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文档简介

SJ6000 激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器 激光双纵模热稳频技术 高 精度环境补偿模块 几何参量干涉光路设计 高精度激光干涉信号处理系统 高性能计算 机控制系统技术 实现各种参数的高精度测量 通过激光热稳频控制技术 实现快速 约 6 分钟 高精度 0 05ppm 抗干扰能力强 长期稳定性好的激光频率输出 采用不同的光学 镜组可以测量出线性 角度 直线度 平面度和垂直度等几何量 并且可以进行动态分析 SJ6000 激光干涉仪产品具有测量精度高 测量速度快 最高测速下分辨率高 测量范 围大等优点 通过与不同的光学组件结合 可以实现对直线度 垂直度 角度 平面度 平行度等多种几何精度的测量 在相关软件的配合下 还可以对数控机床进行动态性能检 测 可以进行机床振动测试与分析 滚珠丝杆的动态特性分析 驱动系统的响应特性分析 导轨的动态特性分析等 具有极高的精度和效率 为机床误差修正提供依据 激光干涉仪角度测量方法激光干涉仪角度测量方法 1 1 1 角度测量构建角度测量构建 与线性测量原理一样 角度测量需要角度干涉镜和角度反射镜 并且角度反射镜 和角度干涉镜必须有一个相对旋转 相对旋转后 会导致角度测量的两束光的光程差 发生变化 而光程差的变化会被 SJ6000 激光干涉仪探测器探测出来 由软件将线性 位置的变化转换为角度的变化显示出来 图 1 角度测量原理及测量构建 图 2 水平轴俯仰角度测量样图 图 3 2 水平轴偏摆角度测量样图 1 1 2 角度测量的应用角度测量的应用 1 1 2 1 小角度精密测量小角度精密测量 激光干涉仪角度镜能实现 10 以内的角度精密测量 图 4 小角度测量实例 1 1 2 2 准直平台准直平台 倾斜工作台的测量倾斜工作台的测量 由于角度镜组的不同安装方式 其测量结果代表不同方向的角度值 您可以结合实际 需要进行安装 测量 图 5 水平方向角度测量 图 6 垂直方向角度测量 在垂直方向的角度测量中 角度反射镜记
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