1500T多晶硅生产线尾气回收2

北京化工大学北京化工大学 毕业设计毕业设计 论论文 文 题题 目 目 1500T 多晶硅生产线尾气回收多晶硅生产线尾气回收 专专 业 应用化工技术业 应用化工技术 姓姓 名 扇小龙名 扇小龙 指导老师 刘兴佳指导老师 刘兴佳 2012 年 4 月 8 日 诚信声明诚信声明 本人声明 我所呈交的本科毕业设计论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果 尽我所知 除了文中特别加以标注和致谢中所罗列的内容以外 论文中不 包含其他人已经发表或撰写过的研究成果 与我一同工作的同志对本研究所做的任 何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意 本人完全意识到本声明的法律 结果由本人承担 申请学位论文与资料若有不实之处 本人承担一切相关责任 本人签名 日期 年 月 日 毕业设计 论文 任务书毕业设计 论文 任务书 设计 论文 题目 1500T 多晶硅生产线尾气回收 学院 北京化工大学 专业 新应用化工技术 班级 专 学生 扇小龙 指导教师 刘星佳 1 设计 论文 的主要任务及目标 任务 任务 1 氢气还原三氯氢硅制取多晶硅产生的尾气干法回收工序的操作及岗位的 环境运行控制要点 2 氢气还原三氯氢硅制取多晶硅产生的尾气干法回收工序的操作及岗位的职业 健康运行控制要点 目的 目的 是将还原尾气经过冷却 冷凝 压缩 吸收 脱吸 吸附等过程得以充 分回收 再次利用以达到降低成本 降低物耗 减少环境污染 保障职工职业健康 安全 2 设计 论文 的基本要求和内容 1 氯硅烷及 HCl 进人尾气 既增加了尾气处理成本 也增大了污染物的排放量 废水中的 Cl 浓度达 1700 2500 mg L 如何有效解决氯硅烷副产物的出路是降低多 晶硅生产成本 实现节能减排的关键 也是目前多晶硅生产企业面临的重大技术难 题 2 多晶硅生产线尾气回收系统是专门应用于多晶硅生产线的尾气回收装置 将废气回收成二氧化硅和盐酸 将大量副产物转化为生产原料 使生产成本大幅度 降低 同时也实现了节能减排的目的 3 主要参考文献 1 化工环境保护设计手册 2 环保设备 原理 设计 应用 3 大气污染控制工程 4 进度安排 设计 论文 各阶段名称起 止 日 期 1论文准备 毕业实习 2011 09 18 2012 01 01 2论文题目2012 01 01 2012 01 02 3论文文献查阅2012 01 02 2012 01 07 4论文填写2012 01 07 2012 01 17 5论文上版2012 04 摘要摘要 多晶硅尾气回收概述 多晶硅尾气回收概述 随着绿色能源 太阳能的大规模开发利用 太阳能电池原料多晶硅的需求也越 来越大 近几年我国多晶硅产业呈现几何级数发展态势 特别是2008年以来 全国各 地有几十个千吨级多晶硅项目宣布动工或投产 四氯化硅是多晶硅生产中产生量最 大的副产物 未经处理回收的四氯化硅是一种具有强腐蚀性的有毒有害液体 对安 全和环境危害很大2 因此 随着我国多晶硅总产量的逐年增多 多晶硅生产的副产 物四氯化硅的安全和环保问题日益突出 如何安全处理四氯化硅已成为关系到多晶 硅产业能否健康发展的关键问题 目前国内处理多晶硅在技术上已经开创出了两个 方式 一是将四氯化硅热氢化后再生成生产多晶硅的原料 可以回收利用一部分四 氯化硅 但回收率很低 并且还会产生二次污染 第二种方法就是通过化工工艺将 四氯化硅转化成高附加值的化工产品 即无毒无害的二氧化硅 国内多晶硅产业概况国内多晶硅产业概况 我国多晶硅市场现状 1 整体看 目前我国多晶硅市场需求大 行业投资热 但实际产量仍存在缺口 由于市场需求较大 近年来国内多晶硅行业存在盲目投资 重复建设 无序上马的 现象 行业集中度较低 80 的多晶硅厂商规模普遍不超过1000吨 这些小企业盲 目追求利润 造成排放超标 能耗巨大 产生的效益远远比不上给环境所带来的损 害 同时 由于技术研发能力落后 产品良产率较低 销售渠道不稳定 使得不少 企业声称产能很大 但厂房建立数年 却总是无法按量达产 因此 国内多晶硅行 业设计产能和实际产量之间缺口较大 2009年9月 国务院 38号文 要求严格控制在能源短缺 电价较高的地区新建多晶硅 项目 对缺乏配套综合利用 环保不达标的多晶硅项目不予核准或备案 新建多晶 硅项目规模必须大于3000 吨 年 然而在实际操作中 即使是优质的多晶硅项目 也难以申请贷款 更难获得证券市场融资机会 国内多数多晶硅扩产计划无限期延 迟 在目前国内太阳能产业高速发展的大背景下 不断超出市场预期的光伏新增装机量 带动组件需求旺盛 使得上游多晶硅原材料需求大幅增长 导致国内多晶硅现货市 场持续供应紧张 据海关数据显示 我国多晶硅每年市场缺口超过50 2009年全 年进口多晶硅2万吨 2010年进口多晶硅达到4 8万吨 而2011年1季度多晶硅进口 量已超过1 5万吨 同比增长67 2011年3月多晶硅进口量是历史第二高 仅次于2010年11月的进口量 主要是由于 尽管上游多晶硅产能不断在扩张 但仍比不上国内光伏产业链下游电池 组件产能 的扩张速度 使得多晶硅供给量仍无法满足国内需要 2011年1月 工信部 国家发改委 环保部联合发布了 多晶硅行业准入条件 明 确了多晶硅项目的规模 能耗等关键性指标 条件 的出台将有效限制投资过热 推进产业整合 有助于淘汰众多落后产能 约40多家小企业面临关停并转 利于行 业健康长期发展 2 我国光伏产业近期政策及影响 2011年7月24日 发改委颁布了 关于完善太阳能光伏发电上网电价政策的通知 出台了太阳能光伏发电的标杆电价 在2011年7月前核准建设的 在当年年底前建成 投产的项目 执行1 15元 千瓦时电价 7月1日以后核准 以及在年底前未投产项目 则按照1 00元 千瓦时电价执行 此外 发改委将可根据投资成本变化 技术进步等 因素适时调整上网电价 光伏标杆上网电价的出台改变了国内光伏行业的发展模式和发展特点 未来或将复 制风电行业过去的快速发展 促使国内光伏装机容量的快速增长 一是随着成本的下降和光伏电站盈利能力的提升 预计未来国内发电集团和光伏 电站运营商投资建设光伏电站的积极性将更高 此次发改委公布上网电价为每千瓦 时1 15元和1 0元 而去年280MW 光伏特许权招标项目的中标价格为0 72 0 99元 今年 上网电价较去年中标价格还高 而今年光伏组件价格大幅下滑约30 光伏发电成本持 续下滑 目前国内发电成本可以做到0 9 1 0元 光伏电站项目已经可以做到微利 此前 即使亏损电力集团也积极参与光伏发电特许权项目 主要是为了满足国家新能源装机 容量占比不低于5 的要求 二是光伏上网电价明年存在下调的可能 而目前火电成本高涨 分时计价呼声较高 电价上涨几乎已成必然趋势 下半年国内光伏市场或存在提前抢装现象 国内光伏市 场或存在爆发式增长 因此下半年国内光伏市场或存在提前抢装的现象 类似于去年下 半年的德国 此前已有青海 山东 江苏三省区已经出台自己的上网电价 补贴也在 持续下降 其中山东省2010 2012年投产光伏发电项目补贴分别为 1 7元 1 4元和1 2 元 青海省之前出台规定9月30日前投产项目补贴为1 15元 截至7月青海省已有五家光 伏发电企业实现并网发电 并网容量达56MW 目前仍有19个重点项目将在9月30日前 完成300MW 上网发电容量建设 三是国内光伏市场快速启动后 光伏产业链将明显受益 目前国内光伏市场占全 球光伏市场比例较低 但未来发展空间巨大 根据已上报国务院待批的 十二五 可 再生能源发展规划 十二五 光伏发电装机总量目标已上调至 10GW 未来在全球 光伏市场的占比将显著提升 光伏上网电价政策将是推动国内光伏市场的发展根本 动力 国内光伏市场启动后光伏产业链将受益 多晶硅料行业未来产业集中度将继续 提升 具有规模和成本优势的龙头企业竞争优势未来将更加明显 随着扩张产能的持续 释放 未来规模较小 成本较高的企业生存压力较大 目目 录录 前前 言言 1 1 第一章第一章 范围范围 2 第二章第二章 资源资源 3 2 1 原辅材料要求 3 2 1 1 产品质量要求 3 2 2 设备要求 3 2 2 1 设备名称 型号 4 2 2 2 运行基本条件 4 2 2 3 要求 5 2 2 3 1 氢压机的要求 5 第三章第三章 产品形成及控制产品形成及控制 6 3 1 工艺流程 6 3 1 1 工艺原理 6 3 1 2 工艺流程图 7 3 2 过程控制 8 3 2 1 生产技术运行条件 8 3 2 2 操作步骤 9 3 2 2 1 开车前准备工作 9 3 2 2 2 开车操作 10 3 2 3 正常生产 12 第四章第四章 环境运行控制环境运行控制 13 4 1 岗位存在环境因素 13 4 2 岗位需控制的环境因素 14 4 3 运行控制 14 第五章第五章 职业健康安全运行控制职业健康安全运行控制 15 5 1 存在的危险源 16 5 2 需控制的危险源 18 第六章第六章 处理后的尾气处理后的尾气 19 结论 28 参考文献 29 致谢 30 1500T1500T 多晶硅生产线尾气回收多晶硅生产线尾气回收 前言前言 多晶硅不仅是信息产业的基础材料 而且也是实现光电转换 如太阳能发电 的理 想材料 为促进我国光伏产业和电子信息产业的持续快速发展 国家发改委将 光 伏硅材料的技术开发 列人 可再生资源产业发展指导目录 1 多晶硅生产属于高 新科技项目 但多晶硅生产过程中产生大量 SiCl4 Si H2Cl 2 SiHCl3 等氯硅烷副产 物 使生产成本居高不下 部分氯硅烷及 HCl 进人尾气 既增加了尾气处理成本 也增大了污染物的排放量 废水中的 Cl 浓度达 1700 2500 mg L 如何有效解决氯 硅烷副产物的出路是降低多晶硅生产成本 实现节能减排的关键 也是目前多晶硅 生产企业面临的重大技术难题 多晶硅生产线尾气回收系统是专门应用于多晶硅生 产线的尾气回收装置 将废气回收成二氧化硅和盐酸 将大量副产物转化为生产原 料 使生产成本大幅度降低 同时也实现了节能减排的目的 第一章第一章 范围 范围 适用于对氢气还原三氯氢硅制取多晶硅产生的尾气干法回收工序的操作及岗位的 环境运行 职业健康运行控制要点 目的是将还原尾气经过冷却 冷凝 压缩 吸 收 脱吸 吸附等过程得以充分回收 再次利用以达到降低成本 降低物耗 减少 环境污染 保障职工职业健康安全 技术创新性技术创新性 还原尾气中含有 HCl H2 及氯硅烷等副产物 传统处理方法 尾气经水喷淋洗涤后 排放或对尾气进行初步分离 分离出的氯硅烷外售 尾气中 HCl H2 经水喷淋洗涤 后排放 即湿法回收 该方法既造成资源浪费 又将污染物转移到水环境中 造成 废水中 Cl 含量很高 污染环境 增加废水处理费用 实验研究发现 尾气中各种组 分的物理性能 露点 沸点 有显著的差异 利用这一特性 通过加压冷凝 吸收一脱 吸 活性炭吸附等技术方法 可将废气中的 H2 HCl SiHCl3 SiH2Cl2 SiCl4 逐 一分开 SiHCl3 返回还原炉 H2 返回生产系统作原料 HCl 用于制盐酸 SiCl4 SiH2CL2 可采取进一步回收措施 第二章 资源第二章 资源 2 1 原辅材料要求 2 1 1 原辅材料要求 原料 还原尾气 还原尾气总管直接输入干法系统 氮气 执行标准 GB T8979 1996 氮气标准 的优等品和合格品两级指标 蒸汽 0 8Mpa 饱和蒸汽 2 1 2 产品质量要求 回收氢质量要求 GB T7445 1995 氢气标准 的高纯氢和纯氢两级指标 回收 HCL 质量要求 含量 99 8 回收氯硅烷的主要杂质含量要求 B 3ppb P 0 1ppb Fe 150ppb Al 25ppb 2 2 设备要求 2 2 1 设备名称 型号 序号序号设备名称设备名称设备位号设备位号规格型号规格型号数量数量备注备注 1氢压机C 101A B2DW 86 4 12 52 2冷冻机0723 1 107A B 单机双级2 3氯化氢吸收塔T 1021250 mm ID x 22566mm1 4氯化氢解析塔T 1031400 mm ID x 23748 mm1 5吸附柱T 104A B C1250 mm ID x 10890 mm3 6氯硅烷泵P 101A BHQ22E C22 7解析塔泵P 103A BHQ25E D22 8热水泵P 105A B C8040CTWH2 2WSCB3 2 2 2 运行基本条件 氢压机运行基本条件 a 吸气压力 0 415MPaG 排气压力 1 24MPaG b 排气温度小于 135 经水冷后 40 循环冷却水供水温度 35 c 油压控制在 0 15 0 3MPaG 油温 70 2 2 3 要求 2 2 3 1 氢压机的要求 1 检查润滑油压力 压力应在 0 15 0 3MPaG 范围内 2 检查冷却水排水温度是否不高于 40 3 检查机身油池内的润滑油温度 应不超过 70 4 检查主轴瓦温度 应不超过 70 5 检查各级排气温度应不超过 135 6 检查排气温度 应不超过 1 3Mpa 7 定期更换保护舱内的氮气 8 检查充氮气压 是否在 0 013 0 026MPa 范围内 9 检查自动控制部分的仪器仪表是否工作正常 10 检查吸气阀盖是否发热 阀的声音是否正常 11 注意倾听各机件运行时是否有异声和冲击 12 清除各处漏油 漏水 漏气情况 13 定期排放中体 冷却器中的污油 污水 14 作好压缩机的运行情况记录 第三章 产品形成过程控制第三章 产品形成过程控制 3 1 工艺流程 3 1 1 工艺原理 还原尾气中的氢气 氯化氢 二氯二氢硅 三氯氢硅和四氯化硅等成分经尾气水 冷器 尾气气 气换热器 20 冷冻盐水换热器和尾气过冷器后其中的二氯二氢硅 三氯氢硅和四氯化硅被冷凝下来 不凝的氢气和氯化氢经压缩加压后 氯化氢在高压 低温条件下用氯硅烷作为吸 收剂使其溶解在氯硅烷中 其中的氯化氢被吸收 氢气被分离出来 被分离出来的氢气仍含有微量的氯化氢 为了避免氯化氢影响多晶硅的沉积速度 则应将氢气通过吸附塔除去微量的氯化氢 从而获得无水份和其它杂质的纯氢 并 储存在氢气罐里供还原工序使用 被氯硅烷所吸收的氯化氢 在升温和降压条件下被解吸出来 解吸后的氯化氢经 过深冷后成液体 再经过汽化成气体储存在氯化氢罐 解吸后的氯硅烷经冷却后则 一部分用于吸收塔再循环 另一部分则用泵送至分离提纯工序 3 1 2 工艺流程图如下 3 2 过程控制 3 2 1 生产技术运行条件 a 氢压机 氯硅烷泵 解析泵 热水泵运行正常 b 蒸汽系统必须具备足够的压力且蒸汽膨胀槽需保持一定液位 c 各仪表及控制阀能正常运作 d 空气压力必须保证 0 4 MpaG 以上 e 冷冻系统能满足工艺要求 即制冷量足够 3 2 2 操作步骤 3 2 2 1 开车前准备工作 1 检查氢压机 氯硅烷泵 解析泵 热水泵是否正常 冷冻系统是否能正常 供冷 2 蒸汽膨胀槽保持一定的液位 蒸汽压力大于 0 6Mpa 3 检查各仪表及控制阀能否正常运行 空气压力能满足气源要求 保持 0 4 Mpa 以上 4 氢压机通冷却水 开旁路阀 压力控制系统投入 5 干法系统用氮气赶气 将整个系统分成以下子系统 P 101A B E 101 E 102 E 104 E 105 D 101 D 102 和 D 103 压缩机 C 101A B C 及辅助设备和管道系统 D 104 T 102 E 106 E 107 和 E 108 T 103 D 107 P 103A B E 109 E 110 和 E 111 碳吸附塔 T 104A B C 用氮气将各个子系统充压 0 5 Mpa 表压 置换 3 次即可 6 干法系统充氢气置换 所有的子系统用氮气赶完气后应用氢气来置换 其 置换压力 0 5 Mpa 同上 第 5 步 后待 5 分钟泄至微正压 如此进行 3 次 7 氢压机用氢气置换 3 次后待用 8 开启氢压机使五个子系统保持正常生产压力待用 3 2 2 2 开车操作 1 活性炭吸附柱温度 时间程控投入 热 冷水系统投入 吸附柱开始逐一 再生 要求再生温度为 140 150 压力为微正压 向 D 105 水槽加入一定液位脱盐水后关闭尾气阀 向该水槽通入 0 8MPaG 蒸 汽 同时开启冷凝液疏水阀 保证该槽压力大于 0 6MPaG 打开蒸汽入口和冷凝液出 口的阀门 让蒸汽进入 E 112 启动泵 P 105A B C 将 160 饱和水循环到待再生的吸附柱 用氮气 第一次开车 或氢气 停产后开车 吹扫的同时打开顶部排气阀 第 一次开车 向空中排气或排水 正常停产开车时打开再生管线上阀门向淋洗塔排放 尾气 继续加热吸附柱 直到底部温度达到 150 出口露点低于 40 氧气含量 小于 0 1vol 打开循环冷却水到 E 113 的供给和回流管线 运用相同的方式对其它两个吸附柱进行加热再生 冷却 等待吸附 使用柱 初期温度不高于 35 2 干法回收系统供冷 A 尾气过冷器供 R22 出口温度控制在 40 50 B 氯硅烷液体冷却器供 R22 出口温度控制在 40 50 C 氯化氢过冷器供 R22 出口温度控制在 40 50 D 氯化氢的回流槽供 R22 出口温度控制在 40 50 3 系统进料 A 从贮存工序 罐区 的 01V0716a b 的底部阀送 SiCl4 4通过 LV1300 调节阀旁 路以及 P103AB 旁路到解析塔底部 B 当解析塔液位达到 90 时 打开泵 P 103A B 将液体送入吸收塔 T 102 C 打开吸收塔底部阀将料通过 LV1100 调节阀旁路及 P 101AB 旁路将液体压到 E 101 E 102 E 104 D 101 D 102 D 当液位适中后开启冷泵 注意温度不要太低 以冷料泵能正常运行即可 冷料泵将氯硅烷经液 液换热器在过冷器 吸收塔 解析塔之间循环 4 压力系统控制投入 A 压缩机吸入压力控制 0 415 0 5 MpaG B 吸收塔压力控制 1 24 1 3 MpaG C 解吸塔压力控制 0 95 1 0 MpaG D 活性炭吸附柱压力控制 1 2 1 25 MpaG 吸附压力 再生压力控制在 0 3MpaG PV1505 设定为 0 3 MpaG E 氢压机开始运行系统升压 用电解氢补入 D 103 当 D 104 储罐压力为 1 3 MpaG 后将自动停止补电解氢 干法系统保持自循环状态 F 当 D 104 储罐压力为 1 3 MpaG 时 待与还原岗位联系好后 打开还原尾 气总管 使还原尾气进入干法回收系统 G 还原尾气进入干法回收系统后 解析塔的再沸器通入蒸汽 蒸汽流量控制 取自富液进口温度 TE1400 信号 设定温度 16 解析塔系统压力逐渐升高 H 解析塔塔顶压力控制在 1 05MPaG 釜温逐步升高 系统运行两个小时后 温度 压力 流量 液位等趋于稳定 此时釜温逐步稳定在 130 左右 5 温度控制系统投入 A 压缩前气体温度控制 TE1101 设定为 10 B 解析塔的再沸器蒸汽调节阀 FV1442 所控制的温度 TE 1400 设定为 16 C 氯化氢气化温度 TE1811 设定为 40 6 流量控制系统投入 A 富液流量控制 FV1303 调节阀设定 44M3 h B 回收氢流量控制 FV1501 调节阀设定 627Kg h 7 液位控制系统投入 视现场液位显示来定 A LV1100 LV1150 设定值分别为有效液位高度 60 B LV1300 LV1400 设定值分别为为有效液位高度 60 3 2 3 正常生产 3 2 3 1 每隔 30 分钟巡视各个设备是否正常运行 定期倒换氢压机和油泵 3 2 3 2 定期对氢气储罐以及氯硅烷进行取样分析 并保证淋洗塔尾气畅通 第四章 环境运行控制第四章 环境运行控制 4 1 岗位存在的环境因素如下 4 还原干法回收存在的环境因素 还原干法回收存在的环境因素 2 需控制的环境因素如下 1 氯硅烷潜在泄漏 2 检修时氯硅烷泄漏 3 尾气淋洗产生的废酸水 4 检修中拆卸的固体废弃物 5 检修时产生的废油和含油固体废弃物 4 3 运行控制 序 号 环境因素排放去向环境影响时态 状态 环境因素等 级 备注 1氯硅烷潜在泄漏 大气 土 地 污染大气 土地 水 体 将来一般 2 检修时氯硅烷泄 漏 大气 土 地 水体 污染大气 土地 水 体 现在一般 3 尾气淋洗产生的 废酸水 水体污染水体现在轻微 4检修时的污水水体污染水体现在轻微 5 检修中拆卸的固 体废弃物 土地污染土地现在轻微 6氢压机噪声环境污染环境现在轻微 7 检修时产生的废 油和含油固体废 弃物 土地污染土地现在轻微 1 加强设备维护和保养 当班人员巡视相关设备 及时发现氯硅烷潜在泄漏的问 题 及时处理 2 检修时用氮气把设备 管路中的氯硅烷尽量赶净 减轻检修时的泄漏 3 尾气淋洗产生的废酸水进入酸水管道 进入污水站进行处理 4 检修中拆卸的固体废弃物 含油固体废弃物集中处理 5 检修时产生的废油回收 第五章 职业健康安全运行控制第五章 职业健康安全运行控制 5 1 存在的危险源如下 5 还原干法回收存在的危险源还原干法回收存在的危险源 5 2 需控制的危险源如下 6 1 氢气设备 管路检修时发生爆炸伤人 2 氢气潜在燃烧爆炸 3 氯硅烷潜在泄漏伤人 序 号 危险源名称暴露频率可能的危害 风险等 级 备注 1 氢气设备 管路检 修时发生爆炸伤人 偶尔 造成人身伤害甚至伤 亡 财产损失 2 2氢气潜在燃烧爆炸 每天工作时 间 造成人身伤害甚至伤 亡 财产损失 2 3 氯硅烷潜在泄漏伤 人 每天工作时 间 造成人身伤害1 4 检修时氯硅烷泄漏 伤人 偶尔造成人身伤害1 5 氯硅烷潜在燃烧爆 炸 每天工作时 间 造成人身伤害甚至伤 亡 财产损失 2 6氯化氢气体泄漏 每天工作时 间 造成人身伤害1 7检修过程机械伤人偶尔 造成人身伤害甚至伤 亡 财产损失 1 8 管路 设备高空维 修作业坠落伤人 偶尔 造成人身伤害甚至伤 亡 财产损失 1 9 压缩机及相关高压 设备管路潜在爆炸 伤人 每天工作时 间 造成人身伤害甚至伤 亡 财产损失 1 10氢压机噪声 每天工作时 间 造成人身伤害1 4 检修时氯硅烷泄漏伤人 5 氯硅烷潜在燃烧爆炸 6 氯化氢气体泄漏 7 检修过程机械伤人 8 管路 设备高空维修作业坠落伤人 9 压缩机及相关高压设备管路潜在爆炸伤人 10 氢压机噪声 第六章 处理后的尾气第六章 处理后的尾气 1 通过还原干法系统回收净化后得到的纯氢送往还原工序 2 还原干法回收系统得到的氯硅烷 送往精馏工序进行分离提纯 3 还原干法回收系统得到的氯化氢 送往三氯氢硅合成工序 还原工序炉前 硅芯腐蚀或淋洗系统处理 结论结论 多晶硅生产存在许多化学反应 产生大量 SiCl4 SiH2Cl2 SiHCl3 等氯硅烷副 产物 据统计 每生产 1 吨多晶硅 约产生 10 吨 SiCl4 0 3 吨 SiH2Cl2 1 吨 SiHCl3 传统的多晶硅生产中均作为副产品外售 既造成大量资源浪费 又使生产 成本居高不下 部分氯硅烷及 HCl 进人尾气 增加尾气处理成本和污染物排放量 因此 有效利用氯硅烷副产物是减少资源浪费 降低生产成本 实现节能减排的关 键 也是目前多晶硅生产企业面临的重大技术难点 在本项目装置设计中 采用了 先进的回收技术 将大量氯硅烷副产物转化为生产原料 可大幅降低生产成本 减 少污染物排放量 达到节能减排的目的 多晶硅行业尾气回收系统是专门应用于多晶硅生产线的尾气回收装置 利用本回 收系统将废气回收成二氧化硅和盐酸 工作原理生产多晶硅是一个提纯过程 主要 原料是三氯氢硅 再用氢气进行一次性还原 这个过程中约有 25 的三氯氢硅转化为 多晶硅 其余大量进入尾气 同时形成副产品四氯化硅 四氯化硅是高危产品 遇 空气遇水会产生对人体有害的氯