ESD控制方案认证检验检测技术ppt课件.ppt

1 QIHANG上海企航科技咨询有限公司 2 ESD控制方案认证检验检测技术 主讲 刘长雄 QIHANG上海企航科技咨询有限公司 3 一 认证检验计划要求 4 文件化的质量管理体系架构 质量手册 程序文件 作业标准 检查标准 质量记录 作业记录 质量方针 目标 文件化的管理体系 写做记说一致 ESD控制方案 方案计划 验证计划 其它作业指导书 验证记录 作业记录 ESDS20 20标准要求 ISO9001标准要求 5 1 静电放电控制方案计划 目的 本标准的目的是提供行政和技术上的要求 以及建立 实施和维护静电放电的控制方案 文中称 方案 各单位应制定一个静电放电控制方案计划 将方案中的每一个要求都一一列出 这些要求是 培训 认证检验 接地及等电位相连系统 人员接地 静电放电保护区之要求 包装系统 标记静电放电控制方案计划是实施和检验静电放电控制方案的首要文件 其目标是全面实施和整合一个与内部质量系统要求相符合的方案 该静电放电控制方案计划应适用于单位内部工作的各个方面 6 2 认证检验计划 认证检验计划的建立 是要确保单位能够满足静电放电方案计划的要求 认证检验计划应该明确要进行检验的技术要求 相关的测试范围及认证频率 根据此计划进行认证检验 认证检验计划还应规定 检测和测试方法及设备 如果单位采用的方法与本文件所列出的标准有差异 必须提供一个修改声明作为静电放电控制方案计划的一部分存档 认证检验纪录应该被确认并保存 以便证明符合了静电放电控制方案中的技术要求 所选择的测试设备应能够完成认证检验计划中定义的测量项目 检查频率建议可根据稽查之历史 据 订定 7 3 合格检验与认证检验 标准中有哪些合格检验及认证检验参数要求 哪些物品哪些地方要认证检验 要用什么检验设备 用什么方法检验 在静电放电控制产品和材料的初始选择的时候采用产品合格检验 可采用的方法为 产品规范复查 独立实验室评估或内部实验室评估 8 4 哪些物品要定期验证 ESDTR53 01 2006 静电放电保护设备和材料之达标验证 建议下 所述之静电放电防护品 材 及设备等应定期接受功能性验证检测 接地 搭接系统工作台面手腕带手腕带性能测试器防静电鞋地板材质服装座椅移动式设备 手推 包装静电消除器人员接地系统 设备定期保养 校准 9 5 ESD物品检测频 与方式 10 6 静电用品测试标准 11 7 ESDA认可的认证机构 DNVCertification Inc BSI Inc QMI ADivisionofCSAGroup NationalQualityAssurance USA NQA USA LloydsRegisterQualityAssurance Inc LRQA TUVAmerica Inc SGSSA PSBCertification BVQi NA Inc 12 二 符合性验证技术 13 1 接地 搭接系统符合性验证 目的 确保EPA工作站内所有之工作台面 固定式装置 手持式装置及人员接地装置等均应 接至共同接地点 Commonpointground CPG 共同接地点再 接至ESD接地 搭接 考点 一般ESD接地 搭接 考点应为交 电 AC 设备接地点 采用辅助接地时 应搭接至交 电 AC 设备接地 检测设备 A 直 奥姆计 可 测范围应为0 1 1M 精确 应为 10 B 交 电插座分析器 指示设备接地导线是否存在 地线与中线 火线与中性线 火线与接地线是否装置颠倒 设备接地线阻抗是否符合规范要求 C 交 电电 测试器 阻抗计 测设备接地导体自电源插座至主电源控制盘中性搭接点间之阻抗值 也具可检测接线正确性 D 条适当长 之检测 接导线 现场CPG须标识出来 最好是AC地与静电地线分开 14 万用表 直 奥姆计 电压档 量交流 直流电压值电阻档 量接地 手环阻抗插头与拉环间阻抗为1M 10 设备对CPG 1 0欧姆 与防雷地线距离20M 总接地 10欧姆 15 断路器的使用 16 交流电插座分析器 左零右火上地是否正确地 中线阻抗 交 电插座分析器 交 电电 测试器 阻抗计 1 0欧姆 17 接地点对CPG 1 0欧姆 18 钳形接地电阻测试仪 测量原理 测量回路电阻 仪表的钳口部分由电压线圈及电流线圈组成 电压线圈提供激励信号 并在被测回路上感应一个电势E 在电势E的作用下将在被测回路产生电流I 仪表对E及I进行量测 并通过欧姆定理 R E I测量范围 0 1 1000 分辨率 0 01 1 0欧姆 19 自动厂房静电接地系统监测器 可同时并实时监测 个作业员腕带和 个工作枱面的ESD接地 况有独 的安全警报声响告警装置采用电阻回 监控方式 准确而有效 连续式静电腕带及工作台监测器 配有 字显示操控面板及管 锁实时 测接地系统之AC与DC阻抗可实时监测并有声光警报 256组记忆装置 可接计算机 印监测纪 报告可侦测ESD接地和AC接地是否混接 20 2 防静电手腕带接地实时监测器符合性验证 标准没有作要求 21 3 工作台面符合性验证 目的 确保ESD防护工作台面 架子 抽屉 ESD防护储存设备是否搭接至接地 搭接 考点 电阻是否符合 1 检测设备 高阻表 MeggerMeter HighResistanceOhmmeter A 测量范围 1 103 1 999 1013 至少要10次方以上 最大可测电阻1 1016 B 圆柱电极 符合ANSI EOS ESD4 1规定 重2 27 0 06kg 半径63 5 0 25mm体积圆柱 导电接触材 硬 等级应为ShoreA 50 70 10V测试电压 测 属表面 电极间之电阻应小于1 0 103 C 直 DC 奥姆计 可 测范围应为0 1 1M 精确 应为 10 D 条适当长 之检测 接导线 22 2 检测程序 A 验证前 勿 即清洁ESD防护工作台面 B 将所有ESDS从工作台面移除 C 工作台面上导电物品及具独 接地的交 电气设备仍维持接地 D 将一条检测导线一端 接至电极 另一端 接至整合性电阻测试器 E 将另一条检测导线一端 接至整合性电阻测试器 另一端 接至接地 考点 F 将电极置于工作台面正中央 测试电压设定为10V 经一段适当之测试时间或待 值稳定 G 指示电阻小于1 0 106 则再 继续测试 地面距离100CM其它工作表面距离30CM 测试3 5次取平均 H 指示电阻等于或大于1 0 106 则将测试电压改设定100V 再 重新测试工作表面 检测应包括ESD防护工作台上 磨损处或具明显脏污处 23 工作表面点对点阻抗测试 大于1 0 x106 但应小于1 0 x109 电压小于200V 测五次取平均 24 工作表面点对点阻抗测试 大于1 0 x106 但应小于1 0 x109 电压小于200V 25 工作表面点对地阻抗测试 大于1 0 x106 但应小于1 0 x109 电压小于200V 测五次取平均 26 表面阻抗测试仪 将表放在被测表面上 按住红色的测量钮 持续发亮的发光二极管 LED 指示出测量的表面阻抗量级 测五次取平均 量程指示103 1千欧姆绿色LED104 10千欧姆绿色LED105 100千欧姆绿色LED106 1兆欧姆黄色LED107 10兆欧姆黄色LED108 100兆欧姆黄色LED109 1000兆欧姆黄色LED1010 10000兆欧姆黄色LED1011 100000兆欧姆黄色LED1012 1000000兆欧姆红色LED1012 绝缘红色LED 此表还可测量对地电阻 每十二个月需校准表面阻抗表 27 4 防静电手腕带符合性验证 检测设备 A 整合性电阻 测试器 测范围至少为1 0 1010 奥姆计 开 测试电压为DC10V与100V 10 B 手持式电极 锈钢圆柱棒 长 75mm 3inches 以上 直径25mm 1inches 钢棒一端接香蕉插头或 纹端子测试线 C 一条适当长 检测导线 3 5 107欧姆 0 8 106欧姆 1 2 106欧姆 28 5 人体综合阻抗测试 检测设备 A 整合性电阻 测试器 测范围为5 0 104 1 0 1010 奥姆计 开 测试电压为DC7 30V B 手持式电极 锈钢圆柱棒 长 75mm 3inches 以上 直径25mm 1inches 钢棒一端接香蕉插头或 纹端子导线 C 足部电极 导电 属板305mm2 12inches2 D 条适当长 之检测 接导线 3 5 107欧姆 1 0 109欧姆 29 6 静电鞋阻抗测量 1 109欧姆 100伏 3 5 107欧姆 30 7 防静电移动式设备 手推 符合性验证 1 109欧姆 31 8 防静电地板符合性验证 1 检测设备 与工作表面测量一致 A 整合性电阻 测试器 测范围至少为1 0 1010 之奥姆计 并且其开 测试电压为DC10V与100V 10 6次方以下用10V档 否则用100V档 B 圆柱电极 重2 27 0 06kg 半径63 5 0 25mm体积圆柱 导电接触材 硬 等级ShoreA 50 70 当选用10V测试电压 测 属表面时 其 电极间之电阻应小于1 0 103 C 条适当长 之检测 接导线 32 点对地测量 注意 地面距离100CM 其它30CM 测试5次取平均 1 109欧姆 33 点对点测量 注意 地面距离100CM 其它30CM 测试5次取平均4 6为导电地板 6 9为静电耗散地板 1 109欧姆 34 9 防静电服装符合性验证 1 检测设备 一般为高阻仪 A 整合性电阻 测试器 开 测试电压为DC100V 10 范围至少为1 0 1012 B 圆柱电极 重 为2 27 0 06kg 半径63 5 0 25mm体积圆柱 导电接触材 硬 等级ShoreA 50 70 C 条适当长 之检测 接导线 D 绝缘支撑板 平坦绝缘板 大小足以支撑进 ESD材 检测工作 符合ASTMD 257规定 绝缘板表面电阻应大于1 0 1013 sq 35 静电工作服表面阻抗测试 防静电装服 袖口对袖口 符合性验证 可接地 1 109欧姆 普通静电服 1 1011欧姆 系统电阻 3 5 107欧姆 新品反复摩擦20次静电电压小于100V 36 10 防静电座椅符合性验证 综合阻抗点对地 37 点对点 1 109欧姆 38 点对点测量 1 109欧姆 39 11 其它用品表面阻抗 1 109欧姆 40 12 静电消除器 离子风扇 符合性验证 检测设备 A 充电板监测器 CPM chargeplatemoniter 可携式验证工具组包括 电场计 可拆式 隔 导电 平板 平板充电器及接地线等组件 B 码表或其它适当 测放电时间之工具 C 测 尺 41 离子风机 产生原理 A 强电场的条件下空气电晕电离 产生正负离子 B A射线和 射线作用空气分子使之成为空气离子 C 高能射线 X射线 作用空气分让基电离 离子风机按形式分为 台式离子风机 卧式离子风机 悬挂式离子风机 微型离子风机输入电压 100VAC50 60Hz 120VAC 60Hz 230VAC 50Hz最大功率 25W左右离子平衡 0 25V 有的设备是本能 无需调较 消散速度 由1000V至100V小于1 5秒 最大风量 覆盖范围 30cm 150cm显示 亮 有高压电产生离子显示报警 测量仪内的感应器损坏保养三步曲清洁检测调较 STM3 1 2000 消散时间 用户自定残留电压 50伏特 42 检测程序 放电时间 衰减时间 试验 a 启动检测设备 并依照制造商建议予以设备置于稳定 态 b 将检测平板短暂性接地 并设定 或验证 为 电压值 c 请勿于 子化气 场内 将可携式验证仪器进 归 或进 充电 动作 d 将检测平板充电至超过各电极初始检测电压之适当伏特 如1200 1500V e 将检测板面向静电消除风扇的气 方向 f 放电时间 测始于检测板电压衰减至初始测试电压 如1000V 时 并停止于检测板电压衰减至最终测试电压 如100V g 针对另一电极重复上述程序 h 记 各电极放电时间 秒 残余电压 offsetvoltage 剩余 子 试验 a 启动检测设备 并依照制造商建议予以设备置于稳定 态 b 将检测平板短暂性接地 并设定 或验证 为 电压值 c 请勿于 子化气 场内 将可携式验证仪器进 归 或进 充电 动作 d 将检测板面向静电消除风扇的气 方向 e 等待使用者规范之时间 f 纪 检测板上之残余电压 offsetvoltage 或剩余 子 43 带电平板监测仪 ChargePlateMonitor 离子平衡电压 静电消散时间 人体静电压 防静电材料性能等测量 ANSIEOS ESDS3 1监测空气离子平衡监测电荷从固定电压点到需要终结点 通常为原始电量的10 的衰减速度 44 立式离子风机测量 消散时间 用户自定残留电压 50伏特 45 悬挂式离子风机测量 46 13 防静电包装材 之符合性验证 ANSI ESDS541ESDS物品之包装材 定期检测程序 建议 反正摩擦后电压少于100V 47 静电防