Disco6340设备结构介绍PPT幻灯片_第1页
Disco6340设备结构介绍PPT幻灯片_第2页
Disco6340设备结构介绍PPT幻灯片_第3页
Disco6340设备结构介绍PPT幻灯片_第4页
Disco6340设备结构介绍PPT幻灯片_第5页
已阅读5页，还剩9页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1,Disco设备结构介绍,设备主要包括的区域：轴，（和）轴，（和）轴，旋转轴，主轴（和）清洗台，升降台，上取物手臂，下取物手臂，推拉手臂，校准台，显微镜，设备主框架，电气系统，设备底座。,2,设备结构,上取物手臂：传送晶圆从工作台到清洗台；预校准台：调整晶圆的位置；储物台：用于存放晶片匣；升降台：用于使晶片匣上升或下降；清洗台：用于清洗晶圆；下取物手臂：在晶片匣至工作台之间传送晶圆，以及在清洗台和预校准台之间传送晶圆。,3,设备的传动部分,设备包括了轴，（和）轴，（和）轴，旋转轴，主轴（和）清洗台，升降台，上取物手臂，下取物手臂，推拉手臂，校准台，显微镜，设备主框架，电气系统，设备底座。,4,设备的传动部分轴,轴在方向传动工作台：用交流马达在丝杠上驱动工作台在方向上的运动，连接；应用线性导轨固定工作台的运动；3.导轨前后各有一个极限位置感应器，用于控制工作台在一定的范围内运动。,丝杠,导轨,X轴滑块,交流马达,X轴底座,5,设备的传动部分Y轴,Y轴在Y方向传动工作台：用交流马达在丝杠上驱动切割主轴在Y方向上的运动，连接；应用线性导轨固定工作台的运动；,Y2伺服马达,Y1伺服马达,丝杆,导轨,Y2滑块,Y轴底座,Y1滑块,6,设备的传动部分Y轴感应器,Y轴的感应器：前方位的极限位置感应器；后方位的极限位置感应器；Y1轴和Y2轴接近感应器，用于防止两轴相撞。,7,设备的传动部分Z轴,Z轴在Z方向传动工作台：用步进马达在丝杠上驱动工作台在方向上的运动；应用线性导轨固定工作台的运动；3.导轨前后各有一个极限位置感应器，用于控制工作台在一定的范围内运动。,8,设备的传动部分轴,台使用直流驱动马达驱动工作台的转动；工作台位于X轴的顶面台的旋转范围：逆时针60，顺时针320，最大的旋转角度为380。按按钮驱动台转动0.005,吸盘台,工作台底座,防水盖,中心环,马达底座,绝缘底座,直流驱动马达,9,设备的传动部分轴,台的负向极限位置感应器之间相差6065，实现台复位，设立。，切割和对齐等操作；台的正向极限位置感应器，实现台最大转动角度的控制。,10,设备的传动部分工作台,工作台利用真空吸住加工的吸盘台，吸盘台利用真空吸住晶圆,吸盘台,工作台底座,防水盖,中心环,马达底座,绝缘底座,直流驱动马达,11,设备的传动部分上下取物手臂,导轨,导轨,丝杆,导轨,伺服马达,上取物部分,下取物部分,12,设备的传动部分升降台,升降台通过交流马达和丝杆驱动，同时有两边导轨确保升降台的运动方向。升降台面的晶片匣台有晶片匣限位块固定晶片匣，同时可根据加工晶圆的尺寸大小进行调整限位块。,晶片匣台,丝杆,导轨,交流马达,13,设备的传动部分晶圆校准部分,校准部分使用步进马达驱动，晶圆框架的校准管位通过传送带驱动，同时使用线性导轨确保平稳的线性运动。,导轨,晶片框架对齐导轨,导轨,步进马达,传送带
人人文库> 全部分类> 教育资料 > 辅导培训

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论