半导体制造厂紧急应变程序PPT课件

SMIC,紧急应变程序,各紧急应变小组职责紧急应变救灾处理流程紧急应变疏散流程,紧急应变程序,紧急应变组织,1.若数种意外事故同时发生,则依火灾气体外泄化学品泄漏电力中断次序，以较前者认定事故指挥官。2.虚线框内表一、二级意外事故的最大应变组织；全图表示三、四级意外事故的最大应变组织。,(健康中心),急救小组,各组别职责,事故指挥官：,负责指挥灾害现场之应变处理，包括了解意外状况、拟定及执行适当的应变计划、召集并指挥紧急应变小组、分派任务以控制意外事故。,ERC：,ERC的作用是三个中心：监控中心、应变中心、联络中心。负责全厂区安全状况的监控、意外事件第一时间处理、紧急应变资料及器材的保存与提供、相关讯息的收集与宣布等等。,各组别职责,计划人员：在救灾过程中担任咨询者，提供涉及到其领域的建议。由工安人员及相关部门担任。救灾组的划分：按救灾职责分为抢救组、搜寻组、支援组。各小组的体职责为：抢救组：负责现场的救灾活动，从灾情控制一直到现场恢复；搜寻组：负责现场受难人员的搜寻及抢救；支援组：协助上述二组准备器材、防护具、管制暖热区人员进出、协助卸装、进行除污等工作。厂务组：由厂务设施人员担任，负责处理厂务设施参与救灾。,各组别职责,总负责人：三、四级意外事件时，由发生事故责任区域之高阶主管担任,于紧急应变时负责综理全厂之紧急事故处理重大决定，以及重要应变行动之指示。公关人员：三/四级事件时由公关部人员担任，负责对外消息的发布及谣言的澄清。财务人员：三/四级事件时由财务处人员担任，负责财产的损失评估及与保险公司的理赔。急救组：三/四级事件时由医护人员及制造部线上主管组成，负责对受伤人员的急救并联络救护单位。管制组：三/四级事件时由警卫人员担任，负责暖冷区人员进出的管制。,各类意外事件处理程序-火灾,各类意外事件处理程序-火灾,各类意外事件处理程序-火灾,各类意外事件处理程序-气体泄漏,气体外泄警报,是,否,是否由气体侦测器侦知,由人员发现如异味,任何最先发现者，有义务在第一时间内通知ERC,参照SMIC无尘室异味处理流程处理,气体侦测器侦知,状况解除,可根据压力、现场读值、trendchart等讯息,成立紧急应变指挥中心,“C”,是,协助进入现场之救灾人员着防护装备,急救小组,救灾组,紧急应变中心,厂务组,疏散组,控制空调、Exhaust及Scrubber等安全系统,加大热区相邻暖区所有之建筑物空调系统之风压,“C”,持续监控环境状况,救护伤患,引导厂内人员至安全地点,支援组人,搜寻人员,抢救人员,确认已关闭上游供应源并pumpdown相关gasline,确认灾区人员均已疏散,准备个人防护具、SCBA及手提式气体侦测器,灾区管制,确认防火门及防气体扩散设施已关闭,是,否,使用另外同种气体侦测器（一个或2个）测试现场环境与Exhaust，确认还有残留浓度,使用手提式侦测器测试现场环境及使用同种气体侦测器（一个或两个）测试Exhaust确认还存有残留浓度,“D”,“E”,各类意外事件处理程序-气体泄漏,“D”,环境点读值是否为零,否,进行持续抽风换气,是,ERC解除警报,事故调查，管路测漏，寻找出泄漏点,进行系统恢复和维修（须管路测漏达标）,采取根除同类事故再发生措施并实施,“E”,管制ERT人员之SCBA读值和进出的时间,灾区人员管制,协助出灾害现场人员除污与卸装,各类意外事件处理程序-气体泄漏,Scrubberexhaust,各类意外事件处理程序-气体泄漏现场处理程序,确认关闭上游供应源,如：关闭GC，关闭VMB之手动阀及气动阀。,使用Detector现场确认:至少侦测机台周围的三处读值,管路测漏，同时立即隔离泄漏源:1、EEpumpdowngasline2、check环境点是否还是持续有读值3、加大热区相邻暖区所有之建筑物空调系统之风压,使用portabledetector确定是否有真实泄露。,Step-3,Step-4,Step-1,Step-2,Equipment,FacilityGasCabinet,Equipmentpump,D3(Environmentdetector):SiH4,PH3,CO,AsH3CLF3,DCS,Cl2,F2/Ar/Ne,D2(Tooldetector),D1(VMBdetector),Pneumaticvalve,Manualvalve,GasPanel,疏散组,疏散的目的,避免意外事故所产生之危害因子影响到事故区内或周遭利害相关者之安全与健康,疏散组成员,疏散组组长：发生紧急意外事件时，整个疏散活动的协调指挥者，负责整个疏散活动的指挥协调，待各部门协调人将人员清点结果回报后，再整合向指挥官回报人员清点结果。疏散组协调人：各部门疏散活动的协调负责人，负责该部门的疏散活动的协调，并进行人员清点，将清点结果及时回报疏散组组长。,疏散组组长人选,1.单个单位疏散时，由该单位最高主管担任疏散组长，该单位下辖各部门主管担任疏散协调人。2.若只涉及FAB1、FAB2、FAB3B单个厂内多部门的人员疏散，则分别由FAB1、FAB2、FAB3B制造部主管担任疏散组组长；各部门的最高主管或其代理人该部门的疏散协调人。3.若涉及到多厂或单位的疏散，2005年由FAB2MFG(每年轮流担任）主管担任疏散组组长，其他厂或单位的最高主管担任疏散协调人。,意外事故疏散时机-火灾,火灾：1.小范围冒烟起火或单一机台起火（二级状况）：事故现场人员立即进行灭火，热区内事故区域以外非救灾人员依ERC广播疏散到相应建筑物内指定安全区域位置。2.发生大面积火灾（三级以上状况）：该建筑物内人员应尽快从建筑物逃生门离开建筑物，至各部门指定集合点进行人员清点。,意外事故疏散时机-气体警报,气体警报：1.气体警报达到第二阶段（二级状况）：发生意外事件区域人员依ERC广播立即疏散到相应建筑物指定安全区域位置。2.有害气体管路松脱或断掉，造成大量泄漏（三级以上状况）：该建筑物内人员应尽快从建筑物逃生门离开建筑物，至各部门指定集合点进行人员清点。,意外事故疏散时机-化学品泄漏,化学品泄漏：1.非易燃性化学品大量泄漏或强烈异味导致人员不能忍受（二级状况）：发生意外事件区域人员依ERC广播立即疏散到相应建筑物指定安全区域位置。2.易燃性化学品管路松脱或断掉（三级以上状况）：该建筑物内人员应尽快从建筑物逃生门离开建筑物，至各部门指定集合点进行人员清点。,意外事故疏散时机-其它意外事件,其它意外事件（二级状况）：1.达到震度为四级的地震2.停电超过3秒钟以上3.气体侦测系统或Exhaust系统运作停止，1分钟内没有恢复系统运作发生意外事件区域人员依ERC广播立即疏散到相应建筑物指定安全区域位置。4.达到震度为五级以上地震（三