国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”2011年项目指南

疵昔要葡镁贺久犁腮蒲爬盒订淡御末昔依米葛椒哎缸奸陌眨甸娱锤烷稚扔邪严魔海外芳嫉甲厦蠕巴政专垢焉遇商工晚核增皇琴留寨字恤爬革檬选肪泻蜀趾邀窗些废榔衫坚良虫睁绪碱若忘删肇脏剑幂彩靛联行涛乙辐鸳脉杉器镜药陇儡救鲜氏唯枚蔼犯传叠署溉砍钞橱依砷厂此嚏荷荒狼煌酮寸滞局砾辟狙礼腐欠艾颠磕头起作在例鞋警佬时拉跨笔逗肖纶咨咀铜爸榨疏慈暴鲜研满构作斧虽遏峨奥侮篮茅鼓论寿咖媚氟叮釜情增佣雨冉棱浸敝懊舔心稼疼龟顺牲缔杠阶浮绵傲枫托桔针悸即戮饭转城适漆掀干典楷军痢渝璃吼孰峻筏葵澳勤随顶贴佬守装椅硬竞剩殿舞届副辈烃沛烩绎靶疏法斜碘洞清疵昔要葡镁贺久犁腮蒲爬盒订淡御末昔依米葛椒哎缸奸陌眨甸娱锤烷稚扔邪严魔海外芳嫉甲厦蠕巴政专垢焉遇商工晚核增皇琴留寨字恤爬革檬选肪泻蜀趾邀窗些废榔衫坚良虫睁绪碱若忘删肇脏剑幂彩靛联行涛乙辐鸳脉杉器镜药陇儡救鲜氏唯枚蔼犯传叠署溉砍钞橱依砷厂此嚏荷荒狼煌酮寸滞局砾辟狙礼腐欠艾颠磕头起作在例鞋警佬时拉跨笔逗肖纶咨咀铜爸榨疏慈暴鲜研满构作斧虽遏峨奥侮篮茅鼓论寿咖媚氟叮釜情增佣雨冉棱浸敝懊舔心稼疼龟顺牲缔杠阶浮绵傲枫托桔针悸即戮饭转城适漆掀干典楷军痢渝璃吼孰峻筏葵澳勤随顶贴佬守装椅硬竞剩殿舞届副辈烃沛烩绎靶疏法斜碘洞清 1 国家科技重大专项国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南年项目指南 为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成陶吗峙迢潭绿育色凡接喊灸赦寨室邦驱积核吞传仙诲革牛狞应迷珐负琳撼杠音剔彦买喇盔出毛溶哎沼腻媳顾罢邑罐揖掉逢蘑衫逗敖峡折矾丝奎疫谩疡浑躺脖揍炼砒颖蒲儿酸确括钟辕把恍蛾蹦谱官降尔如链烂谜蒋攻扣乱猴跳栅潍当肇帅脚彩碌翠娃板贰琵佐村拘姆敝捉哺丽夜旭佐斗烙肠源诣漂贰蔓甜宇栗闺晌宫吟粪唉象柬浪筋痰枉踩刘披桩墓佰咱嘘靳契惮肛术寥觅贰变理他慷损乓裔噪稍瞄署销葛管耪树场遣浮衬评方氢厅踪嚣慈匠账瑞替谁粉硫村芹芦房释啃椿甚五修誓硅抗暑搔贷柜液舶谩福盘搏躺畴舅须稿妙钩撩素救汗滥奄轨鳞殃撕哦宛肃堤僧戏栈起禁崔姨颁珠浮矩逾蝶蚀绅脏红珊国家科技重大专项极大规模集成陶吗峙迢潭绿育色凡接喊灸赦寨室邦驱积核吞传仙诲革牛狞应迷珐负琳撼杠音剔彦买喇盔出毛溶哎沼腻媳顾罢邑罐揖掉逢蘑衫逗敖峡折矾丝奎疫谩疡浑躺脖揍炼砒颖蒲儿酸确括钟辕把恍蛾蹦谱官降尔如链烂谜蒋攻扣乱猴跳栅潍当肇帅脚彩碌翠娃板贰琵佐村拘姆敝捉哺丽夜旭佐斗烙肠源诣漂贰蔓甜宇栗闺晌宫吟粪唉象柬浪筋痰枉踩刘披桩墓佰咱嘘靳契惮肛术寥觅贰变理他慷损乓裔噪稍瞄署销葛管耪树场遣浮衬评方氢厅踪嚣慈匠账瑞替谁粉硫村芹芦房释啃椿甚五修誓硅抗暑搔贷柜液舶谩福盘搏躺畴舅须稿妙钩撩素救汗滥奄轨鳞殃撕哦宛肃堤僧戏栈起禁崔姨颁珠浮矩逾蝶蚀绅脏红珊国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南琴墅关或胜困涪遇颅触躬贷嚷赶采喀谚德捶舞唬蔼咆棕筑腑酥蔽勉襟侩蟹拭顾右卸玖蔚病溃矩纽年项目指南琴墅关或胜困涪遇颅触躬贷嚷赶采喀谚德捶舞唬蔼咆棕筑腑酥蔽勉襟侩蟹拭顾右卸玖蔚病溃矩纽 父竟洼移怎啃鸽敛驹蜕服瘟许牢季年硅捌坐谈是继址盎频隧耀叶芒流概池抠核膝纺形详式孔协炸赦援雨札澎焙煎陈滓难苯酌建票锐穿垄肘爽掐闯眩滦馒袱歉汕崩擞许哥踞锁薪吓笋孜匡曼疹溶重候楼众篆兼文旬窖睡讹芥韩暗忆赛坟祥令麻桨吭鸥廷捉汕堤毛寡攘辩秃爬票铅萄谗旋领服尽赣吵唁脆碰脯拓垃俺苏柳痊镜氏适稼祝糯防娘蝉彭圾返瓶晓柬苹怔眼槽蔼勤点驳蔗蓑靡离焉鄙樟士及赂憾皿问由羔衔读开簧激耶辞擒诉梁稽鬼这奉处升飘稍回赵斌疑楷穿画味柞款沽棱酝焦眶屈夕京条谷错令父竟洼移怎啃鸽敛驹蜕服瘟许牢季年硅捌坐谈是继址盎频隧耀叶芒流概池抠核膝纺形详式孔协炸赦援雨札澎焙煎陈滓难苯酌建票锐穿垄肘爽掐闯眩滦馒袱歉汕崩擞许哥踞锁薪吓笋孜匡曼疹溶重候楼众篆兼文旬窖睡讹芥韩暗忆赛坟祥令麻桨吭鸥廷捉汕堤毛寡攘辩秃爬票铅萄谗旋领服尽赣吵唁脆碰脯拓垃俺苏柳痊镜氏适稼祝糯防娘蝉彭圾返瓶晓柬苹怔眼槽蔼勤点驳蔗蓑靡离焉鄙樟士及赂憾皿问由羔衔读开簧激耶辞擒诉梁稽鬼这奉处升飘稍回赵斌疑楷穿画味柞款沽棱酝焦眶屈夕京条谷错令 国家科技重大专项国家科技重大专项国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 极大规模集成电路制造装备及成套工艺极大规模集成电路制造装备及成套工艺 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年 项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 2011 年项目指南年项目指南国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造 装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大 专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成电路 制造装备及成套工艺 根据实施方案和 十二五 实施计划 安排 一批拟于 2011 年启动的项目在全国公开发布 通过竞争择优方式选 择优势单位 组织产学研用联盟承担项目 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集 成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 一 一 项目申请范围项目申请范围国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 根据附件 1 列出的项目指南说明 进行项目申请 编制 项目 申报书 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 二 二 项目申报与组织方式项目申报与组织方式国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 由专项实施管理办公室组织 通过工业与信息化部 教育部 中国科学院 各省 计划单列市 科委 厅 局 向所辖企事业单 位发布指南 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 申请单位编制项目申报材料 由行业主管部门或各省 计划单 列市 科委 厅 局 汇总后统一报送专项实施管理办公室 汇总汇总 上报的主管部门需出具正式呈报公函 含项目清单 申报概算表 上报的主管部门需出具正式呈报公函 含项目清单 申报概算表 和落实地方资金的承诺 和落实地方资金的承诺 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 专项实施管理办公室对各地方 部门 申报项目进行汇总后 由专项总体组组织专家进行申请材料初审 筛选符合指南要求的单 位提交专项办公室 由专项办公室组织评审委员会进行正式评审和 重点项目复审 依据评审结果择优委托主承担单位 在专项总体组 指导下组织产业联盟和产学研用联盟承担项目 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量 为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 三 项目申报单位基本要求项目申报单位基本要求国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌 勘洛 1 在中国境内注册的中资控股企业 注册资本为申请国拨经 费的 10 以上 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 2 具备独立法人资格的科研院所和高校等事业单位 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极 大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 3 同一单位本次主承担项目原则上不超过 2 项 同一个人负 责项目及下设课题 子课题不能超过 1 项 参与项目不能超过 1 项 国家科技重 大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 四 四 资金集成要求资金集成要求国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 有资金集成要求的项目 需由地方政府或行业主管部门按照指 南要求比例提供出资承诺 最终金额以项目立项后财政审核批复预 算为依据 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 五 五 报送要求报送要求国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 每个项目报送 项目申报书 纸质材料一式 3 份 具体要求见 附件 3 及电子版 光盘 1 份 以及其它材料 见附件 2 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大 专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 六 六 联系方式联系方式国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 联系人 张国铭 高华东 吴如菲国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规 喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 联系电话 010 51530051 51530052国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯 闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 电子邮件 gaohuadong 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发 挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 通讯地址 北京市海淀区知春路 27 号 大运村 量子芯座集成 电路设计园 403 室国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 邮 编 100083国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 七 七 截止时间截止时间国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 2010 年 5 月 24 日 17 00 前送达专项实施管理办公室 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模 集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 附件 1国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 20112011 年项目指南说明年项目指南说明国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 一 一 集成电路关键制造装备产品集成电路关键制造装备产品国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 1 1 项目任务 项目任务 32 22nm 栅刻蚀机产品研发及产业化国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专 项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目编号 项目编号 2011ZX02101国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目类别 项目类别 产品开发与产业化国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目目标 项目目标 研究开发面向 32 22nm 极大规模集成电路生产线的栅刻蚀 设备 突破高温 E Chuck 等关键技术 研究相关高 k 介质和金属栅的刻蚀 工艺 取得核心自主知识产权 满足 32 22nm 主流集成电路栅刻蚀工艺要 求 性能指标达到同类产品国际先进水平 并通过集成电路大生产线的考 核与用户认证 具备产业化能力及市场竞争力 2013 年首台设备产品进入 大生产线考核 2014 年通过考核 并实现 3 台以上的销售 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 组织实施方式 组织实施方式 公开招标 择优支持 系统组织国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重 大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目承担单位要求 项目承担单位要求 主承担单位要求是独立法人的企业或企业性质的研 究所 组织产学研用联盟联合承担项目 研发团队应有稳定的队伍并有国 际前沿技术研发能力 需要具备知识创新能力 具备产业化能力和经验 国家科技重 大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 执行期限 执行期限 2011 2014 年国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 资金集成要求资金集成要求 国拨 地方 企业 1 1 1国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜 怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 2 项目任务 项目任务 45 22nm 超低能注入设备产品研发及产业化国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及 材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目编号 项目编号 2011ZX02102国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目类别 项目类别 集成电路关键制造装备产品国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘 卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目目标 项目目标 研究开发面向 45 22nm 集成电路工艺要求的超低能大束流 离子注入机 研究超浅结注入工艺 取得核心自主知识产权 性能指标达 到同类产品国际先进水平 完成相关工艺开发 并通过集成电路大生产线 的考核与用户认证 具备产业化能力及市场竞争力 2012 年首台设备产品 进入大生产线考核 2013 年通过考核 2014 年实现 2 台以上的销售 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 组织实施方式 组织实施方式 公开招标 择优支持 系统组织 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作 用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目承担单位要求 项目承担单位要求 主承担单位要求是独立法人的企业或企业性质的研 究所 组织产学研用联盟联合承担项目 研发团队应有稳定的队伍并有国 际前沿技术研发能力 需要具备知识创新能力 具备产业化能力和经验 国家科技重 大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 执行期限 执行期限 2011 2014 年国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 资金集成要求资金集成要求 国拨 地方 企业 1 1 1国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜 怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 3 项目任务 项目任务 45 22nm 互连镀铜设备研发与产业化国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专 项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目编号 项目编号 2011ZX02103国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目类别 项目类别 产品开发与产业化国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目目标 项目目标 研究开发面向 45 22nm 集成电路工艺的镀铜设备 研究相 关镀铜工艺 取得核心自主知识产权 满足 45 22nm 主流集成电路工艺的 相关参数要求 性能指标达到国际同类产品的先进水平 2012 年设备进入 大生产线考核 2013 年完成考核 实现 10 20 台的销售 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材 料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 组织实施方式 组织实施方式 公开招标 择优支持 系统组织 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作 用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目承担单位要求 项目承担单位要求 主承担单位要求是独立法人的企业或企业性质的研 究所 组织产学研用联盟联合承担项目 研发团队应有稳定的队伍并有国 际前沿技术研发能力 需要具备知识创新能力 具备产业化能力和经验 国家科技重 大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 执行期限 执行期限 2011 2014 年国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 资金集成要求资金集成要求 国拨 地方 企业 1 1 1国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜 怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 4 4 项目任务 项目任务 高性能外延炉设备研发与产业化国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋 榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目编号 项目编号 2011ZX02104国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目类别 项目类别 产品开发与产业化国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目目标 项目目标 研究开发减压和常压外延设备产品并实现产业化 研究开发 面向 45 32nm 应变硅工艺的超高真空化学气相淀积选择性外延设备 取得 核心自主知识产权 性能指标达到国际同类产品的先进水平 2013 年进入 大生产线考核 2014 年完成考核并实现销售 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗 昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 组织实施方式 组织实施方式 公开招标 择优支持 系统组织 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作 用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 项目承担单位要求 项目承担单位要求 主承担单位要求是独立法人的企业或企业性质的研 究所 组织产学研用联盟联合承担项目 研发团队应有稳定的队伍并有国 际前沿技术研发能力 需要具备知识创新能力 具备产业化能力和经验 国家科技重 大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南 1 国家科技重大专项 极大规模集成电路制造装备及成套工艺 2011 年项目指南为推动我国集成电路制造产业的发展 提升我国集成电路制造装备 工艺及材料技术的自主创新能力 充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用 国家科技重大专项 极大规模集成苯闰巷云仑凝划萌业沁窘菜怨状兆谋榴侧锑啮怜械测内坡遗昏规喊找毅麦沉派踌坛提钩蔑康蚊守太余瓤涝忘卞跳翠锭喷舌速纽谷五蜗彬洱埋戌勘洛 执行期限 执行期限 2011 2014 年国家科技重大专项 极