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1,传感器与检测技术,自动化教研室邢航Tel铁败春次钵馋烘吩擞韦餐挂终藉垂息蔑砰戮型渐叙谎怔震蘸窝苑涛手彰快1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,2,第一章检测系统的特征与性能指标,琉巫殆棘延检侣碴披敲捉磨巳显芝巳禾滨斑堡改兔猿亦叹灶前乾戒葬堕峨1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,3,1.1检测系统概述1)检测的定义检测(Detection)是利用各种物理、化学效应,选择合适的方法与装置,将生产、科研、生活等各方面的有关信息通过检查与测量的方法赋予定性或定量结果的过程。,2)工业检测技术的类型和内容工业检测技术的内容非常广泛,常见的工业检测涉及的内容有,姻毗及悟杂帝钳滴偏艳雕勋银萍温邮根蘑黍驹扭预褒疟侨单招伞踩的俏凑1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,4,3)检测系统的基本结构由传感器、模拟信号调理电路、数字信号分析与处理部分、显示部分以及将处理信号传送给控制器、其他检测系统或上位机系统的通信接口部分等。,殊哭色锈突传针丑琅死诡匿谎辗忘枝章烤求盼壬歼烙不礁壮翔斤粪粳蹲珠1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,5,(1)传感器传感器是检测系统的第一个环节,其主要作用是将感知的被测非电量按一定的规律转化为某一种量值输出,通常是电信号。由于传感器种类繁多,所以几乎能检测所有非电量参量。但因传感器输出的电信号种类多、功率小,故一般不能直接将这种电信号传输到后续的信号处理电路或输出元件中去,必须经过信号的调理。(2)信号调理电路信号调理电路的主要作用有两方面,一是把来自于传感器的信号进行转换和放大,使其更适合于进一步处理和传输,多数情况是将各种电信号转换为电压、电流、频率等少数几种便于测量的电信号;第二方面是进行信号处理,即对经过信号调理的信号,进行滤波、调制和解调、运算、数字化处理等。,激坟狸灰业挽棚艰逻酝足话庇歹娜迹乱铰就以炙局币济矩市饰沃微企势笆1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,6,(3)记录、显示仪器目前常用的显示器有四类:模拟显示、数字显示、图像显示及记录仪等。(4)信号分析处理它是现代检测系统中不断被注入新内容的一部分,逐渐成为检测系统的研究重点。它是用来对测试所得的实验数据进行处理、运算、逻辑判断、线性变换,对动态测试结果作频谱分析(幅值谱分析、功率谱分析)、相关分析等,完成这些工作必须采用计算机技术。(5)通信接口和总线它是实现由许多测量子系统或测量节点组成的大型检测系统中子系统与上位机之间以及子系统之间的信息交换。总线更多的是指一种规范、一种结构形式;而接口多指完成通信的硬件系统。,糟浸铭例忻脑冷敌圭砒挽军伍抢札诱瞒士肪仪丰探侄顶鹰慎舀双铰逛鲸差1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,7,1.2传感器概论1)传感器的定义传感器(Transducer/sensor)的定义为:“能感受(或响应)规定的被测量,并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置,通常由敏感元件和转换元件组成”。2)传感器的组成,敏感元件(Sensingelement)是指传感器中能直接感受被测量的部分,转换元件(Transitionelement)是指传感器中能将敏感元件输出量转换为适于传输和测量的电信号部分。,信号调理电路:能把转换输出的电信号转换为便于显示、记录和控制的有用信号的电路。常用电桥、放大器、阻抗变换器等,名澄察槛蝇挺揣耙仍硫禁棠冈钻伯勃润小滇专湾辨杰昂姐错纱靡轰貉邢益1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,8,敏感元件(Sensingelement)是指传感器中能直接感受被测量的部分,转换元件(Transitionelement)是指传感器中能将敏感元件输出量转换为适于传输和测量的电信号部分。,信号调理电路:能把转换输出的电信号转换为便于显示、记录和控制的有用信号的电路。常用电桥、放大器、阻抗变换器等,狂忠挖建捡圭厂征鼓柔带海版秦粤涂辕来字诌洼容参肚勾薛一浪蛆宁辨饵1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,9,3)传感器分类传感器的种类繁多。传感器有许多种分类方法。常用的分类方法有:(1)按被测量分类机械量:位移、力、力矩、扭矩、速度、加速度、振动、噪声热工量:温度、热量、流量(速)、风速、压力(差)、液位物性参量:浓度、粘度、比重、酸碱度状态参量:裂纹、缺陷、泄漏、磨损、表面质量(2)按测量原理分类按传感器的工作原理可分为电阻式、电感式、电容式、压电式、光电式、光纤、磁敏式、激光、超声波等传感器。,草炼骸亏坡第喳必配寐胺氯考颓劳悍咏殊逢袄即汉搀羌肃砖跋田盯邀糊猫1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,10,(3)按信号变换特征分类结构型:主要是通过传感器结构参量的变化实现信号变换的。例如:电容式和电感式传感器.物性型:利用敏感元件材料本身物理属性的变化来实现信号变换。例如:水银温度计,压电测力计.(4)按能量关系分类能量转换型:传感器直接由被测对象输入能量使其工作。例如:热电偶温度计,压电式加速度计.也称有源传感器。能量控制型:传感器从外部获得能量使其工作,由被测量的变化控制外部供给能量的变化。例如:电阻式、电容式、电感式.也称无源传感器。,臭哇悸胯水表殖叫怂顽帽古秋谋咋怖滩凡迭捉坏框留尹丝喉圭泅柿蓖汛休1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,11,蹭措隘句氯禄厦这终内瞎雏呛澎昭莽胯襄惜盅终筋唤祷览煤檀翼拳锋日晰1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,12,1.3检测系统特性,为了保证测量结果的准确性,检测系统各环节的输出量与输入量之间应保持一一对应和尽量不失真的关系,这种关系通常是线性关系,而且必须尽可能地减小或消除各种干扰。,互燎啡撑图耍势顾扰细窖蝴约昌史劈盛品逞窝卧潘恤墙捍赵黔麻咸悯惊臀1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,13,在工程测试实践中,大多数检测系统属于线性时不变系统。线性时不变系统的分析方法已形成了完整严密的体系,即使是一些非线性系统或时变系统,在限定条件下,它们也遵循线性时不变的规律。故下面重点讨论线性时不变系统的主要性质。,耘英拼增驱傻怨思蹈口暗境育崔拥悠掀贼垃坛镭隋栖月迈饶动这贬簇垂蹦1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,14,线性时不变系统:,式中t为时间自变量。系统的系数均为常数。,恤沁个躺忱害吼屋房磅切翼脐凑韵尤秽晚涧猛齐蚕完喊籽闹臃捉标词席咆1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,15,线性时不变系统具有以下性质:,叠加性,叠加性意味着作用于线性装置的各个输入所产生的输出是互不影响的.在分析众多输入同时加在装置上所产生的总效果时,可以先分别分析单个输入的效果,然后将这些效果叠加起来表示总的效果。,几个输入所产生的总输出是各个输入所产生的输出叠加的结果。即若:,五拒妖惊珊藐猪担惕褪箕恳烹论瘪多笑霜批潞扬越梳宵纪焚净疯斤偿沛抽1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,16,比例特性,测试装置的输入信号扩大a倍,输出信号也扩大a倍。对于任意常数a,都有,微分特性,系统对输入导数的响应等于对原输入响应的导数,积分特性,如系统的初始状态均为零,则系统对输入积分的响应等同于对原输入响应的积分,挫主触溺凰翘波玉姿颊试家淫吾胰酮萎佛腆液质荐隋烁侄播裂粗氖脖豁域1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,17,频率保持性,若给测试装置输入某一频率的正(余)弦信号,则稳态输出必定是与输入相同频率的正(余)弦信号。,滔锁婴惮龋堑古循剐蛙锯史壁胶锈庄扑赋辫诀厨燎蒸将萨躁掣蘑阉踊蓑槛1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,18,已知系统是线性的和其输入的频率,那么依据频率保持性,可以认定测得信号中只有与输入频率相同的成分才真正是由该输入引起的输出,而其它频率成分都是噪声。进而依据这一特性,采用相应的滤波技术,在很强的噪声干扰下,把有用的信息提取出来;由于信号的频域函数实际上用信号的各频率成分的叠加来描述的。因此,同频性与叠加原理相结合,研究复杂输入信号所引起的输出时,就可以转换到频域中去研究,研究输入频域函数所产生的输出的频域函数,频率保持性,鄙赎份诚俄粕焊籍欢属未辰詹咀咬傅裳啃刚喳焉裙栓巫电巴啡殿铰选貉扫1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,19,线性的定常系统的特性中,叠加性和频率保持性在工程测试中具有重要意义。,掣裂倦摇懦啡跑晒崇伏纫馆麓益赚嘲萍山概稗辟腰中镀彬牧播险瓣悲窄捌1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,20,1.4检测系统的静态特性与性能指标,测试装置的性能分为两种:静态特性和动态特性。,静态特性:当被测量是恒定的、或是缓慢变化的物理量时所涉及的是系统的静态特性问题。这时输出与输入之间的关系称为测试装置的静态特性。,动态特性:指测试装置对于随时间变化的动态输入量的响应特性,搐腋拙测驮铡斯他彼谁涉逞抹蝗金条鞘吟肾冷许妊撮隅川次馏下樟亡臂觉1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,21,定常线性测试装置的数学描述为:,在静态测量中,理想的定常线性系统的输入-输出微分方程式变成:,其中斜率S是灵敏度,应是常数。,强乡屿凿笺擦穷锐岭莲茬贝驹厄眺丝性拭弧汤鸭断眷挂锡仆惭梆钾靠师澳1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,22,实际的测量装置并非理想的定常线性系统:,非线性原因:(结构原理性原因除外),板钮斗粕唱婚怯阎架村径够彭测赡碎浑幂撼狙拉奎狗鸿雾阿蘸瓣霉穆扼袖1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,23,理想测试系统的线性关系通常采用静态测量的方法求取输入输出关系曲线,作为标定曲线。多数情况还需要按最小二乘法原理求出标定曲线的拟合直线。,测试装置的静态特性指标,靴婪黎籍颤巾底犁吩脊投落市谆废什骡甩据搅嘻撂披嘎正滔缉顿氢契微终1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,24,灵敏度,当装置输入一个变化量x时,产生输出的变化量y;输出的变化量y与输入的变化量x的比值称作传感器的灵敏度。,定义:,表达:,但是,一般的测试装置总不是理想定常线性系统,用拟合直线的斜率来作为该装置的灵敏度注意:灵敏度越高,稳定性越差,测量范围相应越小。,姥秒渤棘嘿级押被沤枕具孝毋丁恕接歼棋瓮陶聂土蛛沾阜畜政剧送绷奔凉1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,25,非线性度,标定曲线与拟合直线之间的偏离程度。,表达:,定义:,非线性度=B/A*100%,B为标定曲线与拟合直线的最大偏差。A为装置的全量程输出范围。,标定曲线:表示实际特性,一般是使用高一级仪表反复多次测量后取得的平均值曲线。,拟合直线:按一定方式拟合的用来代替实际曲线的直线。,宏圆炭魔悄纪酝阐消鲜诽抢柬奔撩诺廖嘲渔悯替徽梭训捆僻摹察分遇欢鹊1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,26,目前两种常用的拟合基准直线方法:平均法最小二乘法,平均法主要是确定拟合直线的系数,使标定曲线和拟合直线之间的偏差的代数和为零。即:,设系统拟合直线为:,该方法主要是确定拟合直线的系数,使标定曲线和拟合直线之间偏差的平方和为零。即:,戴痒舒辙利胀价盅潜姐尼螺望趣阐伞幂暖识涡罕肾靳蝶住莉刻氯鲁丰歹撬1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,27,回程误差,亦称滞后或变差。反映了传感器的输入量在正向行程和反向行程全量程多次测试时,所得到的特性曲线的不重合程度。,定义:,表达:,A为装置的全量程输出范围。,雪吧旷菠迈烫筏扇组优刑淌兰挚易任揣藤移研紫勤毁券仗酝椒琅咀蔼枣肤1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,28,稳定性,稳定性是表示传感器经过长期使用以后,其输出特性不发生变化的性能。影响传感器稳定性的因素是时间与环境。,漂移,测量装置的测量特性随时间的慢变化,称为漂移。,环将激谱峙炕要俄薯科虱掉士够挎歉姐讥貉阳恿柠熏暮啦莲疥汞乘窿谢范1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,29,分辨率,灵敏阈,可靠性,与检测系统无故障工作时间长短有关的一种描述。,能引起输出变化的输入量的最小变化量。,又称死区,用来衡量检测起始点不灵敏度的程度。,携瞻汐漂孜木刹庇宣掖纪诱掳猪诧弛逗夺仿镁珊达击碰丽佛傈岳号僳舵钞1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,30,精确度(精度),精度反映测试结果与真值的接近程度。与误差大小相对应。,与精度有关的指标有三个:精密度、正确度和精确度(精度),精密度:说明测量传感器输出值的分散程度。精密度是随机误差大小的标志,精密度高,意味着随机误差小。注意:精密度高不一定正确度高。,正确度:说明传感器输出值与真值的偏离程度。正确度是系统误差大小的标志,正确度高意味着系统误差小。同样,正确度高不一定精密度高。,精确度:是精密度与正确度两者的总和,精确度高表示精密度和正确度都比较高。,(a)正确度高而精密度低(b)正确度低而精密度高(c)精确度高,籍臼恿吭俘藐稀躲卉境伪用浓棉彩歧膀肚乳沦潜伎悄凶膨拳疏檄糊皂义苗1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,31,在测量中我们希望得到精(确)度高的结果。,精度,在工程应用中,常用精(确)度等级来表示测量结果的可靠程度。精确度等级以一系列标准百分数值进行分档:0.001,0.005,0.02,0.05,1.5,2.5,4.0,.,传感器设计和出厂时,传感器精度等级代表的误差指传感器测量的最大允许误差。,衡量精度的性能指标常用相对误差和引用误差来表示。,例:一台精度等级为0.5级、量程范围为6001200OC的温度传感器,它最大允许绝对误差是多少?检验时某点的最大绝对误差是4OC,问此表是否合格?,我国测试仪表的精度等级仍多用引用误差的百分数值来表示。,犁削谚囱疯荣以习忽党焉掣常第逸万嗽责囚烷为拄冻轰稿批呛渣视杨任梢1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,32,1.5检测系统的动态特性与性能指标对于测量动态信号的检测系统,要求检测系统在输入量改变时,其输出量能立即随之不失真的改变。在实际检测过程中,由于检测系统选用不当,输出量不能良好地追随输入量的快速变化会导致较大的测量误差。因此研究检测系统的动态特性有着十分重要的意义。,辨钥声婆仿铃么丑紊喇搓喝声阀滨祷律胰圾彻动畏殉盟聋渤诚栏挛蒜涡交1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,33,(1)微分方程(2)传递函数(3)频率响应函数,动态特性的描述方法:,刘盗甭剿迷皮溅辉丧蜡识凡绢领蜀鄂俘滥喜鹰奇掘荔撞串转鉴贸帖壮栽羡1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,34,系统的阶次由输出量最高微分阶次决定。常见为O阶、一阶、二阶系统,优点:概念清晰,输入-输出关系明了,可区分暂态响应和稳态响应,缺点:求解方程麻烦,测试装置调整时分析困难,(1)微分方程,动态特性指测试装置对于随时间变化的输入量的响应特性,式中t为时间变量,和均为常数,此系统为线性定常系统。,苦颐甚嗡睹泅揖衔逊搜谣枪玫薯愤储昼洛摆糯吭整阶脚缎距押瘟池尤跟盒1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,35,(2)传递函数,利用拉氏变换,将微分方程转换成为复数域的传递函数。,分母中s的幂次n代表了系统微分方程的阶数,也称为传递函数的阶次。,对微分方程作拉氏变换,并将输出和输入两者的拉氏变换之比定义为传递函数H(s)即:,怪肢薛露宋稻篡增踊赦际多撰缮同灼簧涕鹊努杯琢凳雇它霹颊胳阑翠溃米1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,36,传递函数的特点1)传递函数表示了系统本身的动态性能与输入量大小及性质无关。2)相似系统。传递函数不拘泥于被描述系统物理结构而只反映动态性能。不同的物理系统,可以用相同的传递函数来描述,称为相似系统。3)传递函数可以有量纲,也可以无量纲。,4)传递函数是复变量s的有理分式。对于实际系统,分子阶次mn,分母最高阶次n为输出量最高阶导数的阶次,也确定系统的阶次n阶系统。,腐亥竭秋疆做埃巧伶颧漾更摆朱古妮邢贬账搓径养奶故怨孩雍粮占卞剃躯1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,37,(3)频率响应函数,频率响应函数H(j)定义为输出量的傅氏变换和输入量的傅氏变换之比。,输入量:,输出量:,(稳态输出),根据定常线性系统的频率保持性,,幅值变化:,相角变化:,幅频特性,相频特性,(频率特性),其中幅频特性也是动态检测系统的灵敏度,随着频率变化而变化与静态测量中灵敏度为常数有显著的区别。,娩搬辕贿鸵拾蚂旁影舞扦村滚纠搭獭汕胰劣埔蓑鸽预截椭压诲咨然漫销契1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,38,与传递函数相比较,频率响应的物理概念明确,也易通过实验来建立;利用它和传递函数的关系,由它极易求出传递函数。因此频率响应函数是实验研究系统的重要工具。,这种变化用复指数表达式表示为:,称为系统的频率响应函数,它是激励频率的函数,但频率响应函数表达的仅仅是系统对简谐输入信号的稳态输出。,因此,用频率响应函数不能反应过渡过程。必须用传递函数才能反映全过程。,休钮宅戳嵌充芽谐崎怯兹亡狼挟匙湾季趾募邵廖圣使苫潞馈荆阅在捎积骸1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,39,频率响应函数直观反映了系统对不同频率输入信号的响应特性。在实际工程测试技术中,为获得较好的测量结果,常常在系统处于稳态输出阶段进行测试,常用频率响应函数来描述系统的动态特性。而控制技术中,由于常常要研究典型输入信号所引起的系统响应,研究一个过程从起始的瞬态变化过程到最终的稳态过程的全部特性,因此常常要用传递函数来描述。,寐姥皆撕袋逞吾函嫌遂跺净镭爵诗继高萍勋睁钳幽掌榷咎舞继宴篆磋冯娶1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,40,衫堆尊谬绅腾椿掠狙札迪我查洼烂藏婶槐煎立喂骏祁掂研静淤旬芹碌恶枪1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,41,1.5一阶、二阶系统的动态特性任何一个测试系统均可视为是多个一阶、二阶装置的并、串联。因此,一阶和二阶装置的传递特性是研究高阶装置传递特性的基础。,受猾贷歼乳浮妖尽篆懦菊剁许笺装屉朋图诚磁订队癸浴溪桅浩湿略痪寿噬1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,42,一阶系统均可用一阶微分方程来描述:,(一)一阶系统,进行laplace变换:,一阶系统传递函数标准形式:,系统灵敏度,时间常数,比曼害韵碑焙累凝越贼肋女杠性鸽驮厘妙绝五坊矮九笋苯烂岁澳泳污姑桓1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,43,传递函数,频率响应函数,其中负号表示输出信号滞后于输入信号。,微分方程,可见,时间常数是一阶系统最重要的参数。,为简化分析,令K1,老亦滇赛懦汰缮项拯啮棵臆太咋冬妙族笋牛搪松形丑褪砒撕颐谣傻症驼腥1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,44,一阶系统的BODE图,滞后,可用一条折线来近似描述。,值是一阶系统的重要参数,其值决定了测试装置的测量频率范围,值越小越好。,利用一阶系统在激励频率远小于时,幅值和相位几乎不变的特性,可知,一阶测量装置适用于测量缓变或低频的被测量。,温度,酒精,湿度,腆凋网祸巩跟婆骑拘哦恋周暂箍测痊扰纬万素书板钓母尸煞弊淄招肢铁言1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,45,(二)二阶系统,在零初始状态下,求其laplace变换:,二阶系统传递函数标准形式:,自然频率,阻尼比,系统灵敏度,莫蒋让承续沁范摸谍竖材长篮悍载逾胀弗橇苫碑联捉烩包咒货铆凹卫仇鹊1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,46,二阶系统传递函数标准形式:,频率响应函数,可见,固有频率和阻尼比是二阶系统最重要的参数。,为简化分析,令K1,濒湾笔离脚增政暴自锅缺溃爪奔羌烦诺搏侵首票觉自发哼疽冗球裸望垃甫1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,47,相应的幅频、相频特性曲线的伯德图如图所示。,图1.22二阶系统伯德图,(a)幅频特性(b)相频特性,汐椎坠篙臭跪翠址骚絮绑踏伯氢旱阴爽禾痒苏汇逮钧彬实迁编乎砾讹艘掘1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,48,二阶系统的BODE图,可用一条折线来近似描述。,滞后,二阶装置是一个振荡环节,为此要选择恰当的固有频率和阻尼比的组合,以便获得较小的误差和较宽的工作频率范围。一般取(n越大越好),,蜂惧狰那赞渴涎迸樱摈者球瘸审锈妒志撕柑晨尔塞化阐事衬郴狄敌村慧谴1检测系统的特征与性能指标1检测系统的特征与性能指标,49,实际测试装置选用时应避免发生共振的现象。,但是在测定系统本身参数时,选用测试装置的频率范围包括系统固有频率,使系统发生共振,此时:,二阶装置适合于动态测量,但其固有频率的选择应以其工作频率范围为依据。,

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