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文档简介
.,半导体封装知识培训生产部2011-09-06,.,ICProcessFlow,Customer客户,ICDesignIC设计,WaferFab晶圆制造,WaferProbe晶圆测试,Assembly,.,DieAttach芯片粘接,WriteEpoxy点银浆,DieAttach芯片粘接,EpoxyCure银浆固化,EpoxyStorage:零下50度存放;,EpoxyAging:使用之前回温,除去气泡;,EpoxyWriting:点银浆于L/F的Pad上,Pattern可选;,.,DieAttach芯片粘接,芯片拾取过程:1、EjectorPin从wafer下方的Mylar顶起芯片,使之便于脱离蓝膜;2、Collect/Pickuphead从上方吸起芯片,完成从Wafer到L/F的运输过程;3、Collect以一定的力将芯片Bond在点有银浆的L/F的Pad上,具体位置可控;4、BondHeadResolution:X-0.2um;Y-0.5um;Z-1.25um;5、BondHeadSpeed:1.3m/s;,.,FOLDieAttach芯片粘接,EpoxyWrite:Coverage75%;,DieAttach:Placement99.95%的高纯度的锡(Tin),为目前普遍采用的技术,符合Rohs的要求;Tin-Lead:铅锡合金。Tin占85%,Lead占15%,由于不符合Rohs,目前基本被淘汰;,.,Form(成型),CuttingTool&FormingPunch,CuttingDie,StripperPad,Formi
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