M-330MX就真空计校正方法_第1页
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真空探头更换过程及校正方法真空探头更换过程及校正方法 1 以手动模式初始化设备真空腔体的冷凝泵 使温度达到 或者更低 2 确认真空腔体内的气压达到 1ATM 一个大气压 后 然后拆下晶体电离真空计 同样 也要把电缆插头拔掉 3 彻底松开紧固的螺丝 见图片 然后就可以取出顶端的真空探头 4 插入新的真空探头 锁紧固定螺丝 真空探头前端一个凹槽环 螺丝要对准凹槽固定 5 晶体电离真空计安装于图 所示的腔体下 电缆插头也连接好 6 执 行 真 空 计 的 校 正 将 晶 体 电 离 真 空 计 ZERO 开 关 开 启 5 秒 或 更 长 时 间 后 CRYSTAL LED 指示灯将由闪烁的红色 变为橘红色 闪烁的绿色 当绿灯亮时 真空 计默认值为 1ATM 7 完成第6项后 检查晶体电离真空计 M 391 的显示值是否达到1X10 PA或以上 如果没 有达到该数值 晶体电离真空计的大气压值将逐渐变化 直至达到这个数值 8 确认冷凝泵温度变为 20K 或更低后 然后在手动模式下按下触摸屏上的 HIGH VACUUM 开关 开始高真空排气 9 如果 M 391 真空计的显示值达到 30Pa SP2 值 主阀将打开 然后冷凝泵将开始排气 10 在主阀打开之后 让冷凝泵排气 5 分钟 这时真空计上显示的数值不是准确的 11 上述动作之后 将晶体电离真空计的 ZERO 再次打开1秒或以上 那时 CRYSTAL LED 指 示灯将马上变成橘红色 然后变成闪烁的绿色 同时 B A LED 指示灯也会亮 12 第11项的状态保持15分钟 这时变为校正状态 与此同时 真空计上显示的数值是波动的 但是将逐渐变稳定 CRYTAL LED 指示灯将马上变为橘红色 每五分钟变换一次 13 第 12 项的动作完成后 按下触摸屏上的 N2 SUPPLY 开关 然后开始充入氮气至 1ATM 至 1ATM 后 确认是否与第 7 项的显示值一样 为 1X10 Pa 15 如果第 14 项没有达
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