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特气系统控制 2005年9月20日 特气系统控制 特气系统控制 气柜 VMB VMP PLC 盘面 电磁阀 气动阀 GASCYLINDER SENSORS 易燃易爆 SIH4 H4 B2H6 ASH3 PH3 无毒 AR HE CF4 N2O C2F6 SF6 O2 HE 有毒 CL2 HBR NH3 NF3 SIH2CL2 BCL3 设备 LAM 易燃易爆 SIH4 H4 B2H6 ASH3 PH3 有毒 CL2 HBR NH3 NF3 SIH2CL2 BCL3 无毒 AR HE CF4 N2O C2F6 SF6 O2 HE AMEM TCPM AMS101 MRC CVD APWJ DFUR EPSL IMP 气柜组成 1 电控2 COMPUTER3 GASPANEL 1 电气控制 STATUSLED SLOCALSDRED YELLOY GREENSWITCH 电磁阀 SENSORS 2 COMPUTER koyophilips 3 盘面 一 双盘面单盘面示意图 二 GASFLOWSCHEMATIC DUALGSMWITHPURGEGASMANIFOLD 一 Semi Gas全自动气柜更换钢瓶操作步骤 如果是液态类气体需要输入 净重 确认 1接通220V电源 打开 EMO 紧急开关 进入盘面画面 2输入password 按确认 3L盘面进入 Inshutdown 按 commands 菜单 4选择 terminatepurge 按 Yes 5选择 selectpurge 按 Cylinderchange 按 Yes 按 ACK 确认 进入更换钢瓶的过程 6L Cylindershutofftest 执行processGasremoval置换 7更换钢瓶前Pre purge前吹扫 执行完循环次数 8Cylinderchange更换钢瓶 按 ACK 确认 9ProcessGasremoval执行工艺气体置换 10Autoleaktest自动检漏测试11Manualleaktest手动检漏测试 按 ACK 确认 12LeakRepair泄漏维护 按 ACK 确认 13RepairLeaktest维护后泄漏测试 按 ACK 确认 14更换钢瓶后Post purge后吹扫 执行完循环次数 15Regulator调压阀shutoff及测试 16缓慢完全打开钢瓶手动阀 回1 4圈 进入钢瓶压力测试 17缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力 18按 serviceready 进入钢瓶供气或备用 4 更换钢瓶操作 依照L钢瓶为例 1选择需要更换的钢瓶 按 更换钢瓶 后按 确认 2关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀 按 下一步 3确认钢瓶手动阀已经关闭 按 确认 4进行低压释放 5进行预吹扫 完成设置的循环次数 6钢瓶检测结束报警 按 close 按 下一步 7更换钢瓶 结束后按 下一步 8进行钢瓶Fitting测漏 正常后按 确认 9进行后吹扫 完成循环次数 10钢瓶检测结束 按 close 11如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力 净重 确认 12缓慢完全打开钢瓶手动阀 回1 4圈 13选择供气或备用 14缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力 二 半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤 三 手动气柜更换钢瓶操作步骤 要求PN2钢瓶的出口压力80 10PSI 1关闭钢瓶手动阀 2打开低压放空的左抽空开关 V3L V4L V7L 使之管道内气体完全放空 然后关闭此阀 同时关闭Regulator 3更换钢瓶前的Pre purge 打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关闭 然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关闭 再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空 循环往复执行10次 4执行更换钢瓶的过程 5更换钢瓶后的PigtailFitting检漏 打开钢瓶PN2管路左吹扫开关 然后再关闭 进行PigtailFitting的checkleak 检漏通过后进行Pigtail后吹扫 6更换钢瓶后的Post purge 打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关闭 然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关闭 再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空 循环往复执行10次 7关闭L盘面上所有气动阀件 打开L钢瓶手动阀 调节Regulator的压力使之满足工艺设备的供气压力 如果是液态类气体需要输入切换压力 毛重 确认 8缓慢完全打开钢瓶手动阀 回1 4圈 9缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力 10按 供气开关 或 备用开关 5 气柜操作流程图 SCREEN MENUSCREEN INPUTPASSWORD OPERATIONSCREEN APANELOrBPANEL SELECTGOTOAorBPANEL NO AUTOPURGE PREPURGE FINISH CHANGENEWCYLINDERTHENPRESSACK BUTTON NO POSTPURGE FINISH PROCESS INSTALLESV YSE YSE CONFIRMLOADCELL NEWorOLD OPENCYLINDER LOWDELIVERYPRESSURE HIGHDELIVERYPRESSURE DOYOUWANGTTOPROCESSORSTANDBY SELECTPROCESSorSTANDBY PROCESS PROCESS STANDBY STANDBY 6 钢瓶更换分解图示 前吹扫 放空 图一 开 通 关 开 抽真空开 图一 后吹扫 1