氮化镓蓝光LED有机发光二极管(OLED)显示驱动芯片.doc

五、微电子技术（与材料）1 氮化镓蓝光LED2 有机发光二极管（OLED）显示驱动芯片3 ECR深亚微米刻蚀技术4 智能功率模块5 彩色等离子体显示器PDP电路系统关系技术6 MCM金刚石复合多层基板技术7 系列ZnO压敏电阻器8酞酸锶（SrTiO3）厚膜氧传感器9新型环形电机消噪钛酸锶元件10高可靠瓦斯报警矿灯11微型硅压力传感器12汽车核心芯片（研究）开发13动态高输出二维力敏传感器氮化镓蓝光LED一、项目简介 当今世界，被誉为IT产业发动机的半导体产业已诞生了以氮化镓及其合金材料为代表的第三代半导体材料。氮化镓（GaN）基材料可制成高效蓝、绿光发光二极管和激光二极管LD（又称激光器），并可延伸到白光，后者将替代人类沿用至今的照明系统。氮化镓（GaN）基材料还将带来IT行业存储技术的革命。氮化镓蓝光LED相关材料及器件广泛应用于全色大屏幕显示器，高亮度LED交通信号和指标灯，以氮化镓为基础的高亮度半导体LED具有体积小、寿命长、功耗低等优点，并向着高亮度、全彩色、大型化方向发展。98年世界氮化镓蓝光LED的市场有45亿人民币的销售额且产品供不应求。二、主要技术指标输出功率：3.0mw光强度：3cd（坎德拉）色 彩：纯蓝光420480nm冷光源：效率高和响应速度快体积小、重量轻；电压低、电流小、节能和防爆使用寿命长：可达10万小时以上容易与晶体管和集成电路配套使用。三、市场前景由于蓝光二极管的应用领域广阔，包括：大屏幕全彩显示、照明灯具、激光器、多媒体显像、LCD背光源、探测器、交通信号灯、仪器、仪表、光纤通讯、电器、全息显示、卫星通讯、海洋通讯、图形识别等。在军事上，可制成蓝光激光器，具有驱动能耗低，输出能量大的特点，其激光器读取器可将目前的信息存储量提高数倍，并大大提高探测器的精确性及隐蔽性，因此蓝光激光器将有广泛用于军事用途。另外，蓝光LD还可应用于光纤通讯、探测器、数据存储、光学阅读、激光高速印刷等领域。该材料制作的半导体灯具，具有体积小、冷光源、响应时间短、发光效率高、防爆、寿命长、低压、省电、节能等优点。普通灯泡的寿命为600010000小时，而GaN白光LED灯可使用10万小时以上；可以说从建房开始就不用再更换灯了。而且其能耗仅为目前普通灯源的10%20%。据预测，未来数年内，有半数以上的白炽灯将被白光LED取代，其市场潜力巨大。四、投资概算1总投资1640万元。主要用于：MOCVD生长系统、超高真空光CVD、ECR刻蚀机、测试仪器、工作站、器件设计软件、半导体生产线。2基础设施及环境条件：500多平方米的1000级超净实验室（光刻室为100级）；100平方米左右的材料与器件研发实验室。3配套设施：一套运行良好的去离子水处理系统尾气多级化学处理系统废弃的真空泵油等生产废料需送到专门的回收部门五、合作方式： 希望与实力雄厚的企业组建联合实体，在国内形成有一定生产规模的企业。最好与微电子企业合作，使产品尽快上市。有机发光二极管（OLED）显示驱动芯片一、项目简介有机发光二极管（OLED）是新型的显示技术，是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件，是目前最具潜力的显示技术。西安电子科技大学微电子学院积极跟踪新型显示技术的最新动向，成功开发STN-LCD、PDP、LED等驱动芯片。本项目开发成功后，可直接应用于各种OLED显示系统中。本项目完成8Channels Column/Row OLED驱动芯片的设计开发。目前我国的TFT-LCD、STN-LCD显示驱动集成电路完全采用进口驱动芯片，95%以上LED、TN-LCD等显示驱动集成电路也依赖于进口，极大地限制了显示应用产品的性价比和竞争力。中国虽然是CRT的生产大国，也即将成为LCD市场上举足轻重的角色，但是我们的企业在切入CRT和LCD市场时，已经错过了产业高利润阶段，只能依靠强大的生产能力参与市场的角逐，而正处于萌芽期的OLED给了所有企业一个近乎平等的机会，我国很有希望在这项技术上与世界保持同步，一起分享高速成长的利润，甚至可能占据一定的主导地位。二、主要技术指标Column驱动和Row驱动复用；4位/8位串行数据输入；移位时钟频率为5MHz；支持Cascade（级联）应用；最高工作电压为40V；内建有精度参考带隙电压源。三、市场前景OLED作为一种新型的显示技术，是显示技术中最具潜力的产品。目前以无源驱动OLED为主，主要应用于小型便携设备中，如PDA以及游戏机等，发挥轻、薄、低功耗的优势。后期将以有源驱动OLED和无源驱动OLED为主，主要应用于各种显示终端设备中，据Stanford Resources预计，2007年将取代目前LCD10%以上的市场。台湾工研院经济资讯中心在2002年3月预计2003年OLED产值将达到2亿美元，2005年将达到20亿美元，2007年将达到100亿美元。OLED将在手机、电脑、电视以及各种交通工具的显示设备等领域逐渐取代LCD和传统的CRT技术，并凭借自身柔性设计的独特性能开辟电子纸、可折叠电视和电脑等全新的市场。我们设计的驱动芯片的面积为84mm2左右，采用0.5m的SPDM CMOS工艺，芯片成本为RMB5.5元左右，目前的市场价格为US$45元，非常具有竞争力。我们设计开的OLED驱动系列芯片将形成RMB1000万元以上的销售额，配合OLED控制电路以及LED、STN-LCD驱动芯片系列等产品，可以在2005年形成RMB2000万元的销售额。四、投资概算 总投资120万元。其中包括材料费、购买设备、测试仪器、试验费、外协费、制版费、流片费、封装费等。五、合作方式：联合组建实体，合作开发。最适合于和微电子行业的企业合作。ECR深亚微米刻蚀技术一、 项目简介本研究基于电子回旋共振高密度等离子体技术，成功地设计建立了ECR深亚微米刻蚀系统，并在此基础上进行了深亚微米图形刻蚀技术及工艺研究。采用微波通过同轴开口电介质空腔产生表面波，利用新型高磁能积Nd-Fe-B稀土永磁磁钢合理布局形成的高强磁场，通过共振磁场区域内电子回旋共振效应，产生大面积、均匀、高密度等离子体。ECR刻蚀系统：它包括微波系统、磁场系统、ECR腔体、工艺室、气路系统、样品偏置系统、等离子体监测系统、高真空获得与测量系统等。整个工艺系统在分系统智能化的基础上采用微机集中控制方式。本项目是国内首次开展ECR深亚微米刻蚀技术研究的项目。项目采用了Nd-Fe-B稀土永磁磁钢构成分布式大面积ECR磁场，加之独创的ECR谐振腔结构，使得ECR等离子体源面积大、均匀性好、结构紧凑、体积小、具有独创性。其主要技术指标处于国内领先水平，达到国际九十年代先进水平。曾获国家科技进步三等奖。二、主要技术指标微波频率：2.45GHz 微波功率 1500W磁场强度：875Gs 加工尺寸 8inch真空度 10-7Torr 电子密度 1010cm-3刻蚀速率 1000A/min 选择性 （SiO2Si）20线条宽度 830槽形尺寸 0.55.0m 2 加工尺寸 8inch 均匀性 95% 工艺温度 100V/10m；平均热导率800W/mK。三、用前景多芯片组件在缩小电子产品体积、提高产品性能方面起了重要作用。MCM中的大功率器件通常工作于恶劣环境中，较高的环境温度更将对MCM带来不良影响。因此，应该采用必要的技术措施降低MCM内部的温度。一是要降低内热阻，二是要加装外部散热器。加装外部散热器虽可有效地降低温度，但不利于组装密度的提高。只有从研制新基板这一方向来着手，才能解决MCM的散热问题。2000年初信息产业部电子第24研究所应用CVD金刚石基板替代硅基板制作X7805RH抗核加固薄膜电路。经试验证明，金刚石基板可用于薄膜电路制作，可达到与硅基电路相近的电路参数性能，对器件的热通路将会有显著改善。此外，金刚石基板的采用必将提高MCM的组装密度、缩小其体积和提高其可靠性。因此，既能提高MCM的研制水平，也为未来武器装备发展提供了技术储备。金刚石基板可替代氧化铍陶瓷作为大功率MCM或大功率器件的散热基底，西安微电子技术研究所在HB172电路中进行了此项试验，取得了良好的应用效果。氧化铍对人体有毒，严重影响材料生产人员和使用基片的工艺技术人员的身体健康。金刚石基板的热导率比氧化铍高得多，其它性能也明显优于氧化铍，使用金刚石基板可彻底改变生产环境，并可进一步提高MCM的组装密度、缩小其体积和提高其可靠性。长远来看，金刚石基板全面替代氧化铍陶瓷是必然的发展趋势。CVD金刚石基板成本较高，目前仅可能在高技术产品中获得应用。镀制PVD金刚石薄膜的高能离子束镀膜设备太贵，目前尚难以普及。对MCM金刚石基板需制定专门的技术条件，以保证基板具有可靠的电、热和工艺性能。金刚石基板具有良好的社会效益和潜在的经济效应，应用前景良好。系列ZnO压敏电阻器一、主要技术特性及指标标称压敏电压U1mA=18610V全系列ZnO压敏电阻器生产技术，各项性能参数达到国标要求，也达到松下公司标准。二、市场分析及开发前景国内年产ZnO压敏电阻器逾亿只，但很多产品质量仍不过关，每年仍需进口大量高性能的产品。在很多电器中本来应该用ZnO压敏电阻器予以过压保护和消噪，但目前仍未使用ZnO压敏电阻，例如计算机电源、示波器、记录仪等，目前我国大陆的ZnO压敏电阻器总用量与台湾相当。可见对ZnO压敏电阻器在我国仍具有潜在的巨大市场和广阔的开发前景。三、生产所需条件厂房面积：300m2，设备费投资：200万500万元，流动资金：50万元，职工50名(其中电子类、机械类、化工类大专以上技术人员五名)钛酸锶（SrTiO3）厚膜氧传感器一、项目简介随着现代交通技术的发展和人民生活水平的不断提高，汽车、火车、火力发电厂和各种工业锅炉子、生活锅炉迅速增多，它们燃烧汽油、煤炭等燃料时，排放CO、CO2、NoX和CHx等各种有害气体，已成为不容忽视的环境污染源，成为人类的无形杀手，成为城市经济发展和社会进步的障碍。所以，近几年来，节能和环保部门迫切需要实用的氧传感器和氧检测仪，研制和开发实用型氧传感器不仅为各个应用领域所需要，而且对环境保护十分有益。在该项目的基础上开发出来的氧检测仪以及氧浓度控制系统可以带动相关的产业。西安电子科技大学研制的SrTiO3厚膜氧传感器的体积、成本和响应性能均优于固体电解质氧传感器，可用于真空食品包装的氧检测；锅炉燃烧的氧检测和氧控制；以及汽车尾气排放气体的检测，凡是采用电子喷射技术和三元催化转化器的汽车发动机，氧传感器是必须安装的靠氧传感器的输出信号通过计算机单元将空燃比（A/F）控制在最佳状态，使燃料充分燃烧，减少污染物排放，实现贫燃区空燃比控制。二、主要技术指标工作温度 5001000 输出电压 010V响应时间 0.5秒 恢复时间 30秒加热电流 150ma 加热时间 40秒传感器内阻： 100K（6000C时） 100K传感器外壳工作温度：500三、市场应用前景氧传感器进口一只约需8001200元，国产的市场销售价300500元/只，钛酸锶厚膜氧传感器的生产成本不超过30元/只，加上销售成本每只20元，市场销售价可定位在200元300元/只，每只氧传感器的毛利润超过150元。另外氧传感器还可广泛的应用在火力电厂的锅炉燃烧过程的烟气含氧量检测，对含氧量的合理控制不仅可以节约燃料，还可减少环境污染，一台30万千瓦的发电机组使用烟道直插式，需30只氧传感器，目前使用的这种氧化锆式氧传感器进口价格为1500元2000元/只，使用寿命在半年左右。用在旁路烟道直插式的氧化锆式氧传感器进口价格为34万元/只，使用寿命为一年。而我国现有30万千瓦以上的发电机组约200台，所需氧传感器全部为进口。四、投资概况流动资金50万元，投资设备款约90万元左右（采购设备视企业资金能力可进口或国产，如厚膜印刷机：进口20万元，国产10万元）。主要生产设备厚膜印刷机 1台 烧结炉 1台激光调阻仪 1台 再流焊机 1台贴片机 1台 清洗机 1台烘干机 1台 测试台 1台按每年生产销售10万只氧传感器计算，产值超过2000万元，利税超过1500万元。钛酸锶（SiTiO3）厚膜氧传感器是以钛酸锶为主体材料的半导体式氧传感器，采用工艺成熟的厚膜工艺，适用于大规模生产。五、合作方式：技术转让、股份制合作新型环形电机消噪钛酸锶元件一、项目简介当电机转动时产生较大的电噪声，尤其是音像设备中的电机噪声对设备本身的音像质量产生很大的干扰并对绕组绝缘产生危害。环形SrTiO3元件套在电机轴上，三个电极与三个绕组并联，利用其压敏性和电容性有效地消除电机转动产生的电火花。其他电机也存在类似的问题。本研究成果不仅可较好地消除电机转动时产生的电火花。保护绕组绝缘，提高电机的可靠性延长寿命，而且对各类功能陶瓷的研究均有较普遍的理论意义，对开发新的功能陶瓷产品、优选配方、提高质量、优化工艺、降低成本、提高效益均有借鉴和指导作用，必将推动我国电子陶瓷行业的发展。二、主要技术指标该元件是以SrTiO(C2O4)24H2O或SrCO3TiO2为主材料，并掺入Cao、Nb2O5、La2O3、V2O5等添加剂，通过控制保温时间以及升、降温速率，使施主杂质向钙钛矿结构的晶粒中扩散，形成替位缺陷，使晶粒高度半导体化。通过合理的热处理，在晶界处形成薄的绝缘层，结果使元件的表面介电系数r很高（例如达十万）。通过添加剂的改性，晶界的势垒高度和耗尽层宽度与外加电压相关，当外加电压高于标称压敏电压时，晶界势垒发生隧道效应，阻值大大降低，具备了（电）压敏特性。目前我们所制备的样品的技术指标处国内领先地位（该产品目前国内尚无生产单位），达到九十年代初国际先进水平，各种具体指标如下表所示：以外径10.6mm的元件为例：压敏电压U10Ma（V）10mA1-10mA额定功率mw温度系数%静电容量nF2.0-4.23.03000.3050-1202.5-6.53.33000.3040-903.9-9.13.53000.3030-806.0-10.03.53000.3030-708.0-12.03.53000.3025-609.6-14.43.53000.3020-5511.2-16.83.53000.3020-45从电性能上讲，该元件有以下四个特点：1具有电压敏功能，可把瞬态过电压能量吸收掉，且易于低压化；2具有电容功能，可滤除高频干扰；3性能稳定，尤其是温度稳定性明显优于普通陶瓷电容器和ZnO压敏电阻器；4具有快的响应速度，对上升沿、下降沿小于5ns的陡波干扰有独特的滤除作用。当电机转动时电刷离合产生电火花，该电火花瞬时过电电压高，波形尖锐。对电子设备，尤其是随身听、录像机、录音机等音像设备和计算机的正常工作造成严重的干扰，仅利用电容器和ZnO压敏电阻器均不能彻底地消除电火花，而利用该元件可以有效地消除电机转动产生的电火花干扰，可大大提高电子设备的电磁兼容性（EMC），把它套在电机轴上，电极与电机绕组并联，在消除电机转动电火花的同时，保护电机绕组免受浪涌过电压的冲击，防止电机绕组绝缘被击穿，成为该应用的专用元件。三、市场前景随着用电器的功率、密度的迅速增加，电磁环境“污染”日趋严峻已严重影响人们正常生产、生活的进行，例如干扰信号可使手持电话机拨号发生错误、使计算机CPU的寻址发生错误，俗称程序“跑飞”，并破坏计算机中存储的信息，使自控系统产生误动作，影响摄录像机、音响设备、电视机的画质音质。这些众多污染中，电机转动的火花辐射干扰噪声是最严重的一个。自从改革开放以来，我国的手持电话、寻呼机、个人计算机、摄录像机、高级音响、CD、VCD、随身听等迅速普及并进入办公室和家庭，与此同时，吸尘器、空调、电风扇、电吹机、电动玩具等使用电动机的设备可说“同步”普及、进入家庭和办公室，这些电机转动时电刷处产生的瞬态电火花辐射严重影响其它电子设备的正常工作，摄录像机、音响、随身听的电机对自身的画质音质就造成严重损害，而且电火花的瞬态电压对电机的绕组绝缘也是一个严重的威胁，影响电机的寿命。以SrTiO3为主材料的环形电机消噪声元件是日本太阳诱电公司于八十年代后期研制开发的，美国、法国、荷兰等国也大力发展，目前日本在该领域产量、质量上处于领先地位，并仍处于强劲的发展中。我国至今仍没有该产品，目前在录像机、高级音响中所用的全从日本进口。国内某些单位为了应付市场对环形电机消噪元件的要求，目前只得用ZnO为主材料制造，但由于ZnO本身的相对介电系数r小、电容量小、响应慢，不能有效地消除高频噪声分量和陡波干扰，故急需研制表面介电系数高（例如r10万）响应快的环形电机消噪元件。97年国内生产的ZnO环形消噪元件和进口的SrTiO3环形消噪元件总量约为2-3亿只。制造环形电机消噪件的工艺、设备与其它陶瓷产品基本是相容的，若投资800-1000万元（若以有电子陶瓷的生产厂为基础，则所需投资大大降低）形成年产4000万只的生产能力，以每只0.3元计算，产值可达1200万元。该元件所用的材料均已国产化，其主材料SrCO3、TiO2和SrTiO(C2O4)24H2O均为40元/Kg，Nb2O5、La2O3等添加剂的单价较高（例如，Nb2O5为700元/kg），但各种添加剂的用量均很低，各种添加剂的摩尔数总和约为1%，以外径10.6mm的元件计算，每个元件的重约为0.3g，考虑到成品率等因素，每个元件的材料费仍低于0.03元，总材料费低于120万元。按目前的生产水平，约共需各类人员80名，按人均年工资1万元计算，共需人员费80万元，再考虑到销售费用、办公费用、场地、水电费等，利税率按40%计算，年利税可达480万元，可见其经济效益是巨大的。本产品的基本作用为消除电机转动时产生的电火花噪声，利于保护电磁环境，属“绿色卫士”产品，生产过程中也不产生任何“三废”。该产品的投产共需8名工作人员，其中40名可为一般熟练操作工人，可吸收其他工厂的下岗人员，减少下岗工人对社会的压力，产生较好的社会效益。四、所需的其它条件投资足额按时到位： 办公、生产场地约1000m2从事过电子、机械、物理、化工类的本科毕业以上技术人员10人以上，其中大部分应具有一定的实际工作经验。高可靠瓦斯报警矿灯本瓦斯报警矿灯是根据我国当前煤矿多次发生瓦斯爆炸事件，严重危害人身安全、影响正常生产而研制的监测设备。该报警系统的应用可减少煤矿突发事件的发生，可使煤矿做到安全生产，减少不必要损失。矿井瓦斯报警装置结构是由传感器与控制电路制造的，其外壳是目前广泛使用的KS-8型矿灯，在外壳上加上催化元件孔和音响也成作为电阻调节孔，并重新开模具后形成的。然后在矿灯内部装上报警电路，仅催化元件和音响元件在矿灯外壳开孔中，并不改变来矿灯的主要结构及原来蓄电池的型号。充电方式等均不改变，使用十分方便。附加报警装置这部分重量很轻，报警灯仅比不报警灯重2克（0.42两），戴在头上无重量增加之感。装置的电路部分采用集成电路等元件紧凑排列于上，功耗小，不怕干扰，稳定可靠。闪光报警形式其性能与英国进口样机相同，但重量比进口样机轻。音响报警形式音量大，声音宏亮。该技术水平处于国内领先。该报警矿灯的电路密封在矿灯壳体内，敏感器件通过铜粉沫治金防爆罩与外界空气接触，使用矿灯自身电源，当瓦斯超浓度时，其中一种是矿灯照明灯自身发出间歇闪光，另一种报警方式是矿灯上的蜂鸣器发出断续响亮的尖叫声。（这种方式更受到用户的欢迎）。需求和市场预测据“中国煤炭报”资料介绍，国内有六万个煤矿，800多万矿工，如按三班倒工作，普通矿灯需要量为260多万套，瓦斯报警矿灯已列入煤炭部89年11月发布85规化100例推广项目中的第58项。从该报警矿灯发明数年来又有山西、陕西、东北多家煤矿发生特大瓦斯爆炸事故，造成矿毁人亡，数千名矿工葬身于井下。许多地区煤炭工业厅说应该推广（或强行推广）这个产品。目前我们已无资力投入进行宣传、工艺改造和重新审验的资金。工艺技术方案产品需经过下述程序：1矿灯外壳（外加工）； 2.元件测试；3电路元件装配； 4.配气（1%CH4）；5报警精度调试； 6.老器件化车间。报警矿灯外壳由塑料厂加工，印制电路板由电路板厂加工，几个主要元件在国内均可购到。生产不需专门提供水、电、气。生产过程中对环境无污染。设备投资少。仅需电烙铁、电装工具、三用表、测试仪器、配气箱。生产厂房两间，库房一间、办公室兼销售一间。研制室一间。装配车间是净化场所，生产中不排除废气和废料，不存在环境污染情况。如果外壳、元件等备齐，普通高中生培训10天即可上岗。投资估算此项投资需33万元。设备投资8万元。外壳重开模具费3万元。以管理人员和生产人员全体20人计算需工资含旅差费大约3万元/月。另外新产品再鉴定检测费6万元。交通工具购车一辆10万元。经济效益分析计划年产36000套，暂时由人工焊接、调试生产。焊接调试人员总共15人，每月生产3000套，每人每天大约生产10套。全套成本110元，内销价180元。如仅瓦斯报警矿灯（不含电瓶）成本70元，销价为140元。毛利每只为70元，月产3000套，毛利21万元/月，年产3600套，毛利252万元/年。如果向外国出口售价升高。因为进出英国样品为180英镑1个。国际上大多数煤矿矿灯都为瓦斯报警的，使用这种矿灯是一种趋势，扩大了产量满足市场需求。我们的产值，利税还会加大。社会效益分析由于该产品能够保障煤矿安全生产和矿工的生命，因此对煤矿的安全生产有一定的推动作用。国内外市场需求量均很大，经济效益高，能给国家增加税收来源，支持国民经济建设。企业得到应有效益，产品会更新换代，并能开发出更多电子产品，更可接近国际先进水平。形成良好性循环。微型硅压力传感器一、项目简介压力传感器是目前敏感器件中应用最广、用量最大的器件，广泛应用在工业自动化、环保、航空航天、汽车工业、化工、医疗、大气和海洋测量等国民经济各领域和国防工业中，我国在压力传感器产品的研制、开发生产方面同国际先进水平还有相当差距，主要表现在产品的稳定性和可靠性较差，尚未达到工业化规模生产的阶段，因此成本高、生产效率低、无法同国外进口产品竞争，国内市场份额大部分被摩托罗拉等国际集团公司所占领。目前压力传感器产品采用最多的是半导体硅单晶材料制作的压阻式压力传感器。它利用了硅集成电路工艺中的平面工艺、能在一片硅片上同时制作几十至几百只管芯，使成品率大大提高，成本降低，性能得到了很大改善，但在硅杯的制作中仍然较多的使用磨杯技术，一个一个地做，效率很低，成品率也低，而且不能制作小量程范围使用的微压传感器。采用微机械加工技术和VLSI技术自行设计、研制和生产微型压力传感器在国内还是首次，其技术水平属于国内领先。本项目属微机电系统技术（MEMS）的新型传感器，不存在“三废”排放，符合国家科技政策。二、主要技术指标我们在对硅各向异性腐蚀性能进行了深入研究的基础上，采用硅平面工艺并结合微机械加工技术，可以批量制作硅杯，弹性膜厚控制精确、使量程调节十分方便，从而促进压力传感器产业化生产的实现。技术指标为：量程：0-10、50、100、200Kpa非线性：0.1% 迟滞：0.03%重复性：0.03% 零位温度系数：0.510-4/0C灵敏度温度系数：0.510-4/0C零位时间稳定性：0.1%(8h)满量程输出：30-50mv零位输出：10mv其关键技术及解决途径：1浓硼扩散，压焊点和互连内引线下面进行浓硼掺 杂，以大大提高焊点接触和互连线的可靠性。2电阻条掺杂：控制电阻条表面浓度以达到控制温度系数自补偿的关键技术。3表面钝化：要用Si-SiO2-Si3N4多层复合膜钝化技术，减小钝化膜应力的影响，提高稳定性可靠性。4双面对准光刻，用双面光刻机使正面电阻条位置与背面弹性膜图形严格对准。5硅杯制作：采用微机械加工技术，利用各向异性腐蚀原理进行硅杯的批量加工。6封装：采用无应力封装技术，对封装过程中引入的各种应力进行隔离，以提高传感器的稳定性和可靠性。三、市场前景以CQ80、CQ140、CQ190为代表的库利特探针型传感器和以8500系列为代表的恩德弗柯微型压力传感器主要用于航空航天技术，如航天飞行器的空气动力学风洞试验，发动机试验，流体力学试验，水工缩模试验等，仅库利特（Kulite）恩德弗柯（Endvco ）恩特兰（Entran）三个公司的产值即在2亿美元以上。我国在风洞试验，发动机进气道试验，航天飞行器，水下导弹试验，军事医学、心脏及泌尿外科医学测试，颅脑外科临床监护，水工大坝，闸门缩模试验，水利动力学试验，烟机、纺机等许多领域均有很大市场。微型传感器以3mm,2mm,5mm探针型为主，包括小型螺纹型、盘扣型、导管端及导管侧壁型等特殊形状以3mm(3.2mm)为主导产品，国内年需求量在2000支以上，年产值400万元以上。四、投资概算视生产品种及产量规模而定。微型传感器的价格较贵，因为芯片制作难度及装配难度很高，模具费用昂贵，合格率低，美国低档级压阻压力传感器单价为30-80美元，工业仪表用压力传感器300-500美元，微型传感器为650-1200美元。国内航空、水下兵器等年需微型压力传感器约1000支，按2000元/支计算，可获年产值200万元；国内水工模型、空气及水流动力学试验所需约800支，按1500元/支计算，可获年产值120万元。国内脑外科、泌尿外科、胸外科、年需求约1000支，按2000元/支计算，可获年产值200万元。国内纺机、烟机等工业用途，年需求约500支，按1500元/支计算，可获年产值75万元。微型压力传感器规模投产后，每支成本不超过300元/支，按年产3000支微型压力传感器，年产值600万元，年利税超过400万元；并填补了国内生产空白，替代进口，为国家节约外汇，有明显的社会效益和经济效益。五、合作方式：技术转让、联办企业汽车核心芯片（研究）开发一、项目简介目前，从经济型汽车到豪华型汽车，各种汽车采用的微控制器和IC越来越多，即使在半导体产业处于最严重的衰退时期，汽车产业采用的芯片数量依然保持增长。目前汽车制造商正在用电子器件取代机械与电机设备，现在即使是最便宜的汽车也配备有50个微控制器，这个数量是五年前的两倍，至于宝马（BMW）的S级车，拥有的控制器数量超过100个。国内在汽车发动机电子控制、汽车制动系统电子控制、汽车安全及故障诊断系统和汽车用无触点点火厚膜电路等方面进行了开发研究并开始小批量试生产，但由于汽车电子涉及领域宽，需要的测试和分析手段复杂，所需设备价格昂贵，导致新产品开发过程不顺利。二、开发的主要芯片：1 汽车用娱乐芯片的开发；2 汽车发动机电子控制系统有关芯片：汽车电子点火装置，电子燃油喷射系统和发动机综合控制系统；3 汽车安全及故障诊断芯片：汽车防撞系统，汽车安全系统，汽车安全报警设备，GPS汽车防盗系统和汽车检测仪器仪表；4 汽车专用集成电路和混合集成电路；5 汽车电子装置用可编程存储器主要工作为进行系统设计，电路设计和版图设计，建立汽车用芯片的设计和研制平台。通过研究，掌握汽车用芯片的核心技术，完成实用工作，为汽车工业和信息产业服务。三、市场前景据市场分析，中国与汽车相关的半导体消费预计将以每年28%的速度递增。汽车芯片市场到2007年将从2002年的4.16亿美元增长到14.5亿美元。中国汽车芯片市场预计占全球芯片消费量的10%。据iSuppli的报告称，中国已经是一个庞大的汽车市场。到2007年，中国将成为全球最大的汽车娱乐系统生产基地。例如，在2007年，中国的汽车立体声音响彻云霄系统的产量将占全球产量的39%。同时，中国对其它类型的汽车电子产品的需求也将迅速增长。这些需求包括发动机控制器、包含多种仪表的电子仪表板、遥控中央门锁控制系统、电子防抱死系统和空气囊等。动态高输出二维力敏传感器一、项目简介“动态高输出二维力敏传感器”是力敏传感器开关中的核心部件。通过传动装置对动态高输出二维力传感器X-Y平面3600方向施加推力，传感器的输出电压产生0V-1.5V的变化量。提供操纵综合航电多功能显示器及平显的人机对话器件，用于进行显示目标捕捉、锁定及菜单选择。由于该力敏传感器（美国MASON公司的896-4102 With STD-644-07元件）。是在高性能飞机的HOTAS手柄上使用的高技术产品，美国作为具有军事、政治敏感性的物资管理，对华实施禁运，我国已投入经费进行研究。目前为止，已经完成该项产品的原理设计，数据分析，通过采用精密机构加工技术、半导体硅扩散技术等技术手段，解决了该产品在灵敏度、小距离限位保护、输出对称性、极间耦合、大动态范围线性化等一系列技术难点。实验结论证明课题组对本产品的研制采用的技术路线可行，已经解决了该产品国产化研制中的主要技术难题，可在一定范围内替代国外进口从而打破国外的技术封锁。二、技术指标1 量程：14.7N2 应变片两极激励电压：7.5VDC或15VDC；3 灵敏度：0.1VDC/N20%；4 线性度：1%5 最大输出（到止动）：1.50VDC(相对7.5VDC或者说5VDC激励电压)；6 温度灵敏度系数：0.2%F.S/；7 零电位：零位误差激励电压7.5VDC或15VDC，温度为232，-80mV+80mV或7.42V7.50V7.58V；8 零痊迟滞：0.5%F/S，按钮释放后一秒钟内的值；9 静态电阻：每个桥臂的电阻为1k，各桥臂的电阻对称性不大于1%；10使用温度：-55-85；11绝缘电阻：50VDC，100M；12使用温度：-55-85；13绝缘电阻：50VDC，100M；14寿命：10万次工作循环，产品在X、Y二轴向4方向上分别施加最大工作力为1次工作循环。三、市场前景该产品主要用于航空工业领域，现已为某厂提供了产品。希望与航空科技集团企业密切合作，尽快为我国航空工业的发展做出贡献。h:nTiY4vjX?JhuSlHFomSSAmwq6TKEf4Y5UMphGteI:fWIUqE0Ngo7O6gfH1uEOZBjE;xC5kSNRpYo=Jg|Ai8C:2LC8RSHAWD6XzCXHQtnhAqZ44F;?Sgd3nmKQxj7EBeYPgNJSKRhxWfeJwIeUYVQaifQbyg;WejZdWEHZUkvrpTCMQ?_vWM3tsdNWFhTo0e;?vlx4mVqOMgiFQVly_VI7MSO?HLHOz5wTZD_mKwQA|fJyj|3SYvat65u5qpJvKFogBxGKF8wAr?e0PvdhO0eqplaan|tZNWbSBVEyyDhfcEGE8m1ECOSBjLQbSHq7BjTfnfM2sEQd0A_t5swPqw;jEj:Xti5F7l8y7s|O;iZXE41xjzlb=JXrSGP0av8yY?k4QaFkCJ:kKw:yGB6|i4S_o=LKMGiEoev:Nfj96oxTdjxtUPlygi9Cw3eFvPe:9aM=ZEXuicK9hyB_66aZqpWU8AF_5Zx9Hw5nQmx:0VkbPjzBPeecSw?iVPWIZmgyQvN:MdOKBkM|63:Bk3mAb7pkKDdWRCjc:DFx9S5nuB21_:inUW8SNM_sTZl:Zj7=Bi_aVI:=zPFn8:l_69HlYBteFl8cSA8pjHEBBG9?0M3;Ch;ocZk|TV2|C1TUN0Uo_4_yrnm1KGTJQclcmjn|sdj:8tb2mnGTHUs?9ChsEpA_Rx6cG8JxoxAd?DY2TXpGm_To=Jgw?:w2gD3gNFwikGARouO6k4v:MW|q7d4Zn=ARj0w47o9ic9e19ysxT69E94XIZN6CAI56yPt3Fu5p4=1?U2ElqVbeHhJwKDm_WJ;8U99rYZr_DdiTPHqIhmo1Bv9IkAnJc?XLMqPVld?Vizwios3tvFRMDsSi824SD