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文档简介
装料工序SOP一、工序说明： 设置配方，并按配方配料，严格按规程装料，以避免涂层受损。个人防护准备二、工艺流程图材料准备 原硅料回收料杂料用具准备分档掺杂剂准备按备料原则装料三、所用设备序号设备类型名称型号备注1主坩埚转运车无无2主石墨护板无无3辅砸料箱无无4辅工业吸尘器5辅塑料篮盒无无6检测电阻率测试仪KDY-1广州昆德7检测P/N测试仪STY-1广州昆德8检测直角尺长城9检测电子天平E83200天津德安特四、工艺原辅料序号分类名称描述1主晶体硅N型料：电阻率50cm。P 型料：电阻率100 cm2主回收料P型电阻率0.5cm3主杂料P型0.5cmN型1cm4主菜花状原硅料N型料：电阻率50cmP 型料：电阻率100 cm5主硼母合金P电阻率0.0015-0.0090.cm碳含量1ppma单独包装、表面光洁、无损伤五、环境标准 温度：范围为232 相对湿度：小于50%六、工艺控制点序号步骤控制点标准备注检测仪器1装料前着装要求穿着干净的防护服，戴好口罩、PVC手套，确保无毛发、衣服纤维暴露在外目视坩埚准备用工业吸尘器小心的吸走坩埚底部及四角处的氮化硅粉尘，但要注意不要碰到坩埚四壁和底部，防止破坏氮化硅涂层，保证坩埚内的纯净度目视坩埚检查将烧结好的坩埚放置在洁净的石墨底板上，用强光手电检查待用坩埚的烧结情况，若在硅碇生长区（从底部起往上2/3）氮化硅涂层有脱落或起泡现象，则不可使用目视位置调整测量并调整，使坩埚处于底板正中央，坩埚距底板边缘4.50.5cm目视备料硅料检测生产计划部装料人员对来料按每包装袋中5%的重量比率进行对电阻率测量（硅芯、生长层、表层）抽检并记录测量结果见备料原则电阻率测试仪若抽检中发现硅料硅芯电阻率小于1cm或硅料生长层电阻率（距硅芯10mm，距表面10mm之间测量）小于20cm，则该批硅料不予使用掺杂硅芯导电类型及电阻率目标电阻率电阻率测试仪N型；50cm1.3cmN型；50cm20cm1.2cmN型；20cm 5cm1.1cm2N型；5cm 2cm1.0cmN型；2cm 1cm0.9cm装料装料过程先用大块的尾料回收料铺在坩埚底部和坩埚内壁，注意保持间距，在碎片上放上大块的原生多晶，尽量将原生多晶放在坩埚的中下部，在坩埚的中上部装剩余的回收料目视当料装到1/2时装填2/3硼母合金，其分布最好要分散均匀一些，不能堆积在一起，但不要把硼母合金紧贴坩埚壁，装完后放剩余硼母合金目视坩埚装填完毕后，用工业吸尘器把坩埚底部及其上沿掉落的碎硅屑吸走安装石墨护板使坩埚与护板之间留有一定的缝隙，石墨螺母不能拧的太紧，拧合后回旋半圈即可目视盖上石墨盖板，准备移交至下一工序3硅料表面结构表面结构应致密、平整，表面呈亮银灰色，免洗多晶硅的外观应无色斑、金属线、无可见的污染物，无氧化夹层等目视七、半成品标准石墨底板放在运输小车中部坩埚放置在石墨底板上，使石墨板四边边
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