标准解读
《GB/T 34612-2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法》是一项国家标准,旨在规定了使用X射线双晶衍射技术对蓝宝石单晶材料进行质量评估的具体操作流程与要求。该标准适用于通过X射线双晶衍射摇摆曲线来测定蓝宝石晶体的完整性、缺陷密度以及晶体取向等关键参数。
根据此标准,首先需要准备适当的样品,确保其表面平整且无污染。对于实验设备而言,应选择具有足够分辨率和稳定性的X射线衍射仪,并配备适合于蓝宝石检测的特定几何配置。此外,还需要确定正确的入射角、扫描速度以及其他相关参数以获得最佳测试效果。
在实际测量过程中,按照设定好的条件进行数据采集,获取到的摇摆曲线反映了样品内部结构信息。通过对这些曲线特征点(如半高宽)的分析,可以定量地评价蓝宝石晶体的质量特性。例如,较小的半高宽值通常意味着更高的晶体完整性和更低的位错密度。
最后,基于上述步骤得到的结果,可进一步应用于蓝宝石材料的选择、加工及应用领域中,为提高产品质量提供科学依据。
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- 现行
- 正在执行有效
- 2017-10-14 颁布
- 2018-05-01 实施
©正版授权
文档简介
ICS77040 H 21 . 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T346122017 蓝宝石晶体 X 射线双晶衍射摇摆曲线 测量方法 MeasurementmethodforX-raydoublecrystaldiffractionrockingcurve ofsapphirecrystals2017-10-14发布 2018-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 GB/T346122017 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 与全国半导体设备和材料标准 (SAC/TC203)化技术委员会材料分技术委员会 共同提出并归口 (SAC/TC203/SC2) 。 本标准起草单位 中国科学院上海光学精密机械研究所 上海大恒光学精密机械有限公司 中国科 : 、 、学院新疆理化技术研究所 新疆紫晶光电技术有限公司 江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司 丹东新东方晶 、 、 、体仪器有限公司 。 本标准主要起草人 杭寅 徐民 潘世烈 张方方 赵兴俭 郭宏鹤 赵松彬 : 、 、 、 、 、 、 。 GB/T346122017 蓝宝石晶体 X 射线双晶衍射摇摆曲线 测量方法1 范围 本标准规定了蓝宝石晶体 射线双晶衍射摇摆曲线的测量方法 X 。 本标准适用于蓝宝石晶体 射线双晶衍射摇摆曲线的测量 X 。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 半导体材料术语 GB/T14264 3 术语和定义 界定的以及下列术语和定义适用于本文件 GB/T14264 。31 . 轴 axis 倾斜样品的轴 由入射 射线 衍射 射线束构成的衍射平面与样品表面相交而成 , X 、 X 。32 . 角 angle 样品某晶面与样品表面的夹角 。33 . 角 angle 样品台绕样品表面法线旋转的角度 。34 . 扫描 scan 连续改变 角并记录衍射强度的测量模式 。35 . 角 angle 入射 射线与样品表面夹角 X 。36 . 扫描 scan 连续改变 角并记录衍射强度的测量模式 。4 方法提要 41 晶体是由空间间距为d 的一系列平行的离子 原子或分子平面构成 当一束平行的单色 射线 . 、 。 X 射入该
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