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文档简介

扫描电子显微镜 SEM ScanningElectronMicroscope SEM简介 SEM原理I SEM原理II SEM中的三种主要信号 背散射电子 入射电子在样品中经散射后再从上表面射出来的电子 反映样品表面不同取向 不同平均原子量的区域差别 二次电子 由样品中原子外壳层释放出来 在扫描电子显微术中反映样品上表面的形貌特征 X射线 入射电子在样品原子激发内层电子后外层电子跃迁至内层时发出的光子 特点 可作综合分析SEM装上波长色散X射线谱仪 WDX 或者能量色散谱仪 EDX 后 在观察形貌图像的同时 还可以对试样微区进行元素分析 装上半导体样品座附件 可以直接观察晶体管和集成电路的p n结及器件失效部位的情况 装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于不同环境 加热冷却拉伸等 的试样显微结构形态的动态变化过程 背散射电子衍射可以揭示样品的晶体结构和取向 断口形貌 高分子材料 硅片上沉积金 高分子材料制成的纳米筛 生物材料上生长骨细胞 电子元件接缝
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