滚珠丝杠螺旋线误差动态测量控制系统的设计.doc

毕 业 设 计题目：滚珠丝杠螺旋线误差动态测量控制系统的设计 毕业设计（论文）原创性声明和使用授权说明原创性声明本人郑重承诺：所呈交的毕业设计（论文），是我个人在指导教师的指导下进行的研究工作及取得的成果。尽我所知，除文中特别加以标注和致谢的地方外，不包含其他人或组织已经发表或公布过的研究成果，也不包含我为获得 及其它教育机构的学位或学历而使用过的材料。对本研究提供过帮助和做出过贡献的个人或集体，均已在文中作了明确的说明并表示了谢意。作 者 签 名： 日 期： 指导教师签名： 日期： 使用授权说明本人完全了解 大学关于收集、保存、使用毕业设计（论文）的规定，即：按照学校要求提交毕业设计（论文）的印刷本和电子版本；学校有权保存毕业设计（论文）的印刷本和电子版，并提供目录检索与阅览服务；学校可以采用影印、缩印、数字化或其它复制手段保存论文；在不以赢利为目的前提下，学校可以公布论文的部分或全部内容。作者签名： 日 期： 学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。作者签名： 日期： 年 月 日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权 大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。涉密论文按学校规定处理。作者签名：日期： 年 月 日导师签名： 日期： 年 月 日注 意 事 项1.设计（论文）的内容包括：1）封面（按教务处制定的标准封面格式制作）2）原创性声明3）中文摘要（300字左右）、关键词4）外文摘要、关键词 5）目次页（附件不统一编入）6）论文主体部分：引言（或绪论）、正文、结论7）参考文献8）致谢9）附录（对论文支持必要时）2.论文字数要求：理工类设计（论文）正文字数不少于1万字（不包括图纸、程序清单等），文科类论文正文字数不少于1.2万字。3.附件包括：任务书、开题报告、外文译文、译文原文（复印件）。4.文字、图表要求：1）文字通顺，语言流畅，书写字迹工整，打印字体及大小符合要求，无错别字，不准请他人代写2）工程设计类题目的图纸，要求部分用尺规绘制，部分用计算机绘制，所有图纸应符合国家技术标准规范。图表整洁，布局合理，文字注释必须使用工程字书写，不准用徒手画3）毕业论文须用A4单面打印，论文50页以上的双面打印4）图表应绘制于无格子的页面上5）软件工程类课题应有程序清单，并提供电子文档5.装订顺序1）设计（论文）2）附件：按照任务书、开题报告、外文译文、译文原文（复印件）次序装订3）其它毕业设计任务书专业 ：机电一体化 班级 ： 机电121 姓名： XXXX 下发日期 2015-3-9 题目滚珠丝杠螺旋线误差动态测量控制系统的设计专题滚珠丝杠螺旋线设计主要内容及要求内容：滚珠丝杠螺旋线误差动态测量控制系统方案设计； 系统测量硬件电路设计； 系统测量软件设计； 实际应用。要求： （1）在教师指导下，独立完成设计任务，培养较强的创新意识和学习能力，得到基本的训练。（2）收集相关的资料和阐述设计的思维。 （3）熟悉系统整体设计，了解各部分性能。主要技术参数检测范围：0100cm；检测精度：5CM；进度及完成日期4月06日-4月19日 查阅国内外文献,上交开题报告。4月20日5月10日系统方案选择与论证,软硬件设计。5月11日5月20日主要参数计算及元器件的选择,上交中期审核表。5月22日6月02日完成毕业设计论文书的撰写,上交初稿。6月03日6月10日根据老师意见进行修改完善。6月11日6月16日论文打印,完成答辩PPT,准备答辩。系主任签字日 期教研室主任签字日 期指导教师签字日 期指 导 教 师 评 语 设计选题符合专业培养目标毕业设计，能够达到综合训练目标，题目有难度，工作量较大，选题具有一定实践指导意义。该生查阅文献能力较强，能较为全面收集关于考试系统的资料，写作过程中能综合运用考试系统知识，全面分析考试系统问题，综合运用知识能力较强。文章篇幅完全符合学院规定，内容较为完整，层次结构安排科学，语言表达流畅，格式比较符合规范要求，参考了较为丰富的文献资料，其时效性较强。 综合看来，本人认为，该设计达到了专科毕业水平，同意设计答辩。 指导教师: 年 月 日青岛理工大学毕业设计（论文）评阅意见表设计（论文）题目滚珠丝杠螺旋线误差动态测量控制系统的设计评价项目评价标准（A级）满分评 分ABCDE文献资料利用能力能独立地利用多种方式查阅中外文献；能正确翻译外文资料；能正确有效地利用各种规范、设计手册等。10109876综合运用能力研究方案设计合理；设计方法科学；技术线路先进可行；理论分析和计算正确；动手能力强；能独立完成设计（论文）；能综合运用所学知识发现和解决实际问题；研究结果客观真实。20192017181516131412设计（论文）质量设计（论文）结构严谨；逻辑性强；语言文字表准确流畅；格式、图、表规范；有一定的学术水平或实际价值4037-4032-3628-3125-2724创新能力有较强的创新意识；所做工作有较大突破；设计（论文）有独到见解151513-1411-12109工作量工作量饱满；圆满完成了任务书所规定的各项任务。151513-1411-12109总分是否同意将该设计（论文）提交答辩：是（ ） 否（ )具体评阅及修改意见： 评阅人： 年 月 日注：1.请按照A级标准，评出设计（论文）各项目的具体得分，并填写在相应项目的评分栏中； 2.计算出总分。若总分60分，“设计（论文）质量”24分，建议不能提交论文评阅乃至答辩。该设计（论文）须限期修改合格后重新申请答辩。 3.评阅意见栏不够可另附页。答 辩 委 员 会 评 语评定成绩周 记说明书(或论文)图 纸答 辩总 评答辩委员会主席签字日 期（5%）（65%）（30%）百分制等级制摘 要 精密滚珠丝杠副是数控机床的关键功能部件，其螺旋线精度对数控机床的定位精度有较大影响本课题结合工程项目“滚珠丝杠动态测量仪技术改造对原有测量仪器的测量系统行了技术改造，提高了仪器的测量精度，测量过程更加智能化。 滚珠丝杠是将角位移转化为线位移，或将线位移转化为角位移的理想产品，可以使传动和定位在同一零件上得到实现。另外，滚珠丝杠不但能够作为定位，传动零件，还可以起到定位的作用。由于使用滚珠作为其传递运动的媒介，使得滑动运动变为滚动运动，从而大大的减少了摩擦作用，提高的传动的效率。滚珠丝杠有效率高、精度高、微给进、使用寿命长等特点，因此，它成为了工具机械和精密机械上最常使用的传动元件。在现代数控机床中，滚珠丝杠起了极其重要的作用。它作为数控机床运动系统中的传动，定位部件，其精度的高低往往直接决定着数控机床的加工精度。由于制造工艺和制造手段的限制，滚珠丝杠制造精度的提高已经变得十分困难，所以，高精度的滚珠丝杠检测手段就成为了补偿数控机床加工误差，提高机床加工精度的重要方式。另外，出于满足滚珠丝杠制造商对其出厂产品质量检验的需要，设计一种高性能的丝杠检验设备也是十分必要的。我国对滚珠丝杠的检测长期使用静态法，效率低下，且容易人为的引入误差。而现今国内使用的动态丝杠测量仪多采用单频、双频激光作为长度基准，圆光栅作为角度基准，共同作用来测量滚珠丝杠的行程误差。但其缺点是成本较高，只能对滚珠丝杠的一条母线进行测量，而不能对丝杠径向上的多条母线进行综合的评定。关键词： 滚珠丝杠，螺旋误差，数据采集，误差分析，多母线测量数控ABSTRACTBall screw shaft is a ideal product to turn angle displacement to line displacement, or line displacement to angle. It can implement both driving and locating at the same time. Besides driving and locating, it can be a measuring piece.Because of the use of ball as the media, it reduces the function of friction significantly, and improves the efficiency. Ball screw shaft has the virtue of high efficiency and precision, micro-diving, long life-span etc, therefore it becomes the most popular driving piece in tool-machine and precision-machine.In modern NC machine tool, ball screw shaft plays a very important role. As the driving and locating piece of the mobile system in NC machine tool, the pricison of ball screw shaft always affects the precision of machine tool. Because of the limit of manufacturing process and method, it is very difficult to improve the precision of the ball screw shaft. The measurement of ball screw shaft with high precision is the important approach to optimize the parameter of manufacture and improve the precision of NC machine tool。Key word：ball screw，spiral error，data collection，error analysis，multi bus measure numerical control目 录摘 要IABSTRACTII前 言1第1章 系统方案分析21.1滚珠丝杠测量仪的设计规则21.2现有的滚珠丝杠副测量方法分析31.3系统方案的提出101.3.1问题的提出101.3.2问题的分析与解决111.3.3系统方案的分析11第2章 系统测量元件与运动元件的选择162.1系统测量元件的选择162.1.1轴向位移传感器的选择162.1.2纵向位移传感器的选择182.2系统运动部件的选择21第3章 滚珠丝杠测量系统的硬件电路设计223.1步进电机的控制223.2步进电机的驱动233.3系统测量头自锁问题的解决243.4测量系统的抗干扰253.4.1干扰的来源253.4.2抗干扰措施26第4章 滚珠丝杠测量系统的软件设计274.1测量仪的程序模块274.2测量仪的软件设计284.3测量程序部分31结 论33致 谢34参考文献35附录一37附录二41前 言滚珠丝杠作为机床主要的传动、定位装置，其制造精度决定了机床加工的精度，所以，要提高机床的加工精度，一种办法是要提高滚珠丝杠的制造精度，另一种办法就是要准确的测量出滚珠丝杠各种指标的误差，为机床加工误差的补偿提供可靠的信息，从而达到提高机床加工参数的目的。以现今的制造工艺和制造水平，滚珠丝杠的加工制造精度已经相当高，因此想要继续提高其制造精度就变的极其困难。所以，要提高数控机床的加工精度，最适合的办法就是在补偿机床加工误差上想办法，准确的滚珠丝杠测量方法能够为使用被测滚珠丝杠的数控机床的误差补偿提供可靠而实用的信息，使机床能够在加工过程中根据测量出的滚珠丝杠的误差量进行相应的误差补偿，从而，在不必提高丝杠的精度的情况下，使数控机床的加工精度大大改善1。另外，制造商在制造滚珠丝杠的过程中，由于制造工艺和制造手段的限制，生产出来的产品不一定都能够满足相关标准的要求，而要将不合乎标准的产品从众多的合格产品中挑选出来，高效率、高精度的测量设备就成为了重要的挑选手段。因此，一台好的滚珠丝杠测量设备不但能够检验滚珠丝杠是否合格，而且能够为后续的数控机床的误差补偿提供数据资料。这便是一台好的滚珠丝杠测量仪的意义所在。第1章 系统方案分析1.1滚珠丝杠测量仪的设计规则丝杠动态测量仪是典型的精密检测仪器，它的设计必须遵循精密测量仪器设计的原则。仪器设计时应遵循减少仪器误差或测量误差的原则。(1)阿贝原则阿贝原则即被测工件与标准尺必须处在测量方向的同一直线上。采用阿贝原则能避免一次误差，得到较高的测量精度。(2)最小变形原则仪器部件及零件的变形是仪器误差的主要来源之一，仪器设计时应保证变形最小。仪器的变形受温度和力的影响。设计中假定测量仪工作的标准温度为20，工作中的温度如果不是标准温度，则会产生测量误差，因此必须进行温度补偿。丝杠测量仪作为一种精密测量仪器，对温度变化有着极高的要求；另外，在高精度测量时，还应考虑到测量力促使测头和被测之间产生的挤压变形和测头自身的变形直接导致的测量误差。(3)最短测量链原则从被测尺寸到仪器最终显示的传动链，属于直接传递被测尺寸变化的环节，称为广义测量链，它包括测量部分和放大指示两部分。其误差直接影响仪器的测量误差。为了提高精度降低成本，在仪器设计时应尽可能使测量链最短，即测量链最短原则。当各环节制造误差相等时，最靠近被测尺寸的环节，其误差对仪器示值的影响最大。因此，为了获得高精度仪器，必须对靠近被测尺寸的环节提出较高的精度要求，缩小其制造公差，对非测量链环节不提出过高的要求。(4)基面统一原则基面选择不当便会产生测量误差。基面统一原则要求被测件的各种基面包第一章绪论括设计基面、工艺基面、装配基面和测量基面都应该是统一基面，这样就不会因定位误差而引起测量误差。1.2现有的滚珠丝杠副测量方法分析常规的丝杠检测仪使用的方法有动态法和静态法。（1）静态法该方法属于间断测量，对丝杠上的某一条或者数条母线进行测量，对应的整条母线的螺旋线误差值就作为整根丝杠的最终测量结果。由于测量方式比较简单，测量的数据量比较少，所以可以用万能工具显微镜等工具进行测量。对于长丝杠的测量，采用分段测量法（例如每隔200mm测量一次），测量完一段并对下一段进行测量时，将前段的末尾几个螺牙作为下一段的开头进行重复测量，避免粗大误差。根据被测丝杠的精度要求，静态测量可以选用以下几种测量方法。a.影像法在万能工具显微镜上，首先调整好仪器的焦距，根据中径和牙型半角选择适当的光圈，并按螺纹升角和螺旋方向将立柱倾斜一个角度，使主显微镜的主光轴与中径上的螺旋线方向一致，然后移动仪器的滑板，使被测工件牙型进入目镜视场内，即可开始对螺纹各项参数进行测量。如图2-1所示。图1.1影像测量法测螺距或螺距累积误差时，将目镜米字刻线在图示位置与螺纹牙型轮廓影象重合，此时从纵向读数显微镜里读一数据，保持横向滑板固定不动，然后移动纵向滑板（相当几个螺距的距离），使牙测轮廓与米字刻线在位置重合，读出同名牙型的纵向坐标值。两次读数之差就是n个螺距的实际值P，n个螺距累积误差为： P =|P - nP| (2-1)为了消除安装误差的影响，应分别测出左右n个螺距值：P左，P右并取两者的平均值作为测量结果： (2-2)b.轴切法在万能工具显微镜上测量螺距时，利用测量刀紧靠在螺纹牙型面上，按测量刀上的细刻线进行瞄准。瞄准时，使目镜中的米字刻线的0.3mm或0.9mm距离刻线与测量刀上的细线重合，如图2-2所示。这种方法的压线误差较小，因此测量精度比影像法高。轴切法的测量步骤与影像法基本相同，这里不在叙述。图1.2轴切法测量除了以上两种方法外，还有许多其他的静态测量方法，如印模法，专用测量机上测量。（2）动态法丝杠动态测量基本工作原理。理论上，丝杠的螺旋线可以用下列关系式表示: (2-3)其中，为丝杠与螺母之间的相对转角，S为与相对应的理论轴向位移，P为丝杠的螺距，z为螺旋线头数。对于理想的丝杠,转角和位移始终保持式(2-1)的关系。为了叙述方便，只讨论单头丝杠，即z=1，如果用一个角坐标反映丝杠的转角，即可得出对应的理论轴向位移S为： (2-4)根据误差定义： (2-5)其中:S为对应的实测轴向位移10。根据以上理论，一般的测量方法为：采用丝杠的实际螺旋线与标准螺旋线相比较的方法来求得被测丝杠的螺旋线误差。图2-3给出了测量丝杠螺旋线误差的方法示意图9。图1.3丝杠螺旋线误差图根据这个原理，可以由下式求得螺旋线误差： (2-7)其中：Z测量头沿丝杠轴线方向的行程；T被测丝杠的导程；被测丝杠转过的角度。丝杠动态测量方法：传统动态测量的方法从误差信号采集的角度可分为如下几种15：a.与标准丝杠连续比对测量与标准丝杠连续比对测量丝杠的仪器通常称为丝杠导程仪，是测量丝杠螺旋线误差的专用仪器。这类仪器通过机械方式指示被测丝杠相对于标准丝杠的误差，虽结构简单操作方便，但测量精度受标准丝杠精度的限制，且被测丝杠与标准丝杠螺距必须相同，只适用于精度要求不高，单一品种大批量生产的测量。b.比相法图1.4 相比法测量原理示意图位差对应于初始相位差的误差反映了被测丝杠的导程误差。传统的比相方法采用分立丝杠动态测量中运用较多的是比相法。基本原理见图2-4。丝杠的作用是将角位移转化为轴向直线位移，因此对丝杠的测量都是基于圆分度的长度测量。测量丝杠角度位移的基准件有圆光栅、圆磁栅等，测量轴向长度位移的基准件有磁栅尺、光栅尺、激光光波波长等。比相法测量时将丝杠转动的圆周基准信号和轴向直线位移基准信号分别进行不同的分频，使两路信号在系统匀速运行和丝杠误差为零的条件下成为同频率信号，将分频后的两路信号的时间间隔作为采样周期，两信号相位差应保持不变，实际相元件比相器进行模拟式比相，存在可靠性差、分辨率受到限制、信号难以保持的缺点。计算机的应用使数字比相代替模拟比相，取消了分频器、比相器、积分器、采样及保持电路，实现了大量程、高分辨率的测量，并得到高精度的结果。c.记数法图1.5记数法测量示意图记数法测量原理如图2-5。角位移信号每转一周产生N个角脉冲信号，开始测量时轴向位移信号与角位移脉冲同时到达，当丝杠转过M个角脉冲信号后，即转过M/N转，测量头位移为m.Ph /N(Ph为导程)，若轴向位移信号脉冲波长为，位移信号脉冲应有l=m .Ph /N/个，由于导程误差的存在，测量头实际位移的与理论位移不一致，轴向位移实际脉冲个数为l1，则误差为e =( l1-l)。这样以圆周为角度基准信号，测头轴向位移信号为输入，即可测量出丝杠导程误差5。我国自从50年代开始生产滚珠丝杠以来，不但致力于滚珠丝杠制造工艺和制造技术的不断提高，而且还在滚珠丝杠检测技术方面做了巨大的努力。在很长的一段时间里，我国使用的丝杠检测方法只有静态法，由于这种检测方法的第二章系统方案分析落后，我国的滚珠丝杠制造工业受到了严重的制约。70年代以来，很多工厂，学校和研究机构纷纷加入到滚珠丝杠测量仪的研究与制造中来。逐渐实现了从单纯的静态法测量，过度到科技含量高的动态法测量中来。两种方法的对比如表2-1所示。表1-1丝杠测量动态法与静态法比较项目静态测量法动态测量法测量精度测量结果和丝杠的实际精度不完全符合:只能测量一、二个轴向截面内的螺距误差；避免测量时间长会导致人的疲劳以及环境的变化等对测量结果产生的影响，长丝杠须采用跨牙测量。而英制螺纹尺是半英寸一条刻线，只能每半英寸或一英寸测量一个数据。因此可能漏掉误差较大的测量点；测量单圈螺旋线误差时，需将圆周有限等份，等份越少误差越大，等份圆周划分相位时将产生随即误差。测量结果和实际精度一致，提高了测量精度:可以连续测量，确定任意轴向截面的螺距误差；由测量人员的对线读书变为自动记录，避免了人为的随即误差。通过基准件参数的合理选择，对各种螺纹的丝杠都可以由逐牙或跨牙测量变为连续自动测量，不会漏掉测量点，测得的丝杠误差符合实际；测量螺旋线误差时，由等分圆周对少数点的测量变为连续测量，避免了分点过少及划分相位时带来的随机误差。测量效率（1)每测量一个数据都要读数显微镜对线一次或几次，因此测量n场)低。由于测量效率低，环境温度波动的影响较大，尤其在测量长丝杠时，容易产生误差；(2)加工丝杠时，机床的加工和调整时间长，机床生产效率低；(3)生产加工机床时，试磨样件的刀具多，装配和调整的周期长，不利于机床产量和质量的提高；(4)劳动强度大，长时间测读易疲劳，从而增大对线误差。(1)由逐点M量改为连续M量，效率提高7-9倍；(2)缩短了丝杠加工机床的调整和加工时间，提高了机床的生产效率；(3)生产加工机床时，减少了试磨样件的刀具数，缩短了机床装配和调整的时间，促进了机床产量和质量的提高；(4)减少了测量人员，降低了劳动强度，实现了测量过程的自动化。由于效率提高，减少了环境A度波动的影响，有利于提高测量精度。测量设备静态测量设备多用万能性的设备，维护方便。动态测量设备为复杂的专用设备，价格昂贵，电子设备的维护也比较麻烦。适用范围适用于单件小批量生产及测量精度不太高的丝杠。适用于成批生产及精度要求较高的丝杠。由以上对比可以看出，动态测量较之传统的静态测量具有测量精度高、重复性好、效率高、检测人员劳动强度低13，因此，在一些大批量、规模化丝杠系列的生产与安装调试场合，动态测量已基本取代了静态测量，成为丝杠检测的主要手段。传统的动态测量方法是由专门制造的动态测量仪来完成的。这一时期的动态测量仪由于受技术条件的限制，尤其是电子技术发展的制约，其关键部件大都由分立元件构成，因而功能单一，自动化程度较低，仪器故障率也较高。虽然其后的有些产品采用了厚膜电路和小规模集成电路构成的相位计，使仪器的性能指标有所改进，但从宏观上看仍没有走出早期测量仪工作的模式。随着电子技术，特别是计算机技术的发展，使制造出新一代的丝杠动态测量仪在技术上成为了可能。动态测量仪虽然在测量原理方面没有新的突破，但在技术实施方案上有了重大的发展。这一时期的动态测量仪圆周方向上基本都采用高精度圆光栅作为基准，长度方向有些采用高精度光栅(或磁栅)尺，有些则采用单频激光或双频激光作为基准，而传统的相位计大都由单片机(或工业控制机)取代16。目前开发应用的丝杠动态测量仪，不论是在测量精度还是在自动化程度或者仪器的无故障率方面，都比早期的测量仪有了很大的提高。激光技术和计算机技术的应用，使动态测量技术进一步提高。在技术方法上，由于采用了计算机技术，因而突破了传统的模拟比相方法。而采用数字比相技术，这使仪器的测量精度和抗干扰性能有了进一步的提高。有些仪器己经采用显示器来显示测量的误差曲线，并同时可由记录仪来画出误差曲线16。随着现代测试技术的快速发展，光电技术、数字化技术、微处理技术、图象显示技术、自动化技术得到了广泛的应用，智能化技术、柔性测试、计算机辅助测试等也得到广泛的发展及应用，丝杠动态测量仪的研究开发也向高精度、快速化、智能化、模块化的方向发展17。1.3系统方案的提出1.3.1问题的提出在绪论中已经叙述过，滚珠丝杠的测量可以由静态法或者动态法进行测量，两种方法的优劣性也在上文中做了比较。静态法测量一条或多条母线的螺旋线误差，采用这种方法可以达到一定的精度，但测量效率过低，不能发现周期性的误差；动态测量方法是利用螺旋线的运动规律来实现测量的，由传动装置带动被测丝杠转动，并用适当的方式对螺旋线的误差进行测量，这种方式可以得到较好的精度，而且测量效率也得到了较大的提高，但由于测量方法的要求，动态测量仪要有检测螺杆旋转角度的传感器（一般使用圆光栅），还需要有检测螺旋线轴向变化的测量设备（一般采用长光栅尺或者双频激光干涉仪），这样的系统通常有个问题：无论是采用长光栅或是激光双频干涉仪作为轴向位移的测量设备，其局限性是显而易见的：他们都只能测量滚珠丝杠副上一条母线的轴向误差，若想测量多条母线的轴向行程误差则需要进行多次的测量，这样就无形中降低了测量设备的测量效率，不利于对同一滚珠丝杠副的多条母线螺距误差的测量。1.3.2问题的分析与解决上面已经说到了现在使用比较广泛的滚珠丝杠动态测量仪所面临的问题。下面，就将根据所提出的问题进行系统的分析。从绪论里我们可以看到，静态法虽然效率低，但它有一个明显的优点：就是能测量多条母线的螺旋线行程误差，这是滚珠丝杠动态测量仪所不具备的。滚珠动态测量仪是通过被测丝杠的转动来带动与丝杠点接触且连接到光栅尺上的测量头，从而测量出测量头的轴向位移，然后由圆光栅上得到的转动角度，根据式（2-2）得出标准的轴向位移，从而得到螺旋线行程误差。使用激光干涉仪进行轴向位移测量的动态测量仪，是利用双频激光，利用其频率之差，采集记录激光干涉测量的脉冲数，就可以实现长度的测量。激光双频干涉仪同光栅尺测量一样，也是对单一的母线进行测量，不能实现对多条母线的测量。现在应该做的，就是由静态测量法的启发，进而得到一个能够对丝杠牙型上任意的一条母线进行测量的方法。在绪论中的静态法描述中，我们注意到影象测量法是对同一母线上同侧牙型的两个点进行测量，得到n个螺距的测量值。我们也可以想一种方式，对牙型上的点进行测量，然后对同一母线上的同侧点进行距离测量，既而得到n个螺距的测量值。与静态法不同的是，我们要利用电子计算机技术，对牙型上的点进行测量，并加以数据处理与数据输出，实现测量的自动化。1.3.3系统方案的分析1系统测量方案分析基于以上的叙述，我们初步确定以下的测量方案。对滚珠丝杠的轴向截面的轮廓进行测量，我们知道，对于点的位置的确定，在三维坐标内，应该有x、y、z三个坐标值，对于二维坐标，则需要有x、y两个坐标值。对于本课题的项目，我们需要测量的点都在滚珠丝杠的轴向截面之内，也就是说，所有的测量点都在一个平面之内，所以我们就可以建立一个虚拟的二维坐标系，在此二维坐标系平面内对牙型轮廓进行逐点的测量，通过使用适当的位移传感器得到每个点在这个虚拟的空间坐标系内的坐标值。又由于所测量的点都是是在轴向截面的二维平面内，所以我们只需要两个位移传感器，一个用来测量轴向的位移x，另一个测量纵向的位移y。2系统机械结构方案分析（1）系统中应有提供被测丝杠与传感器运动的装置，且此装置的设计能够利于控制被测丝杠与传感器相对运动的距离。这样做，一方面可以方便工作论文人员的测量，一般对滚珠丝杠的测量，我们都是要对丝杠的某一段长度进行测量（如任意100mm行程内的行程变动量，任意250mm行程内的行程变动量等等），若我们采用能够根据已知的测量长度进行控制的运动系统，就可以避免工作人员对测量距离的目测，从而减轻工作人员的劳动强度。另一方面，可以准确的把握已测量的距离，避免少测量或多测量一段距离，造成测量的失效或冗余数据的产生。例如，我们要测量滚珠丝杠100mm行程内的行程变动量。若只测量了90mm的行程运动系统便停止工作，势必引起测量数据的不足，造成本次测量的失败。如果测量了150mm的行程，便会产生多余的测量数据，不但加大了系统的数据处理量，而且也增加了测量过程的时间，不利于测量效率的提高。（2） 系统应尽量满足阿贝原则。在绪论中我们已经提出过阿贝原则，即测工件与标准尺必须处在测量方向的同一直线上。采用阿贝原则能避免一次误差，得到较高的测量精度。如果系统的设计不能完全满足阿贝原则的要求，为了减小阿贝误差，我们可以对阿贝原则进行扩展，即在测量过程中，使测量线和基准线尽量靠近，并保证没有角运动，即保证两条线平行11。这样，我们就应该在设计系统结构的时候使其尽量满足阿贝原则。根据以上分析，我们确定以下的机械结构方案，如图2-6图1.6系统机械结构简图在此系统中，伺服电机用来控制传动丝杠的旋转，从而控制移动机架带着被测丝杠移动，移动机架下固定着横向位移传感器的移动端，当固定机架移动时，横向位移传感器也随之移动，测量出被测丝杠的轴向位移。另外，在被测丝杠的正上方（在丝杠的轴向横截面内），相对机架固定不动的位置安装一个纵向位移传感器，可以测量丝杠牙型轮廓纵向的坐标。由于可能产生测量头的自锁问题，具体的纵向位移传感器机构将在本文后面的叙述中给出。夹具采用两块V型铁，用上下两块钢板并配以m10的螺栓加以固定，这样的夹具可以做到对滚珠丝杠的夹持固定，有较好的定位效果。夹具示意图如图2-7。图1.7夹具示意图3系统电路方案分析机械结构确定以后，我们就要来设计系统的电路方案。本课题所涉及的系统电路应有以下几个模块：传感器数据采集及处理模块；运动装置控制模块；计算机接口模块。根据以上的分析，我们确定以下的系统电路框图，如图2-8。图1.8系统电路框图（1）传感器数据采集及处理模块传感器是测量系统中重要的组成部分，是进行测量的直接的功能元件，在本设计中，传感器依然起着决定性的作用。前面已经提到，在本课题的设计中，我们需要测量的主要有两个参数，滚珠丝杠轴向截面轮廓上点的横、纵坐标。这样，我们就需要两个位移传感器，用来测量所需要的参数。另外，由于不同的传感器输出信号的种类不同，受到的干扰也不同，这就需要有适合的信号处理电路，以便滤去夹杂在信号中的干扰，并将有用信号提取出来提供给其他装置进行后续的处理。具体的传感器的选择和信号处理电路的设计我们将在后面给出。（2）运动装置控制模块前面我们已经说到，为了减少工作人员工作量和提高测量的效率，测量系统应能够根据已经测量的丝杠长度来控制部件运动。在测量系统中，我们将用步进电机控制传动丝杠，进而使固定在移动机架上的被测丝杠沿其轴向方向运动，实现轮廓点的测量。我们可以通过控制步进电机的转数，来控制传动丝杠的转数，从而得到我们所需要的被测丝杠的测量长度。（3）计算机接口模块传感器信号经过采集处理之后，要传入计算机进行数据的分析，处理，计算，以得到最后的测量结果；当被测丝杠的测量长度达到要求时，计算机要输出一个信号，停止伺服电机的转动。这都需要一个接口模块来连接传感器处理电路和伺服电机控制电路。4测量系统的抗干扰方案任何电子电气设备都会受到各种各样的外界干扰，如雷击，电网干扰，电磁干扰等。这些干扰有些是能够对仪器造成巨大损坏的，如雷击，有些则会减少仪器的使用寿命，如电网的干扰，有些则会对仪器的可靠性，精度等使用性能产生不良的影响。在现代的电子电气仪器设计中，抗干扰设计成为了极为重要的一环，抗干扰设计的优劣直接影响到电子电气仪器的安全性，使用寿命，使用性能等众多方面的能力。在本课题中设计的丝杠测量仪同样也使用了电子器件，另外，由于本课题设计的丝杠测量仪可能会使用在干扰源更多更复杂的工厂中，因此抗干扰方案同样是不可或缺的。5算法方案从传感器来的数据仅仅是单个轮廓点相对于设定的虚拟坐标系的坐标值，仅仅凭借这些坐标值是不能够得到不同母线上的螺距误差的，这里，我们可以采用些图象处理的思想，将离散的单一的轮廓点用数值计算的方法，拟合出轮廓曲线，形成分段的函数方程，这样就可以求解出实际中的滚珠丝杠n个螺距值。再根据测量长度中包含的螺距的数量，得到标准丝杠的螺距值，两值相减就可以得到n个螺距的误差。另外，由于安装或制造可能产生误差，在设计中也要进行软、硬件的误差补偿。第2章 系统测量元件与运动元件的选择2.1系统测量元件的选择测控系统是一台测控仪器的核心，其中，测量元件又起着不可或缺的作用，正是各种测量传感器的存在，才使得被测量（如位移，压力，扭矩等）转化为我们能够采集和处理的电信号，因此传感技术，通讯技术和计算机技术被称为现代信息技术的三大基础，分别构成信息技术系统的“感官”、“神经”和“大脑”。2.1.1轴向位移传感器的选择轴向位移传感器在本系统中是用来测量被测滚珠丝杠沿其轴向方向移动的位移，作为被测量点在虚拟的二维坐标系里的x轴坐标值。此测量值经过处理采集之后，用于在计算机内进行后续的数据计算，曲线拟合，计算结果与分析。在本课题中，需要测量的轴向位移范围根据使用情况的不同可以从十几个毫米到300毫米，因此位移传感器的测量范围要满足此要求。这里，我们要使用的是直线位移传感器，常用的直线位移传感器有：光栅，磁栅，容栅，球栅传感器和感应同步器，进十年来，随着光电子技术逐渐成为高科技产业的主导技术，各种光电子、光学相关的产品和技术如雨后春笋般不断涌现，这就直接的成就了了光栅的迅速发展，使时光栅技术逐渐成为了位移测量（包括直线位移测量和角位移测量）主要技术。随着数控技术和信息技术的发展，光栅传感器也向高精度、高速度、智能化和集成化方向发展，并且特别注重产品的高质量、实用性和经济性。2001年以来，当今世界生产光第三章系统测量元件与运动元件的选择及其电路设计栅传感器的主要厂家FAGOR，三丰（MITUTOYO）、双叶（UFTABA）逐渐走向一致的规范。现在生产磁栅的SONY、球栅的NEWALL也将应用参数向光栅靠拢。本测量系统采用中科院长春光学精密机械研究所研制的光栅传感器。利用光栅传感器将位移量转换成电信号并由数显表内可逆计数器产生的BCD码，可通过LED数码管显示移动机架的位移量，通过I/O卡可将可逆计数器上的BCD码读入计算机，经过转换后送入数据处理程序子模块。从精度、分辨率、经济性、可靠性等方面考虑，我们决定采用光栅传感器，它是以高精度光栅作为检测元件的精密测量装置，优点是测量值数字化显示、精度高、稳定可靠和抗干扰强。并可与北京中科恒业中自技术有限公司研制开发的GS8220系列数显表（新型）双坐标光栅数显表配套使用，组成高精度数字化测量仪器。1光栅传感器主要技术参数如下：量程：500mm；栅距：0.02mm(50线对/毫米)；精度：0.004mm/1000mm；相应速度：25米/分；工作温度：0o C40oC；输出信号：相位依次相差90o幅值大于500mv的二路或四路正弦信号；参考标记：间隔50毫米；全量程位置任意一点；设绝对位置参考点（ABS）。2光栅数显表由于光栅传感器输出的是四路正弦信号，而且栅距为0.02，而量仪的分辨率为0.002，所以必须对光栅传感器信号进行细分、整形、辨向等处理。本论文中采用的是北京中科恒业中自技术有限公司生产的GS8220系列数显表。它全部由硬件组成，信息处理速度快，允许输入正弦频率到50KHz，可直接配接具有正弦波或TTL方波输出的光栅尺，数显表的长度分辨率（步距）取决于其倍频数和光栅的栅距。表2-1正弦波输入信号的传感器引脚插头号123456789功能0180+5V0V90270ABS空屏蔽接具有正弦波或TTL方波输出的光栅尺，数显表的长度分辨率（步距）取决于其倍频数和光栅的栅距为： (2-1)它把光栅传感器输入的的相位依次差90o的正弦信号，通过放大、整形、鉴向后，由可逆计数器产生BCD码，并用LED数码管显示相对位移量，与传感器的连接和信号采用九芯插座连接，见表3-1所示。通过此数显表的连接，一方面我们可以直接从数显表的LED数码显示管处直接读得相对的位移量，另一方面，其内部的细分、整形、辨向处理功能节省了设计制作数据采集处理电路的工作，由于是专业化的设计和生产，所以其抗干扰能力和数据处理能力比较强。2.1.2纵向位移传感器的选择本课题中，纵向位移传感器用来测量轮廓点的纵向相对坐标，以进行后续的数据处理。要求传感器有足够的测量范围和精度，抗干扰能力强，数据采集方便，数据处理电路简单。电感传感器是一种建立在电磁感应基础上，利用线圈的自感或互感的变化原理来实现非电量电测量的传感器。传感器测头检测到被测物体的位移，通过测杆带动衔铁产生移动，从而使线圈的电感或互感系数产生变化，自感或互感信号在通过引线接入测量电路进行测量。电感传感器本身是互感系数可变的变压器，当一次测线圈接入激励电源以后，二次线圈就将感应产生的电压输出。互感变化时，输出电压将做相应的变化，这就是电感位移传感器的基本原理。该位移传感器采用中国水利水电科学研究院开发的高精度传感器，位移测量范围2mm，线性度小于0.05%，测量精度0.1m，额定信号输出5V，工作电源9V。外型尺寸9015，该位移传感器输出信号纹波干扰很低，并备有15位BCD8421串行数字数显装置，但由于我们选用486机型作为控制机，如再选用数显装置既不经济，又增加了处理环节，所以我们改用TLC7135双重积分型A/D板把模拟信号转化为数字信号直接供计算机处理。被测工件可能存在表面质量问题，所获得的采样值可能发生突变，影响数据处理的准确率，本文采用中值滤波技术以克服这些尖点的突变影响，中值滤波对于缓慢变化的信号中由于偶然因素引起的脉冲干扰具有良好的抑制作用。电感位移传感器使用TLC7135型A/D转换板，TLC7135有BCD和STB选通信号输出，与单片机接口十分方便，而利用TLC7135的“Busy”端，只要两个I/O接口和单片机内部一个定时器就可把TLC7135的数据送入单片机。TLC7135的转换周期分为三个阶段：1自动调零阶段；2被测电压积分阶段；3对基准电压进行反积分阶段。以输入电压Vx为例，TLC7135的“Busy”输出端高电平宽度等于积分和反积分时间之和，TLC内部规定积分时间固定为10000个时钟脉冲时间，反积分时间长度与被测电压的大小成比例。利用单片机内部的计数器对TLC7135的时钟脉冲计数，利用“Busy”作为计数器门控制信号，计数器以方式“1”工作，定时器控制位置为“1”，这时计数器只能在“Busy”为高电平时计数，将这段“Busy”高电平时间内计数器数值减去10000，其余数便是等于被测电压的数值，POL端口是输入电压极性位，“1”为正电压，“0”为负电压。论文转换电压公式为： （2-2）在A/D卡主电路图中，单片机的时钟采用11.0592MHz的晶体。在不执行MOVX指令的情况下，ALE输出的频率稳定在1.8432MHz，经过4位计数器74LS161四分频可得到460.8kHz的稳定频率，供给TLC7135的示众输入端，使TLC7135的转换速率为每秒11.52次。选用这一转换频率，一方面照顾TLC7135的转换精度，另一方面为了尽量少的占用AT89C52的资源。图中单片机的P10口用于启动A/D芯片的采样，P16则用于接收A/D芯片采样电压的极性。在本课题中，电感位移传感器是要测量丝杠牙型轮廓，故电感传感器的测量头必须能够充分的接触丝杠牙型的各个点，另外，由于是接触式的测量，