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文档简介

玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析,内容1.化学薄化设备介绍2.化学薄化工艺介绍3.主要不良案例分析,一、化学薄化设备介绍,设备组成：Loader单元预清洗单元蚀刻单元清洗单元干燥单元Unloader单元洗气装置供酸装置温度控制器HF酸浓度计,化学薄化设备实图,二、化学薄化工艺介绍,1.反应时间与玻璃质量损失的关系（注：图表中所研究玻璃为石英玻璃）,图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系,2.反应速率与反应温度的关系,图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系,3.反应速率与HF酸浓度的关系,图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系,说明反应速率与(HF)2的浓度有很大的相关性，是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的HF键比HF分子中的HF键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。,三、主要薄化不良案例分析,1.不可擦拭脏污,脏污区域,正常区域,可判定不可擦拭脏污在蚀刻过程中产生,结论：薄化前的玻璃表面品质直接决定薄化后玻璃表面品质,测量系统,环境,材料,工艺方法,设备,人,检查方法,检查工具,温度,照度,湿度,胶的黏度,无尘布去污性能X3,无尘布更换频度X2,擦拭方法X1,工作技能,识别脏污能力,清洁度,工具,产生脏污,接触位置,酒精浓度X4,接触次数,2.薄化表面不匀,薄化表面不匀产生原因：1.Conveyer故障处理故障必须先停止蚀刻液供应，必将造成玻璃表面药液残留，继续与玻璃进行蚀刻速率不一致的反应。形成水波纹状表面不匀2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式）瀑布流平台由于蚀刻后反应物堆积造成分叉，玻璃传送至分叉位置时蚀刻速率降低造成局部不平整。3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）Nozzle堵塞造成玻璃局部蚀刻液更新不及时，间接降低药液浓度，从而降低蚀刻速率，形成表面不匀。,薄化表面不匀对显示的影响,光线透过玻璃表面，在表面不匀处形成折射，造成光的垂直分量减弱，与周围正常相比产生亮度的差异。,薄化表面不匀改善方向（以瀑布流蚀刻方式为例）,1.对循环药液储罐增加过滤装置，防止蚀刻产物堆积在瀑布流平台，造成瀑布流分叉。2.增加瀑布流平台的保养频度，及时清理瀑布流平台的堆积产物。3.调整蚀刻液配方，使部分蚀刻产物溶于蚀刻液中，减少堆积和堵塞。,强力推荐!大量电子行业电子企业/工厂方面(涵盖LCD/LCM/TFT/TP/3D/POL实战技术）。包括多家著名电子企业的内部管理制度,表格,流程,成本,绩效考核,供应链,质量管理,
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