JMP的使用ppt课件

JMP的使用电池张晓辉2009 12 07 1 一 JMPDOE的设计 二 JMP数据分析 三 JMPDOE的分析 2 JMPDOE的设计 根据影响OTBPECVD工艺因素较多的情况 分三部分设计实验 DOE1 ScreeningDoE 目的 找到影响效率最重要的因素 选择6个影响因素 包括 PHTTOP DCHTOP sourcecurrent gasratio totalflow pumpfrequencyDOE2 surfaceDOE 找到影响大的3个因素 设计实验3因素中最佳的工艺参数设置 其中3个因素包括 PHTbottom DCHTOP Gasratio 验证实验 根据前两次结果 验证最佳工艺的稳定性 3 ScreeningdesignDOE 按图示进入screenDOE设计界面 选择PHTTOP DCHTOP sourcecurrent gasratio totalflow pumpfrequency这6因素 每个因素选择1 2 3 个水平 例如上图每个因素选择2个水平 进行试验设计 4 ScreeningdesignDOE 选择实验方案类型 工艺分组的数量 排列顺序 因素之间交叉实验类型 5 ScreeningdesignDOE 方案的得出包括工艺的顺序 参数的搭配等 一目了然 6 SurfaceDOE2的设计 选择surfacedesign 进入右面界面添加所要实验因素并将其名称填写清楚 每个因素的上下线填写到表格 JMP就可以在这个范围内自动取值设计实验 7 SurfaceDOE2的设计 选择设计实验的类型 工艺数量 中心的的数量 对称类型 右图显示可以选择列表工艺方案显示顺序 如图显示随机 则每次列表排列顺序都有可能不一样 8 SurfaceDOE2的设计 工艺方案JMP自动取值列表如图所示 9 JMP数据的分析 各个工艺间结果趋势的显示 将原始数据复制 按图所示粘贴 则数据显示在JMPdatatable 按右图所示点击variability Gaugechart 10 JMP数据的分析 将要显示的数据入VOC ISC NCELL等添加到Y表格 将组别 分类项目添加到Xgrouping里面 然后点击OK 11 JMP数据的分析 12 JMP数据的分析 变化趋势图Runchart的制作 如图选择 进入右面界面 选择要显示的参数例如VOC ISC等 然后将样本标号选入SampleLabel 点击OK 13 JMP数据的分析 选择想要的图片 进行复制 粘贴 以便查看结果进行分析 14 JMP数据的分析 数据的分布 查看数据是否符合正态分布 并且可以显示各数据所到的百分比 15 JMPDOE的实验分析 数据准备 先将原始数据进行处理 去掉异常后 利用数据透视表将各组对应的参数平均值与DOE设计的方案 相对应 然后粘贴到JMPdatatable里面 16 JMPDOE的实验分析 JMP实验分析 制作模型可以得出实验的可靠性 真实性 同时 得出各个因素对结果的影响程度 及预计的变化趋势 如右图 选择效率NCELL作为Y值分析 影响因素选择前面DOE2设计时的3因素PHTbottom DCHTOP gasratio 考虑到这些因素之间如何相互作用 在Macros选择相应的作用模式 进行数据处理 点击Runmobel得出相应的模型 17 JMP数据的分析 当Rsq 0 8 说明变化因素与结果之间建立的模型符合实际情况 如图Rsq 0 87说明模型很成功 有一定的参考性 如右图显