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文档简介

太阳电池制造 工艺流程 工艺原理及工艺卫生 太阳电池制造过程 流程图 带有 的为关键工艺 需对结果进行测量 必须满足设计值 太阳电池制造过程 一 硅片装盒硅片腐蚀去除硅片损伤层 和形成绒面 漂洗干燥 太阳电池制造过程 二 磷扩散形成p n结等离子体边缘腐蚀腐蚀表面磷硅玻璃硅片烘干 太阳电池制造过程 三 PECVD沉积SiN利用硅烷 SiH4 与氨气 NH3 在等离子体中反应 SiH4 NH3SiNH 3H22SiH4 N22SiNH 3H2 太阳电池制造过程 四 丝网印刷和烧结 太阳电池制造过程 五 分类检测包装入库
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