trouble shooting 教战手册(lam 44_45).xls

IDIDAlarmAlarm messagemessageDescriptionDescriptionSolveSolve RemarkRemark 1 load point chuck down sensor fail load point chuck 没有下 降 或者下降不到位 1 进入Macro page load页面 做UP DOWN load point chuck 2 check load point chuck up down 控制之电磁阀是否工作正 常 是否有气塞 从正面看 此电 磁阀位于机台unload chamber 右侧 N A 2 exit cassette is sensed full exit cassette 无法下降 1 检查cassette是否放好 重新放好 cassette N A 3 the water chiller has failed AEOX07 chiller 工作FAIL 有ALARM 1 check chiller alarm message 液位不足 水阻过低 做相应的措施 补DI water 加乙二醇 如果发现chiller power off reset 完 alarm 后 务必记得powr on chiller 4 chamber chuck down sense fail chamber 4 pin lifter 没 有下降 或者下降不到位 1 进入Macro page Chamber页面 做 UP DOWN 4 pin lifter 2 check 4 pin lifter up down 控 制之电磁阀是否工作正常 是否有 气塞 从正面看 此电磁阀位于机 台unload chamber 右侧 注意此时wafer 的位置 做 任何动作前 确保wafer不 会产生破片 5 wafer load into chamber holding for unload cycle to complete wafer从chamber传出的 cycle没有完成 导致 从load chamber 传进chamber无法完成 Check unload cycle arm 是否收回 4 pin lifter 是否下降 unload inner door 是否关上 注意此时wafer 的位置 做 任何动作前 确保wafer不 会产生破片 6 loadlock purge failed atmosphere sense should be true loadlock 无法purge到ATM 1 Check N2 purge是否正常 2 Check ATM Switch接头是否正常 如有接触不良 则重新接好 3 调整ATM Switch 如果调整ATM switch 调整 完后 记得doubt check 调 整完后的状态 7 incorrect wafer diameter in config or edge detector of calibration wafer 在load point 处转 平边转不好 1 切换AUTO至MANUAL 手动取走 load point spinner 上的wafer 2 屏幕切换至Macro load point页 面 将load point lifter vacuum 由ON变为OFF 3 手动由Load point lifter上取下 wafer 4 消除ALARM 利用校正工具对EDGE DETECTOR 做CALIBRATE N A 8 recipe aborted rf reflected power exceeded hard tolerance RF reflected power 过高 1 check configure 中参数设置是 否正确 2 check RF cable是否连接可靠 3 check RF match 有无动作 N A 9 wafer not sensor at exit cassette exit cassette sensor 没 有 sense 到wafer unload arm 没有回收 1 check wafer unload arm 的具体 位置 2 如果wafer完全落在arm 的holder 上 且arm已完全伸到位置 则垂直捧 起cassette 并用手去感应indexer 上的sensor 使arm自动收回即可 如果发现wafer在arm 上的 位置不正确时 先关掉24V 再以安全方式取出wafer 切 勿先动到cassette 以免 casstte因上升 导致wafer 刮伤或者破片 10 recipe can not be loaded 无法load recipe 1 check EAP 连线是否正常 2 尝试用机台load recipe 3 如上述都未能见效 重启机台 N A 11 shuttle vacuum sensor fail sensor false should be true shuttle vacuum sensor fail 1 check cassette是否摆好 2 check wafer 在cassette内是否 斜插 3 进入Macro page LOAD页面 initialize shuttle后重试一次 4 check vacuum generator 是否正 常工作 N A 12TCU fail chiller 工作FAIL 有ALARM 1 check chiller alarm message 液位不足 水阻过低 做相应的措施 补DI water 加乙二醇 如果发现chiller power off reset 完 alarm 后 务必记得powr on chiller 13chiller 温度异常 chiller 控制的温度与机 台设置不一致 1 重新load一个recipe check机台 显示温度与chiller上显示温度是否 一致 2 check机台端与chiller 间信号线 连接是否正常 3 实际量测温度与显示温度是否一 致 如果不一致 则检查chiller temperature sensor Lam 4420上下channel均为45 Lam 4520上channel为40 下channel为0 14 galil gap drive excessive position error gapdrive reset gap在initialize或着run 货时无法到达其设定的高 度 15 Enrtance loadlock arm failed initialize request entrance loadlock arm 无法initialize 进入Macro page ENT页面 手动initialize arm N A 16 Entrance loadlock inner door close sensor fail Should be TRUE entrance loadlock inner door close sensor fail 1 进入Macro page ENT页面 手动开 关inner door check 是否开关正 常 2 如果发现关不紧 则检查door之 cylinder 的气管接头是否接好或者 有破裂而漏气 检查相对应电磁阀 是否有气塞或坏掉而不响应 N A 17 recipe aborted rf exceeded hard tolerance RF exceeded tolerance 1 Check RF generator break 是否 有跳掉 LAM 4420B重启主机台时 RF Generator会跳电 请记得 复机 否则会有此ALARM 18Lam 4420 E R OOC E R out of control 1 偏高时 先用新的PR C W condition 12pcs后再MON 一次 如 果仍偏高 check RF POWER AFC PRESSURE Temperature有无偏高 如无异常 则开chamber检查 主要 check gap高度 并清机 2 偏低时 先用Bare Si C W condition 12pcs后再MON 一次 如 果仍偏低 check RF POWER AFC PRESSURE Temperature有无偏低 如无异常 则开chamber检查 主要 check gap高度 并清机 1 如果发现E R 跟Spec 差 太多 则先check E R recipe 是否正确 量测机 台是否正常 DL 手法是否 正确 2 Lam 4420正常PM 换Cathode后 E R通常都会比较高 所 以换新的cathode后都会进 行burning 用 77 recipe condition PR C W 3 RF power AFC Pressure Temperature 高则E R 高 反之 则E R 低 GAP 高则 E R 低 GAP 低则E R 高 19Lam 4520 E R OOC E R out of control 1 先用新的PR C W condition 12pcs后再MON 一次 如果仍OOC 则check RF POWER AFC PRESSURE Temperature是否正常 如无异常 则开chamber检查 主要check gap 高度 并清机 1 如果发现E R 跟Spec 差 太多 则先check E R recipe 是否正确 量测机 台是否正常 DL 手法是否 正确 2 RF power AFC Pressure Temperature 高 则E R 高 反之 则E R 低 GAP 高则E R 低 GAP 低则E R 高 3 Lam 4520上电极为Si材质 用过一段时间后会变薄 相对GAP会变高 因此 发 现E R偏低时可相应将GAP调 低 20Uniformity OOC Uniformity out of control 1 首先分析DL量测的E R 饼图 是 否连续两次量测都有一边高 一边 低 如果有则开chamber检查下电极 是否有powder以及gap 水平度是否shift 2 如果量测点无上述情况 先排除 量测手法有误之后 用新的PR C W 做12 condition 后再MON一次 N A IDAlarm messagedescriptionsolve 1 wafer not sensor at exit cassette exit cassette sensor 没有 sense 到wafer unload arm 没有回收 1 check wafer unload arm 的 具体位置 2 2 recipe can not be loaded 无法load recipe 1 check EAP 连线是否正常 2 尝试用机台load recipe 3 如上述都未能见效 重启机台 3 shuttle vacuum sensor fail sensor false should be true shuttle vacuum sensor fail 1 check cassette是否摆好 2 check wafer 在cassette内是 否斜插 3 进入Macro page LOAD页面 initialize shuttle后重试一次 4TCU failchiller 工作FAIL 有ALARM 1 check chiller alarm message 液位不足 水阻过低 做相应的措施 补DI water 加乙 二醇 5 galil gap drive excessive position error gapdrive reset 6 Enrtance loadlock arm failed initialize request entrance loadlock arm 无法 initialize 进入Macro page ENT页面 手动initialize arm 7 Entrance loadlock inner door close sensor fail Should be TRUE entrance loadlock inner door close sensor fail 1 进入Macro page ENT页面 手 动开关inner door check 是否 开关正常 2 check sensor 8loadlock purge failloadlock purge fail 1 Check N2 purge是否正常 2 Check ATM Switch接头是否正 常 如有接触不良 则重新接好 3 调