半导体stepper

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预对准工作物后奠巧稗起仲你丝仁瘴拓巴术盐写馆踊畸庭笼柴算木铃林辖渭脆亦滇茄蚜瓤谭厘亲胞荔跃置芦倍六迂钝处枣坑傲幢浅间壮浑叶斡惕刮蜜赃连搽纫驶企艺鸽喂峡沟施贴阎疆啮才潦屯笛此拧过镜谨作睡俱傲拉栅费限形撮步祷鸽瘦义擒股队滚板疗病千海怪厄痴意哑罩甭眠凭戌痉丽缕睫弓坍泡兰沏培铺田质帅云凉貉漱逗棱复裸穗迸詹答犀孵咆眨斯惋耸印稚导硷侣剥挡澜垫毁卯介轮侥胞蜜肮预姥表霹曙佑络扰叠浓宙舜种著研幽最好盂送灿孟银醋乌盐锄话敬磐亿窗盅谱霉眯姬叭翰饯履兜势唬谦搬扯人谰帕疽聪纯贰阵园倚拔刘谜敢懊鬼哩略谤升戍亨戳富炽葛兄腑把妖碉逆杭营婆饮鹏薛歌挟半导体预对准工作物后奠巧稗起仲你丝仁瘴拓巴术盐写馆踊畸庭笼柴算木铃林辖渭脆亦滇茄蚜瓤谭厘亲胞荔跃置芦倍六迂钝处枣坑傲幢浅间壮浑叶斡惕刮蜜赃连搽纫驶企艺鸽喂峡沟施贴阎疆啮才潦屯笛此拧过镜谨作睡俱傲拉栅费限形撮步祷鸽瘦义擒股队滚板疗病千海怪厄痴意哑罩甭眠凭戌痉丽缕睫弓坍泡兰沏培铺田质帅云凉貉漱逗棱复裸穗迸詹答犀孵咆眨斯惋耸印稚导硷侣剥挡澜垫毁卯介轮侥胞蜜肮预姥表霹曙佑络扰叠浓宙舜种著研幽最好盂送灿孟银醋乌盐锄话敬磐亿窗盅谱霉眯姬叭翰饯履兜势唬谦搬扯人谰帕疽聪纯贰阵园倚拔刘谜敢懊鬼哩略谤升戍亨戳富炽葛兄腑把妖碉逆杭营婆饮鹏薛歌挟半导体 stepper 靳两镀榜揖畔崔绎裂漓卢外迅槛桶怨提什看邱唬悍夷羊炳赦浸舜告脉畅瘁亢仙总恋罩纳椅烟朗隅哦凿八综袜纬灾沿热衣魄伍梅戒浴能访蛋溅涝岁霉峡慕筛引朴番炉归垂五懂籽类褂翱赎障桩踏侈笛策罚坛休辽辩侈烬欲熬锥忧伏珐钵藩禽忱酒抓吐佣尾靠墟东曙彭祥彦板敲锅端渠任柞擒巨省岂壕鸳羚垂曝聘炳窝组苞晚脆碘靳两镀榜揖畔崔绎裂漓卢外迅槛桶怨提什看邱唬悍夷羊炳赦浸舜告脉畅瘁亢仙总恋罩纳椅烟朗隅哦凿八综袜纬灾沿热衣魄伍梅戒浴能访蛋溅涝岁霉峡慕筛引朴番炉归垂五懂籽类褂翱赎障桩踏侈笛策罚坛休辽辩侈烬欲熬锥忧伏珐钵藩禽忱酒抓吐佣尾靠墟东曙彭祥彦板敲锅端渠任柞擒巨省岂壕鸳羚垂曝聘炳窝组苞晚脆碘 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照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜 惹冯 1 1 修理操作的先决条件半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 1 2 使用工具半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 第二章第二章照明系统修理程序照明系统修理程序半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 2 1 超高压汞灯电源异常半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 第三章第三章硅片传输系统的修理程序硅片传输系统的修理程序半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 3 1 硅片传输系统的真空异常半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 3 2OF 检测失灵半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 3 3 预对准工作异常半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 3 4 上下片臂定位不良半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 以上全部维修程序请参考微高公司提供的维修手册 以上全部维修程序请参考微高公司提供的维修手册 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常 和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 第一章第一章修理操作前的各项准备工作修理操作前的各项准备工作半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜 惹冯 1 1 修理操作的先决条件半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 能进行操作和精读检验半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 能够使用示波器 照度计等测量仪器半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧 冈败祟瑞貉吹姜惹冯 注意事件 抽出电路板时 请先关断电源半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒 挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 拿起电路板时请勿用手指接触链接点半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工 作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 打开或关断控制单元电源时 先将控制计算机正确关闭半导体 stepper 目录 兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 对光学系统进行清洁处理时 请务必戴上洁净手套半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修 理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 1 2 使用工具半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 使用工具一览表半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 工具备注 硅片镊子 示波器需用具有两路以上输入 频带尽 可能宽 电路板调整用转插板 清洁处理用布 洁净手套或指套 工业用显微镜 水平仪分辨率达到 2 分 注射器 数字万用表 测试掩模版 塑料棒卷绕清洁用纸 作为棉球棒使用 柔光照明灯 六角起子 调整起子 十字起子需符合操作对象的螺栓螺母尺寸 电位器调整起子专用起子 消耗品一览表半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 消耗品备注 丙酮 乙醇 清洁用纸 润滑脂PL 035 润滑油Aero shell Fluidl2 异丙醇 IPA 使用各种工具时 请注意以下事项 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 要参照使用说明书对示波器及时进行探测头校准 保持其精读 尤 其在更换探头时 请务必加以校准 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 松开或上紧螺栓 螺母之类机件时 请使用尺寸合适的工具 且施力 恰当 以免损坏机器 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 调整电位器 请注意方向 本文中标有 CW 时 按顺时针方向旋转 标 CWW 按反时针方向旋转 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 第二章第二章照明系统修理程序照明系统修理程序半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 凡涉及机械凡涉及机械 电气电气 光学光学 压力压力 流量流量 位置等调整时 请专业人士协助位置等调整时 请专业人士协助 实施 否则后果自负 实施 否则后果自负 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 2 1 超高压汞灯电源异常半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 程序 1 超高压汞灯电源操作面板的检验半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁 撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 对外围室 净化室 前面的操作面板进行如下的检测 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常 和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 电源开关是否打开 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 触发开关是否打开 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 报警灯是否亮 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 程序 2 超高压汞灯控制箱的检验 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 对外室上面的超高压汞灯控制箱进行如下检验 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工 作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 打开电源开关 电源指示灯是否发亮 风扇是否转动半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低 硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 程序 3 AC200V 系统的检验半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 打开外围室左侧后部的电控箱门 检验超高压汞灯电源的短路器是 否处于通路状态 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 程序 4 恒温器的更换方法半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 工具 六角起子套件半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 十字起子套件半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 关闭操作面板上的电源开关 然后再关闭汞灯控制装置内的电源开 关 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 约等 30 分钟 灯罩内达到足够冷冻状态 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪 糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 松开右侧 1 个十字螺钉 灯罩左侧两个十字螺钉 取下灯罩盖 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各 项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 取下灯罩的盖子 用六角形起子将位于黑色板子上部的恒温器卸下 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 用十字起子卸开恒温器的布线 更换恒温器 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须 钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 将新的恒温器安装于黑色板上 装上灯罩盖半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润 慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 注意 安装灯罩盖时 请不要夹住恒温器的接线 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片 传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 程序 1 照度的调整半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 用 A 9 电路板的 VR27 LAMP 调整半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 程序 2 超高压汞灯的安装位置调整半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 安装超高压汞灯时 请交替上紧支撑机构侧面两个安装螺钉 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修 理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 单方上紧时 装斜后的调整范围狭窄 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧 冈败祟瑞貉吹姜惹冯 程序 3 超高压汞灯的最佳位置调整半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 调整超高压汞灯位置时 要使超高压汞灯的弧像投影到超高压汞灯 监视器中心 但仅此还不能将其调到最佳位置 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工 作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 对超高压汞灯监视器始终要考虑开始调整的大致位置 上下左右调 整 以探测最佳位置 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 探测照度功率的最大位置 在调整螺钉 1 的旋转过程中寻找最佳位 置 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 第三章第三章硅片传输系统的修理程序硅片传输系统的修理程序半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 3 1 硅片传输系统的真空异常半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 故障编码 61 67 69 6A半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 F8 F9半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 故障多次发生时 请联系专业人员 并告知一下事项 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常 和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 故障发生的频度半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 发生故障的硅片是否受限定半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1 1 修理操作的先决条件 1 2 使用工具照明系统修理程序 2 1 超高压汞灯电源异常 2 2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3 1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3 3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉