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文档简介
108auto离子溅射仪使用说明一、 操作界面二、 系统安装1、 电源要求：220VAC，50HZ2、 工作台要求：长120cm * 宽100cm 3、 小心拆开包装箱，取出真空泵和溅射仪主机，并置于工作台上，真空泵放在溅射仪主机的后面。4、 在真空泵上安装上油雾过滤器，并在进油口倒入适量的真空泵油，确保真空泵油在观察窗口的上线和下线之间（设备出厂时有可能已在真空泵中装有适当真空泵油）；5、 小心将溅射仪主机上的溅射头抬起，并尽量向后仰，确保溅射头不会倒下。移走溅射头保护垫，按上玻璃样品室，再小心轻轻的放下溅射头；6、 用金属真空管件连接真空泵和溅射仪主机，连接前在真空泵上先装上真空管转接头，连接时每个接口都要垫上真空垫圈，连接后注意锁紧接口，以防真空泄漏；7、 用电源线将真空泵和溅射仪主机连接上，并将真空泵上的开关打到开的位置；8、 接上溅射仪主机的电源线，并打开溅射仪主机后面的进气口三、 系统测试真空系统：1、 检查电压是否合适，插上溅射仪主机电源2、 关闭气体控制阀3、 打开POWER（控制单元）4、 让泵暖机5MIN5、 关掉POWER，拔出溅射头上盖的放气阀放气，放气完后再放下阀6、 再开POWER，检查0.1mb耗时，1.5分钟左右为合适。7、 运行15MIN，检查真空是否到0.01mb左右。8、 关掉电源溅射单元：1、 抽真空至0.05mb以下2、 调节前面控制面板上的气体控制阀，将压力稳定在0.08mb左右3、 顺时针旋转主机后面的溅射电流控制旋钮到底4、 按TEST，可见辉光放电，此时mb灯熄灭，mA灯亮，量表显示45mA左右。四、 镀膜步骤1、 检查Ar阀是否处开启状态，调节阀压力为0.3bar（如接空气则不需要）A、 检查time value为30秒，如有需要，重新设定B、 等压力稳定后，检查压力是否为0.08mb，如果不是，重新设定2、 按下TEST键，调节后面的溅射电流控制旋钮至20mA，再释放TEST3、 按下start键开始镀膜4、 镀膜完成后，拔出溅射头上盖的放气阀放气5、 完全放气后，打开溅射头，取出样品6、 若所镀膜的厚度不适，可更改溅射时间，先不要改电流或气体压力。五、 设备保养1、 设备需远离热源，工作环境需要保持干燥、干净；2、 定期用沾有少量丙酮的抹布擦拭真空室，注意不要打破玻璃真空圈；3、 更换靶材时，请致电本公
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