108manual离子溅射仪使用说明.doc_第1页
108manual离子溅射仪使用说明.doc_第2页
108manual离子溅射仪使用说明.doc_第3页
108manual离子溅射仪使用说明.doc_第4页
108manual离子溅射仪使用说明.doc_第5页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

108auto离子溅射仪使用说明一、 操作界面二、 系统安装1、 电源要求：220VAC，50HZ2、 工作台要求：长120cm * 宽100cm 3、 小心拆开包装箱，取出真空泵和溅射仪主机，并置于工作台上，真空泵放在溅射仪主机的后面。4、 在真空泵上安装上油雾过滤器，并在进油口倒入适量的真空泵油，确保真空泵油在观察窗口的上线和下线之间（设备出厂时有可能已在真空泵中装有适当真空泵油）；5、 小心将溅射仪主机上的溅射头抬起，并尽量向后仰，确保溅射头不会倒下。移走溅射头保护垫，按上玻璃样品室，再小心轻轻的放下溅射头；6、 用金属真空管件连接真空泵和溅射仪主机，连接前在真空泵上先装上真空管转接头，连接时每个接口都要垫上真空垫圈，连接后注意锁紧接口，以防真空泄漏；7、 用电源线将真空泵和溅射仪主机连接上，并将真空泵上的开关打到开的位置；8、 接上溅射仪主机的电源线，并打开溅射仪主机后面的进气口三、 系统测试真空系统：1、 检查电压是否合适，插上溅射仪主机电源2、 关闭气体控制阀3、 打开POWER（控制单元）4、 让泵暖机5MIN5、 关掉POWER，拔出溅射头上盖的放气阀放气，放气完后再放下阀6、 再开POWER，检查0.1mb耗时，1.5分钟左右为合适。7、 运行15MIN，检查真空是否到0.01mb左右。8、 关掉电源溅射单元：1、 抽真空至0.05mb以下2、 调节前面控制面板上的气体控制阀，将压力稳定在0.08mb左右3、 顺时针旋转主机后面的溅射电流控制旋钮到底4、 按TEST，可见辉光放电，此时mb灯熄灭，mA灯亮，量表显示45mA左右。四、 镀膜步骤1、 检查Ar阀是否处开启状态，调节阀压力为0.3bar（如接空气则不需要）A、 检查time value为30秒，如有需要，重新设定B、 等压力稳定后，检查压力是否为0.08mb，如果不是，重新设定2、 按下TEST键，调节后面的溅射电流控制旋钮至20mA，再释放TEST3、 按下start键开始镀膜4、 镀膜完成后，拔出溅射头上盖的放气阀放气5、 完全放气后，打开溅射头，取出样品6、 若所镀膜的厚度不适，可更改溅射时间，先不要改电流或气体压力。五、 设备保养1、 设备需远离热源，工作环境需要保持干燥、干净；2、 定期用沾有少量丙酮的抹布擦拭真空室，注意不要打破玻璃真空圈；3、 更换靶材时，请致电本公
人人文库> 全部分类> 应用文书 > 项目管理

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论