镀膜机常见故障及分析解决预防措施2

镀膜机常见故障及分析解决预防措施镀膜机常见故障及分析解决预防措施 一一 常见故障常见故障 问题及解决方法问题及解决方法 下表对一些镀膜时常见的故障 真空度问题 及掉膜和膜质问题做了一些简单分析 并 给予解决方案及预防措施 故障 点 故障现象故障原因解决及预防措施备注 1 1 开枪有高压 无束流 1 灯丝保险烧断 2 灯丝烧断 3 南光枪枪体右边引 线碰到枪体底坐 1 检查灯丝保险 烧断则更换 2 保险正常则检查灯丝更换枪 体 3 调整引线与枪体底坐的间距 在抽气前检查枪体 立即 关高 压 1 2 开高压显示跳 动幅度大 并有束 流跳动 1 束流控制调在手动 电位器未归零 2 枪体短路 3 高压电极保护罩或 屏蔽碰到高压引线造 成短路 4 电柜故障 1 电位器归零 在预熔完后应将 灯丝电位器归零 2 将连接灯丝变压器的高压引 线取下 注意引线不能碰到机 器应悬空 开高压 正常则枪 体或高压电极保护罩或屏蔽短 路造成 3 放气检查电极保护罩或屏蔽 4 检修电柜 立即 关高 压 1 3 开枪无高压 无束流 1 高压保护不到位 偏转 真空 柜门 2 高压电路出问题 1 检查相应的高压保护 2 检修高压控制电路 1 4 镀膜时高压会 下跌 1 真空继电器烧坏 2 高压电路出问题 1 更换真空继电器 2 检修高压电路 常见 4 号机 1 5 镀膜时灯丝突 然很亮 束流达到 满格 1 BT138 可控硅被击 穿 2 枪体短路 1 更换 BT138 2 检查枪体 常见 4 号机 1 6 有高压 有灯 丝电流 无光斑 1 栅极片短路 2 扫描出问题或扫描 线接反了 1 整理枪体 2 检修扫描 正确连接扫描线 1 高压 和束 流 1 7 束流上不去 达不到以前的水平 同样功率达不到 以前的速率 1 灯丝位置不正或变 形 2 灯丝被氧化 3 连接枪体的各接头 松动 4 坩埚转速太快 5 材料被污染 6 晶片被挡住 1 重新安装或更换灯丝 为了 更好的对灯丝定形及延长灯丝 使用寿命 在更换新灯丝后应对 灯丝进行预热处理 2 更换灯丝 为防止灯丝氧化在 放气前应注意检查关闭灯丝电 源开关 3 拧紧各连接处 4 调整坩埚转速 5 取出被污染的材料或更换新 材料 6 调整晶片挡板位置 抽气应检 1 7 电柜出问题查晶片是否被挡 7 检修电柜 1 8 阻蒸电流调不 上去 1 蒸发舟烧断或松掉 造成接触不良 2 空气开关跳闸 3 调节电流的电位器 坏了 4 铜电极与真空室底 板下的引线接触不良 1 更换蒸发舟或拧紧螺钉 为了 防止接触不良 各电极和压块 应清洗干净 更换在蒸发舟时应 将铜压块取下砂干净再安装蒸 发舟 2 打开空气开关 3 更换电位器 4 清洁磨平接触不良的地方并 拧紧螺钉 1 9 速率不稳定1 晶片失效 2 料面不好 3 功率设置不合理 4 控制参数 PID 设置 不合理 5 灯丝接触不好或老 化 6 高压打火 1 选择好的晶片 1 2 枪的速率 要匹配 2 料要加平整 养成停坩埚的 好习惯 3 预熔功率及最大功率设置合 理 最大功率为略大于蒸发时所 需功率 4 设置合理的 PID 参数 5 紧固或更换灯丝 6 解决打火现象 1 10 高压打火1 枪体污染 杂物掉 入枪体 2 各接线处未拧紧 3 聚四氟套管太脏 4 枪体阳极 栅极变 形 5 高压电极太脏 6 屏蔽不佳或未屏蔽 7 光斑位置不合理 扫描状态不好 8 2 枪高压干扰 9 材料污染有杂物 10 高压打在 10KV 11 预熔不够充分 12 功率设置不合理 1 整理枪体 在吹枪体时应用 吸尘器边吸使吹出的杂物吸走 不被落在枪体里 2 拧紧各连接处 使其接触良 好 3 清洗或更换套管 应定时清 洗 4 调整或更换阳极 栅极片 5 更换高压电极 6 调整屏蔽或加装屏蔽 7 调整好光斑 检查扫描 8 蒸镀 1 枪时应关闭 2 枪高压 9 将被污染的材料去除或更换 新材料 10 将高压调在正确的档位 中 档 8KV 在触摸屏上操作时 如调整坩埚转速时 应注意是 否误碰到高压调节档位 11 预熔时间及加的束流应合理 束流最后应加到接近镀第一 套时所需束流坩锅转一到两圈 12 设置合理的功率 预熔功率 不应太大 最大功率应与速率相 匹配 注意在第一套时速率较小 时功率的设置 2 2 1 光斑不能调整1 扫描引线或线圈短 路 2 整流桥击穿 3 引线或线圈断路 4 遥控盒上的连线松 脱或电位器坏了 1 检查引线及线圈 引线间不能 碰在一起 抽气前应检查引线是 否互相触碰和松动 2 更换整流桥 3 检查引线及线圈 4 接好连线或更换电位器 2 扫描 和光 斑 2 2 光斑及扫描状 态不好 1 灯丝变形 2 极靴位置不正 3 扫描频率不合适 4 短路条多或少了 位 置不好 5 高压档位不对 6 扫描连接线有误 1 更换灯丝 2 调整极靴位置 在拆下清洗时 要做好记号避免安装时位置不 正 3 调整合适频率 频差和密度 4 调整短路条的位置及数量 5 调整正确的高压档位 6 正确连接扫描线 维修时应做 好记号 3 1 坩埚转动不灵 或不转 1 坩埚周边间隙太小 2 坩埚间隙有材料 卡 料 3 轴承锈死 4 减速器出问题 5 电机出问题 6 防污底板顶到坩埚 2 枪 7 连接键脱落 1 调整坩埚周边的间隙 2 清理间隙中的材料 注意料不 要加得太高 预熔时数量不要加 得太快 防止材料飞溅掉入间隙 里使坩埚卡住或转得不顺畅 3 清洗或更换轴承 在打扫真空 室及洗机时应将坩埚下面的料 渣清除 防止料渣太多影响轴承 的性能 4 检查减速器 5 维修或更换电机 6 调整好大门底板的位置 稍高 于坩埚 关门时感到异常 如较 平时紧 应检查底板及防污板的 位置 7 重新安装好键 3 2 工转噪音大 晃 动大 1 电机轴承坏了 2 大轴承干磨性能下 降 3 电机与减速箱连接 不好 4 传动齿轮磨损 1 更换电机轴承 2 清洗或更换大轴承 3 将电机与减速箱连接好 4 更换齿轮 3 坩埚 和工 转 3 3 工转转不了1 电机损坏 2 电机与传动部分的 键脱落或磨损 3 传动的齿轮磨损 4 单向器坏了 5 电路出问题 1 更换电机 2 重装或更换键 3 更换齿轮 4 更换或维修单向器 2 楼 5 检修电路 3 3 4 工转电压调不 上 电压显示指针 跳动大 1 调节电位器损坏 2 控制器出问题 3 工转传动不稳 4 碳刷接触不良 5 电压表有问题 1 更换电位器 2 检修控制器 3 维修传动部分 4 整理碳刷接触面或更换 5 维修或更换电压表 4 1 阀门打不开1 气压不够 2 控制阀门的气动阀 有问题 3 阀门间互锁 1 调高气压到适当位置 2 维修或更换气动阀 3 检查与其互锁的阀门 应注意 阀门指示灯显示关闭但实际阀 门并未关闭的现象 4 阀门 4 2 阀门打开后会 自动关闭 1 气压不够 2 气动阀阀芯内的橡 皮松脱 1 调高气压到合适位置 2 更换阀芯或气动阀 4 3 放气取膜 放气 阀打不开 1 高阀没关到位 2 放气阀的气动阀有 问题 1 检查高阀没关到位的原因 不 能强行手动关闭 2 更换或维修气动阀 5 1 在镀膜过程中 真空度突然下跌 1 高阀 预阀等阀门自 动关闭 2 扩散泵断相或跳闸 3 坩埚卡料强行转动 造成漏气 1 检查气压是否正常 正常则是 相应的阀门问题 一般为气动阀 的阀芯松脱 2 合上闸刀 断相表现为三相指 示灯有一或两个灯不亮 更换电 炉盘 3 维修坩埚 当卡料时不能强行 转坩 5 2 低真空突然抽 不动 1 机械泵掺气阀没关 2 真空室门压到东西 3 并路阀 旁通阀 截 止阀自动关闭 4 机械泵出问题 5 罗茨泵出问题 6 管道漏气 7 机械泵上的机放阀 漏气 8 真空室漏气 1 关闭掺气阀 2 检查大门密封 关门抽气时应 检查大门是否压到东西或密封 圈上有杂物 3 检查相应的阀门及控制阀门 的气动阀和气压 4 维修机械泵 5 维修罗茨泵 6 维修管道 7 更换或维修机放阀 8 按 5 4 步骤检漏 5 真空 度 5 3 抽气慢1 真空室太脏 没换防 污板 2 扩散泵太久没洗 3 扩散泵出气口挡油 板被吸起 4 机械泵没掺气 5 真空测量表基准不 准 6 机械泵 罗茨泵有问 题 1 更换防污板或清洗真空室 2 清洗扩散泵 大约一年洗一次 3 调整挡油板 4 给机械泵掺气或换油 5 调节真空表基准或更换真空 表 6 检修机械泵 罗茨泵 4 7 真空室暴露在大气 时间过长或玻片未烘 干 8 漏气 7 尽量减少敞大气时间 玻片应 完全烘干 8 按 5 4 步骤检漏 5 4 真空度低1 真空表测量不准 2 真空规管测量口被 百叶窗挡住 3 真空室大门没关好 4 真空泵出问题 5 管道漏气 6 动密封如坩埚 工转 观察窗 挡板等密封漏 气 7 洗机或维修时动过 的部件或附近有松动 8 堵头没装好 9 通了水的如坩埚 工 转 探头等地方有漏点 10 高阀 低阀气缸漏气 11 金属焊缝漏 1 更换真空表 2 关闭高阀 若此时真空室真空 度比较稳定 则放气调整百叶窗 的位置 3 用酒精注射大门密封看真空 度变化 如有变化则放气整理真 空室门密封 4 维修或更换真空泵 5 维修管道 6 更换或重装动密封 快速连续转动看真空度是否 有较大的变化 有则是该转动部 动密封有问题 7 检查动过的部件及附近 确认 后紧固 8 用酒精注射堵头 若真空度有 变化则紧固或重装该堵头 9 通过用高压气来冲水管看真 空度是否有变化 有则检查水路 10 通过开关高阀 低阀或用酒 精注射阀门确认后更换阀体或 密封圈 11 用酒精注射各焊缝来确认是 否有漏 有则补焊焊缝 6 1 掉膜1 真空室或玻片潮湿 更换防污板后 2 玻片没洗干净 3 更换新玻片 玻片上 有油污 4 真空度低 5 打火严重 造成膜厚 不均匀引起应力大 6 真空室有油污 7 蒸发速率过高 8 脱膜剂镀得过多 9 扩散泵返油造成高 阀盖及冷井处有油污 1 烘烤玻片及防污板的时间要 适当 2 用干净的布清洗好玻片 清洗 时应认真仔细 3 先用洗洁精清洗干净玻片 再 用清水将玻片冲洗干净 4 检漏 5 解决打火现象 6 清洗真空室 7 降低速率到合适位置 8 减少脱膜剂的厚度 9 擦洗高阀盖及冷井 给扩散泵 加热时间不能少于 90 分钟 6 掉膜 问题 6 2 周一掉膜严重 且膜质不好 1 洗机时产生的一些 粉尘在抽气时飞到玻 片上 2 洗机时的潮气及防 污板的潮气未干 1 用酒精仔细擦干净真空室 2 延长轰击时间 防污板应彻底 烘干后才装入真空室 7 1 膜质发黑不亮 泽 1 U5 材料镀少了 有时 有银灰色 2 2 枪光斑能量太散 扫描频率有问题 3 U3 材料镀多了 膜质 稀烂 4 2 枪坩埚位置不合适 5 U5 材料太旧或氧化 6 真空度低 1 适当增加 U5 厚度 2 调节光斑和扫描频率 3 适当减少 U3 厚度 4 将 2 枪坩埚位置移到适当位 置 5 更换新料 6 检查真空度 7 2 膜发银1 U5 材料镀多了 2 跳程序或假速率造 成 U5 材料没镀上或 镀少 3 U3 材料蒸发过快造 成 U5 没镀上或镀少 1 适当减少 U5 厚度 2 发现时应适当加镀一些 U5 在镀 2 6 层时应特别注意有无 此现象 3 镀 U3 材料时速率不要过高 镀完 U3 材料时应稍微停顿 5 秒再镀 U5 7 膜质 7 3 膜质发硬 打卷1 玻片太脏 2 玻片表面光洁度差 3 U3 材料镀的过少 1 仔细清洗玻片 玻片放入真空 室经抽气未使用应更换或清洗 后才能使用 应打扫完真空室卫 生后再装玻片 减少污染 2 更换好的玻片 3 适当增加 U3 厚度 8 1 晶片失效1 晶片使用寿命已到 2 晶片压簧损坏 3 连接探头的各接触 点接触不良 4 探头冷却水过小或 水温过高 5 探头挡板碰到工 1 更换好的晶片 在用超声波清 洗晶片时应注意打晶片的时间 及方法 延长晶片的使用寿命 2 更换晶片压簧 在取压簧时应 轻拿轻放 3 整理各连接处 4 调大探头冷却水流量或开启 冷冻机降水温 水温小于 28 度 5 调在探头挡板与工转的距离 8 2 开始镀膜控制 仪无工作 1 程序清零 2 没选择到镀膜程 1 重新设置程序 在操作膜厚控 制仪时动作不应过快 控制仪要 有良好的接地 2 选择好镀膜程序 在调程序时 应注意光标是否在对应的镀膜 程序上 8 膜厚 控制 仪 8 3 手动遥控盒不 受控 1 连接控制仪的接头 没接好 2 遥控盒上的按键的 接线脱焊 1 接好接头 2 焊好接线 在用遥控时应注意 连线不要用力过大拉扯连线 9 其他9 1 开枪镀膜时发 现膜厚仪上没速率 显示 1 晶片被挡住 2 枪挡板未打开 3 高压没开 1 放气整理 关门抽气时应检查 晶片是否被挡 2 修理挡板 3 打开高压 6 4 束流控制调在手动4 将束流控制调的自动 9 2 枪挡板打不开1 气压不够 2 控制挡板的气动阀 坏了 3 气缸与挡板轴的连 接键或螺钉脱落 1 调高气压到合适位置 2 维修或更换气动阀 3 重新装上键或螺钉 二 一些基础知识及注意事项和应急措施 1 膜厚控制仪 1 1 控制参数 Soak power1 预熔功率 1 约为蒸发功率的一半 Soak power2 预熔功率 2 也称预蒸镀功率 略小于最大功率 Maxpower 最大功率 Dep Rate 蒸发速率 Final Thk 膜厚 波长 Soak time 预熔时间 Rise time 功率上升时间 Density 材料密度 1 2 检测膜厚原理 通过改变探头上晶片的频率 由于膜的蒸发改变了其重量 所以其震动频率发生 变化 来计算膜厚 而探头所处的位置和工具因数的设置都影响到测试精度 探头的位置和 测试膜厚的关系如小 1 探头高了 测试得到的厚度实际得到的膜厚 玻片上厚度 3 工具因数调高 相当于探头位置降低 所以膜厚要增加 2 膜和材料间的关系 2 1 U5 吸收杂光 影响膜质和亮度 镀的过多 膜会发银 镀的过少 膜发黑 不亮泽 有银色 没 镀上 则为银白 2 2 U3 脱膜剂 影响膜质 镀的过多 膜质稀烂 易脱落 镀的过少 膜会打卷 发硬 2 3 SiO2 决定颜色 2 4 U6 基层 影响膜的鲜艳度和亮度 3 均匀性 3 1 径向均匀性 同一玻片上部与下部的不均匀 与光斑的调节 材料的料面 坩埚转速和 转向 玻片的曲率有关 3 2 重复均匀性 同一锅膜的每一套间的不均匀 与真空度的高低 操作者看颜色有关 3 3 整体均匀性 同一套膜四块玻片上的均匀性 与光斑的稳定性 工转的转速和蒸发速率 的匹配 真空度的高低 径向均匀性有关 4 灯丝问题 4 1 放气时要记住关灯丝电源 以免氧化灯丝 4 2 初次使用或更换新灯丝 应进行灯丝预热定型处理 以防灯丝加热过快变形 预热时 高 压关闭 直接加热灯丝 缓慢加灯丝电流 由几安培加至 15A 时 维持 3 5 分钟 4 3 灯丝安装 a 灯丝不宜太高或太低 太高会造成光斑不可调 容易打烂栅极和阳极片 太低会造成 光斑能量太散