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文档简介

文 件 修 订 记 录序号修 改 内 容修改人日 期版本1首次发行谢超凡1. 目的：对一次清洗减薄量进行监控，确保制绒质量。2. 适用范围：156多晶一次清洗工序3. 责任：本工艺说明由工艺部制定修改，生产人员按照要求执行。4. 设备：电子天平5.操作步骤：5.1在电脑上打开“一次清洗减薄量监控”表格，找到当日日期及时间，在对应表格中填写硅片厂家、批次、硅片型号信息，为数据记录做好准备。5.2在已拆盒的原硅片中取8片，层叠整齐后置于电子天平内，待数值显示稳定后读取数值，输入到表格“清洗前”一栏中，保存数据。5.3将称重后的硅片按每道一片进行放片，同时通知下料人员注意收片。为了区分出称重片，在放置这8片硅片时要与其他正常生产的硅片隔出一定距离，使下料人员能够区分出这8片。5.4到设备主操作台处读取制绒参数，包括制绒槽设定温度、实际温度、滚轮速度、称重片数的信息，将数据分别填入对应表格中。5.5待8片称重片传出设备后，下料人员收集好，到电脑桌处进行再次称重，将读到的数据填入“清洗后”一栏中，表格会自动算出减薄量。称重作业完成。称重前务必保持电子天平处于水平状态，可观察水平浮泡进行调整。5.6电子天平操作说明：5.6.1 电子天平定置后，接通电源，调节水平调节钮，使水平浮泡置于中间圆心处。5.6.2 待“OK”指示灯常亮绿色后，按TARE POWER清零，使界面显示0.00，此时电子天平准备好，可以进行称重操作。6.减薄量SPEC线：6.1 控制线：一次清洗工序减薄量控制线CL=4.0m，控制上限UCL=4.2m，控制下限LCL=3.8m。6.2 规格线：一次清洗工序减薄量规格上限USL=4.5m，规格下限LSL=3.5m。6.3控制要求：6.3.1 换班后的第一次称重，减薄量不小于3.6m时即可上片。6.3.2 生产过程中减薄量测得数据超出控制线，生产继续，并及时通知工艺人员进行确认调整，使减薄量数据符合控制线要求。6.3.3 生产过程中减薄量测得数据超出规格线，马上停止生产，并通知工艺人员，待工艺调整正常后方可继续生产。7.监控频率7.1 换班次生产前要进行本班第一次称重，生产过程中每隔一个小时进行一次称重。7.2 生产中途停产超过半个
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