学品之设备 除CDA 水之外的所有液 气体 三 移机之设备 厂务Hook up 四 自动化 仓储系统 五 具有其它特殊危害之设备 权责 送电 测试 供应非制程危害物质前需完成一阶段 Level 1 Level 2 Level 3 设备移交制程或制造前需完成第三阶段 CDA SOP Training 供应制程危害物质前完成第二阶段 查核时机 水 电 缺失分类说明 一 A类 风险特别高 若不符合及易造成严重危害 未改善前不可送电 送气 使用学品 二 B类 风险较高 若不符合佷可能造成危害 未提出改善对策前不可送电 送气 使用化学品 三 C类 风险一般 若不符合不会影响第一 二阶段的装机安全查核之进行 B类及C类项目缺失及不符合项目 须于机台交机前修改完成 NO 查核项目改善 NO 查核项目改善 NO 查核项目改善 EQ提供机台操作手册 设备工程师向厂务提出装机之电 气等需求 从环安领取表单 于机台张贴查核证明 EQLevel 2Check EQ机台测试SOP建立 1 装机安全查核证明 2 施工状态表 表单贴至现场 装机前 Level 2 EQLevel 3Check 流程 Level 3 1 ESOLevel 3Check 1 资料包含各保养规范及测试资料 2 Level 3查核完毕后 各项数据 窗体送交环安部存查 步骤查核项目 备注 FE进行Hookup工程EQ装机测试 EQLevel 1Check 1 ESOLevel 1Check FE 2 ESOLevel 1Check EQ FE完成厂务端供电 气 水 各系统管理二次配检查表 Turnon有害能量 辐射 镭射前需完成所有Level 1查核 Level 1 1 ESOLevel 2Check FE 1 ESOLevel 2Check EQ EQ提出申请并完成签核 Move in前由EQ提出至ESH FE 移交制造 制程 步骤 设备MoveIn 装机前 EQ须提出装机需求至FE ESH 并于机台定位后张贴 查核证明 施工状态表 三 维修空间 二 逃生方向 四 电气接线 标示 一 消防设施 重点1 第一阶段查核 Level 1 八 其它相关安全设施 六 管路标示 五 Interlock EMO设置 七 危害警告标示 中 英 续 重点2 厂务部分 A各厂务系统供应非HPM前完成二次配管路查核 B完成电盘至设备端的接电 并符合Level 1之要求 C完成消防设施的各项安全要求 D厂务在领取表单后 于Hook Up时开始自行填此表单 步骤 A 厂房及建筑物的消防设备 1 建筑消防设施是否上线 2 自动撒水系统经过测试功能是否正常 3 是否在机台前后的走道上的天花板均装置撒水头以涵盖整个机台 4 厂务火警警报探测器 侦烟 侦温探测器 是否经过测试且功能正常 厂务部分 B 电气系统 1 厂务相关电源线路由分电盘至机台端之联机及连接点正确 2 供应电盘端己标示使用机台 附属设备编号与机台主开关位置 3 机台端电源标示包含位置 供应盘位置 供应回路编号 以及电盘开关编号和电压 插座都标示有breaker编号及电盘编号 4 接地 紧急电力 设备标示正确否 5 各管路的空间 标识 走向 是否完善 6 管路保压是否完成 设备部分 A设备连接端各标示须和电盘保持一致 BEMO Interlock的设置是否涵盖整个操作区域 CTurnon有害能量 辐射 激光等之前 须完成所有Level 1检查 D设备应在自行安表单要求装机的同时 关心厂务部分进展及安全要求 步骤 A 一般事项 B 净空 1 所有相关管路源头与衔接点 且于转弯点及穿墙前加管路标示清楚 2 非HPM之管路于使用前是否经过饱压或测漏测试确认管路无泄漏之疑虑 主机台正面操作区及主信道宽度须有一公尺 机台及相关附属设备之维修信道宽度至少须有80公分 机台维修空间须足够电盘或控制盘门完全开启 C 电气系统 EQ 若有接UPS之设备 UPS是否正确标示出其所支持的机台 机台及厂务电盘上方若有可能的泄漏源 电盘是否做好必要的保护措施 电线管理是否适当 如避免绊倒 拉扯电线 及维持良好的整洁 有湿式制程或电气组件相当有可能接触到液体之机台 是否有漏电断路器装置 且此装置是否有合格认证 易燃物品及设施 相关设备装于危险区或电气相关组件暴露于易燃物之雾气中 其电气用品应为防爆型 D 紧急停机装置 1 EMO是否有适当中英文标示 2 EMO的设置是否覆盖整个操作区域 3 EMO切断此系统电力供应时是否含设备附属UPS 4 若己安装EMO防护盖 此设置于紧急情况时仍可以掌握跟压按 5 确认EMO复归后不会重新激活此设备 E 有害能量与防护 1 所有机械危害之防护及标示适当否 中 英文标示 挤压收缩 切断 移动 往复运动 2 所有机械臂移动范围适当围篱且有防护 3 高低温危害防护及标示适当否 温度大于60 之热表面 冷冻剂 4 电气危害之防护及标示适当否 直流电 50伏特 交流电 30伏特 己确认之危害位置Identifyhazardlocations 之前相同机台己查核此项者可免填 资料见机台名称 机械危害Mechanicalhazards 热危害Thermalhazards 其它危害Otherhazards F 雷射 1 雷射分类等级 Alllaserclasses Class 注1 Class1指正常操作下有雷射发生但不造成伤害性 注2 3b之雷射若眼睛直视会造成伤害 包括反射光之光束 正常状况下 3b雷射之扩散光不会造成伤害 注3 分类4之电射不但直视及反射光会造成伤害 而且扩散光亦会造成伤害 此类电射可能会造成皮肤如冋火灼伤之危害 2 电射系统己由机台制造商确认符合相关国际标准 且在此机台外侧有明颢的合格标示3 雷射光源附近己加防护外罩 张贴危险警示标帜 5 所有与雷射相关之安全联锁皆功能正常 6 己降低窗口孔之雷射危害等级至Class1以下 F 雷射 7 有使用分类3b或4之雷射否 若有完成下列问题 a 密闭性b 安全联锁 包括电力供应 c 防护区己告示d 提供锁匙控制之开关e 可拆缷之维修控制仪表板亦有安全联锁 f 人员接触分类3b或4之电射作业时 机台本身是否有防护屏障或人员有配戴防护器具或有雷射剂量监控 g 警示系统己运作否 h 有开放性光束暴露之可能性时 雷射区己公告成管制区域 i 己指定且使用适当光学密度之眼部防护具 j 员工操作开放性光束己接受安全使用训练 G 辐射 1 是否有放射源 如果有的话 请与ESH单位联络 2 所有与辐射相关之安全联锁皆功能正常 3 辐射相关警告标示己张贴完成 4 辐射必要之阻绝挡板皆设置正常 紫外光源5 如果有害的存在的话 此光源是否被隔绝或以安全连销防护 6 RF 微波源是否己被鉴定并标示 7 RF是否接地 Level 2 厂务 A提供气体 化学品需求确认单所需资料 B完成气体 化学品供应所需要求 未使用化學危險物品 不需進行Level 2的查核 步骤 设备 A提出气体 化学品需求单 B完成气体 化学品需求确认单签核流程 Level 2 厂务部分 A 开孔等均已做好防火填塞 B 洗眼器的设置 并加以标示 C 有无侦测及ERC监控 D 机台之消防设备是否完善 E 通风 排气系统是否完善 F 化学废液 废弃物质处置是否得当 G 气体化学品传送系统是否完善 管路侦测 防火填塞 消防设施 废弃处理 传送系统 设备部分 A 机台操作或维修 若是 这些局限空间之入口是否有标示 B 机台之消防设备 并联至ERC C 安全相关之连锁装置是否完善 D 个人防护装备有无配备齐全 E 通风 排气有无完善 F MSDS及应急设施 Level 3 设备 完成设备各项SOP的建立 其SOP及附带表单中须包含Level 3中所规范的内容要求 步骤 Level 3查核重点 设备安全保养 PM 程序 设备安全操作 Operation 程序 相关人员已受教育训练 各阶段查核缺失及不符合项目已改善完成 已建立操作保养规范 与机台操作保养相关的特殊危害讯息已纳入操作保养规范之中 PM规范文件已明确定义所有必要之上锁或标示事项 操作保养规范有明确定义穿戴之个人防护具 PPE 操作保养规范有适当说明紧急停机开关 EMO 和安全联锁之功能 Level 3查核项 所有LEVEL1 2待改善项目均经工安工程师签名确认完成 员工已接受个人防护用具的训练 包含使用方式与挑选合适的个人防护用具 员工已接受危害通识训练 包含各化学品之危害及标示方式 物质安全资料表备置于现场 5 保养规范有明订以下要求 紧急停机开关 EMO 和安全联锁至少一年测试一次 或当维修过程使紧急停机开关 EMO 和安全连锁失效时需重新测试 6 操作保养规范有明订机台紧急关机程序 第一时问点应变程序及其它紧急应变措施 如泄漏处理 停电处理等 7 辐射机台之PM规范包括辐射泄漏检测 至少一年一次 或护盖被移走或连锁装置失效时作测漏 8 员工已接受个人防护用具的训练 包含使用方式与挑选合适的个人防护用具 9 是否有抽风系统失效警报之紧急应变程序 10 维修保养操作规范是否已建立有电之作业程序 如有程序书是否包括下列项目 a 最高潜在危害类型 b 降低潜在危害类别的步骤 c 哪些危害类型已被降低 指有电作业时的危害 最终之查核 常见查核缺失与重点 Exhaust上缺少标示 不必要之标示需移除 开口过大需加护盖防护 管路开孔应密封 管路材质错误 管路施工不确实 如双