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特气系统控制,2005年9月20日,特气系统控制,特气系统控制,气柜,VMB/VMP,PLC,盘面,电磁阀,气动阀,GASCYLINDER,SENSORS,易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ASH3/PH3,无毒：AR/HE/CF4/N2O/C2F6/SF6/O2-HE,有毒：CL2/HBR/NH3/NF3/SIH2CL2/BCL3,设备,LAM,易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ASH3/PH3,有毒：CL2/HBR/NH3/NF3/SIH2CL2/BCL3,无毒：AR/HE/CF4/N2O/C2F6/SF6/O2-HE,AMEM,TCPM,AMS101,MRC,CVD,APWJ,DFUR,EPSL,IMP,气柜组成:1.电控2.COMPUTER3.GASPANEL,1.电气控制,STATUSLEDSLOCALSDRED,YELLOY,GREENSWITCH,电磁阀,SENSORS,2.COMPUTER,koyophilips,3.盘面(一),双盘面单盘面示意图,(二)GASFLOWSCHEMATIC-DUALGSMWITHPURGEGASMANIFOLD,一.Semi-Gas全自动气柜更换钢瓶操作步骤:如果是液态类气体需要输入“净重”确认。1接通220V电源，打开“EMO”紧急开关，进入盘面画面。2输入password，按确认。3L盘面进入“Inshutdown”按“commands”菜单。4选择“terminatepurge”按“Yes”。5选择“selectpurge”按“Cylinderchange”，按“Yes”，按“ACK”确认，进入更换钢瓶的过程。6L-Cylindershutofftest，执行processGasremoval置换。7更换钢瓶前Pre-purge前吹扫，执行完循环次数。8Cylinderchange更换钢瓶，按“ACK”确认。9ProcessGasremoval执行工艺气体置换。10Autoleaktest自动检漏测试11Manualleaktest手动检漏测试，按“ACK”确认。12LeakRepair泄漏维护，按“ACK”确认。13RepairLeaktest维护后泄漏测试，按“ACK”确认。14更换钢瓶后Post-purge后吹扫，执行完循环次数。15Regulator调压阀shutoff及测试。16缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈，进入钢瓶压力测试。17缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。18按“serviceready”进入钢瓶供气或备用。,4.更换钢瓶操作（依照L钢瓶为例）,1选择需要更换的钢瓶，按“更换钢瓶”后按“确认”。2关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按“下一步”。3确认钢瓶手动阀已经关闭，按“确认”。4进行低压释放。5进行预吹扫，完成设置的循环次数。6钢瓶检测结束报警，按“close”，按“下一步”。7更换钢瓶，结束后按“下一步”。8进行钢瓶Fitting测漏，正常后按“确认”。9进行后吹扫，完成循环次数。10钢瓶检测结束，按“close”。11如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力“净重”确认。12缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。13选择供气或备用。14缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。,二.半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：,三.手动气柜更换钢瓶操作步骤：,要求PN2钢瓶的出口压力80+/-10PSI。1关闭钢瓶手动阀。2打开低压放空的左抽空开关（V3L、V4L、V7L），使之管道内气体完全放空，然后关闭此阀，同时关闭Regulator。3更换钢瓶前的Pre-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。4执行更换钢瓶的过程。5更换钢瓶后的PigtailFitting检漏：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关，然后再关闭，进行PigtailFitting的checkleak。检漏通过后进行Pigtail后吹扫。6更换钢瓶后的Post-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。7关闭L盘面上所有气动阀件，打开L钢瓶手动阀，调节Regulator的压力使之满足工艺设备的供气压力。如果是液态类气体需要输入切换压力“毛重”确认。8缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。9缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。10按“供气开关”或“备用开关”。,5.气柜操作流程图,SCREEN,MENUSCREEN,INPUTPASSWORD,OPERATIONSCREEN,APANELOrBPANEL,SELECTGOTOAorBPANEL,NO,AUTOPURGE(PREPURGE),FINISH,CHANGENEWCYLINDERTHENPRESSACK.BUTTON,NO,POSTPURGE,FINISH,PROCESS(INSTALLESV),YSE,YSE,CONFIRMLOADCELL(NEWorOLD,OPENCYLINDER,LOWDELIVERYPRESSURE&HIGHDELIVERYPRESSURE,(DOYOUWANGTTOPROCESSORSTANDBY?,SELECTPROCESSorSTANDBY,PROCESS,PROCESS,STANDBY,STANDBY,