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文档简介

2006 06 北京等离子体技术工作室 1 等离子体清洗技术 一种全新的干法清洗技术 2006 06 北京等离子体技术工作室 2 什麽是等离子体 含有离子 电子 高活性自由基和电中性分子的可以导电的气体 这就叫等离子体 人们又称物质的第四态等离子体在世界上到处都存在着 太阳 很多恒星 北极光 日光灯 霓虹灯 电弧焊等等 2006 06 北京等离子体技术工作室 3 等离子体技术的发展 六十年代集成电路的刻蚀发展 是推动等离子体发展的最大推动力八十年代国外开始用于其他领域的清洗以及表面改性国内在最近两三年开始用于电子元件清洗 表面改性还无人问津 2006 06 北京等离子体技术工作室 4 等离子体的产生 怎样产生等离子体 高真空高频 高压工作气氛 氧气电子被加速 轰击 产生氧离子污垢被氧化成二氧化碳和水 被抽走 结构示意图 2006 06 北京等离子体技术工作室 5 等离子体清洗的优点 优点 干法清洗 不用任何 ODS替代的好方案 省去清洗剂运输 储存 回收 漂洗 干燥对有机 无机基材都可清洗 不会产生侵害 相反提高表面浸润性和反应活性和可粘结性穿透和渗透能力很强 可以进行复杂结构的清洗 包括细管 夹层和盲孔 通过化学氧化 物理轰击 实现最为彻底的剥离式的清洗 特别适于精密清洗 2006 06 北京等离子体技术工作室 6 等离子体清洗技术的局限 局限 如太厚的污物和粗固体粉粒需要前处理 纺织物不能处理 2006 06 北京等离子体技术工作室 7 等离子体清洗技术运行成本 运行成本 数瓶工作气体就能代替几千升的化学品 免除湿法的一切运输 储存 回收 再生装置 和环保压力 因此一般来说成本只及湿法清洗的一半 2006 06 北京等离子体技术工作室 8 等离子体处理设备 2006 06 北京等离子体技术工作室 9 等离子体清洗例样等离子体清洗清洗的例子 2006 06 北京等离子体技术工作室 10 阳极帽的等离子体清洗 2006 06 北京等离子体技术工作室 11 印制板的等离子体清洗 2006 06 北京等离子体技术工作室 12 聚四氟乙烯的等离子体清洗 2006 06 北京等离子体技术工作室 13 等离子体清洗技术 谢谢大家耿世铭博士北京等离子体技术工作室北京朝阳区安贞西里
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