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文档简介

玻璃的减薄 Slimming 工艺 2020 4 9 1 Contents 2020 4 9 2 减薄的作用 1 减少占有的空间2 使Glass达到一定的柔性 2020 4 9 3 减薄工艺简介 减薄方法 2020 4 9 4 技术一 蚀刻 2 蚀刻溶液依靠重力下流 蚀刻玻璃基材表面 2020 4 9 5 Textinhere 蚀刻 清洗 减薄 技术一 蚀刻 减薄流程 2020 4 9 6 减薄设备 其余组件 供酸装置HF酸浓度计温度控制器洗气装置 2020 4 9 7 技术二 真空激光减薄 所谓真空激光减薄技术 是指利用激光器发出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑 并调节到适当的能量密度 对于处在真空环境中的待减薄膜层进行高速扫描 使膜层汽化 从而达到减薄膜层的目的 2020 4 9 8 技术二 真空激光减薄 系统原理 激光束经过聚焦 偏转后 经由石英窗口 照射放置在真空度为10 3Pa高真空环境中的待加工晶片 以实现对晶片表面银电极层的激光减薄 系统工作原理图如图 2020 4 9 9 技术二 真空激光减薄 优点 1 可以实现对膜层的精确减薄 且减薄后的膜层不存在性能漂移现象 2 工作在真空环境下 膜层减薄过程中不会出现对膜层污染 氧化等问题 加之激光加工为非接触加工 不会对膜层产生机械损伤 3 利用激光移动灵活的特点 可以实现快速的多片薄膜大面积的薄膜减薄 2020 4 9 10 技术三 离子减薄技术 两个离子枪从真空室两侧插入 离子束以一定的掠射角 连续可调 从样品的两侧轰击样品 聚光灯从样品背面照明 当样品出现微孔时停止减薄 1 2 3 4 2020 4 9 11 控制好玻璃液的温度 合理配置好拉边机进行双向拉薄 技术四 双向稳流拉薄法 关键点 围绕玻璃厚薄差和微观波纹度 在 稳 字上采取有效的技术措施 适用范围 超薄玻璃的生产 2020 4 9 12 技术五 逐级渐开拉薄法 1 是在试验的基础上建立起来的 2 是在超薄浮法玻璃的实际生产当中 通过参照普通浮法玻璃的拉薄方法 对原有的拉薄方法 强冷重热拉薄法 徐冷拉薄法和双向展薄法 进行了试验探索 3 其整板厚度 厚薄差 微观波纹度均能满足用户的质量指标要求 2020 4 9 13 减薄工艺自身不良 2020 4 9 14 减薄工艺自身不良 玻璃本身含有杂质 1 除胶未干净 有残留2 PT等未清洗干净 玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致 工艺设备 玻璃表面 玻璃本身 2020 4 9 15 Slimming后划伤 2020 4 9 16 Slimming后划伤 LiftPin凹点 2020 4 9 17 Slimming后划伤 2 Robot吸盘凹点 2020 4 9 18 Slimming后划伤 3 轮印 202
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