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文档简介
微波集成电路,电子信息工程2010051796田蕊,目录,简介发展SOC的前景SOC的挑战,简介,微波集成电路是工作在微波波段和毫米波波段，由微波无源元件、有源器件、传输线和互连线集成在一个基片上，具有某种功能的电路。,发展,40年代60年代70-90年代21世纪,第一代微波电路,微波电路开始于40年代应用的立体微波电路，它是由波导传输线、波导元件、谐振腔和微波电子管组成的。,第二代微波电路,60年代初，出现了平面微波电路，它是由微带元件、集总元件、微波固态器件等无源微波器件和有源微波元件利用扩散、外延、沉积、蚀刻等制造技术，制作在一块半导体基片上的微波混合集成电路，即HMIC，属于第二代微波电路。,第三代微波电路,70年代起,GaAs技术的问世与GaAs材料的特性促成了由微波集成电路向单片微波集成电路（MMIC）的过渡。90年代起,把多块裸露的IC芯片组装在同一块多层高密度互连基板上，形成一个多芯片功能组件(MCM)。,第四代微波电路,21世纪片上系统（SOC）结构示意图如右所示,SOC的前景,SOC成为新一代应用电子技术的核心已经成为不争的事实同时它使使单片机应用技术发生了革命性的变革,SOC的挑战,资金问题微波无源电路、铁氧体器件等如何进
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