真空镀膜操作规程

真空涂层作业步骤一、准备：1 .接通设备总电源，接通调节器，确认三相供电电压正常： 370440V；2 .打开容量补偿器3 .确认水池的冷却水水量充足后(参照浮标)打开循环泵4 .根据工艺要求，决定是否需要启动冷水机以及是否需要启动冷水机。 启动前应确认冷水机入口水压为1.5-3kg，内部加压泵正常旋转，可自动或手动启动5、确认各部分冷却水循环系统正常，确认扩散泵循环水正常工作，确认紧急冷却系统准备就绪6 .确认工艺气体的气压在20大气压以上7、安装底膜：a、彩膜：涂层工根据生产任务单的要求，从洁净室接收基膜时，立即检查该膜是否合格，存在图案、斑点、伤痕、无污垢、卷绕整齐等直接观测问题的，立即b、轴：工作时拿起手套，将合格的底片放在专用胶片夹上，取一对相同尺寸的轴，安装时要注意胶片的正反两面，确认准备好后才能吊起。 吊环轻轻放置，不要碰撞。 必须保持底膜水平，以免薄膜呈滑动螺纹状c、胶片：确认冷辊没有结露水后，可以加入胶片。 装胶卷的时候不要对着胶卷说话，要保持胶卷的表面清洁。 小心不要碰透率分析仪的探头，装膜时要保证膜位于冷辊的中心d .根据任务书车速要求设定电镀速度、张力e、答案：胶卷拉动完成后，手动倒卷数次，打开张力控制器，启动冷辊、卷绕、胶卷(其中ITO胶卷12m，前段胶卷和建筑胶卷20m )。 仔细观察胶片是否正确，起动是否容易，冷辊是否与胶片同步，速度是否平稳，胶片是否变形，是否起皱，是否有伤痕等，立即处理，最后用记号笔在材料投入侧画出起始标志线8 .根据生产任务书的要求，确保各靶、布气系统、电源配置准确，靶量充足，其他物品没有忘在真空室或推车上，关闭真空室二、抽真空1 .扩散泵预加热(约40分钟):启动维持泵，确认正在运转常时打开维持阀(指示灯点亮)，一个一个地打开扩散泵2、低吸引：确认真空室门关闭后启动计算机，进入涂层系统监视关闭控制程序、空气阀，启动机械泵(1、2 )，确认机械泵正常运转后，打开预备吸引阀，5分钟后打开复合真空计，打开罗茨泵的开关。 (真空达到1500Pa时，罗茨泵许可信号(红色)点亮，再延迟25秒后，罗茨泵自动启动)3、高吸引：罗茨泵启动5分钟后，打开热偶真空计，真空度达到5Pa时，打开高阀的许可信号(红色)点亮，确认扩散泵的预热完成(加热40分钟或油窗的油面达到规定位置时)，关闭预吸引阀，依次打开各前级阀，关闭维持阀依次打开各路的高阀门，确认规定的开关灯亮灯，开始高吸引。 真空度进入10-2Pa后，打开电离真空计测量高真空，到工艺规定的背景真空，真空进入610-3Pa后，打开靶电源总开关和透射率分析仪进行预热，与计算机系统完成通信连接三、电镀膜：1 .确认达到背景真空，关闭电离真空计，打开冷却辊、隔离槽、靶电源、冷却水，确认正常工作2 .打开必要的各路供气电磁阀，抽取残留杂质气体进行确认到达背景真空，根据工艺要求设定各路的气体流量，打开总阀、减压阀、气体控制器的开关，用中真空计观察工艺气体的总压，稳定后进行透射率分析仪的初始化调整(此时需要关闭真空室照明灯)。3、电镀膜：启动传动系统，确认卷取动作正常，对每个靶1-靶5依次设定各靶的镀膜功率，熄灭照明灯，观察透射率的变化，点亮照明灯，观察镀膜后的残留反射光、外观、颜色、品质是否满足工艺要求，稳定地动作制作工艺记录，不断调查设备运行状况，合理处理各种随机问题，镀膜结束时，依次关闭传动、靶电源，依次关闭工艺气体、冷却水、(除扩散泵水以外)各路的高阀门，启动维持泵，打开维持阀门，打开各路的前级阀门、罗茨依次关闭机械泵、各真空测定器，升温冷辊，如果不继续涂层，关闭扩散泵，保持冷却水，降温3小时后，关闭维持阀和维持泵四、恢复大气压；确认冷却辊高于露点温度后，打开膨胀阀，膨胀完成后，打开真空室的门五、质量检查：用卷取侧压辊用标记标记电镀结束位置的横线，进行电镀质量所需的观测检查记录六、离膜：镀膜的剩馀薄膜卷完后，用起重机将产品薄膜小心地吊在专用托盘上，送入洁净室七、分卷、分期、入库保存八、包装、出库和运输九