气体动力08-01-化学品供应系统的介绍及应用

,化学品供应及回收系统,吕广浩,目录1、化学品系统综述2、化学品系统的流程介绍,划,当今电子产品已渗透到科研、生产和生活的各个方面，电子信息技术是现在和未来科学技术发展的三大领域之一。生产电子产品所需的直接材料和工艺材料大体上可归纳成金属材料、半导体材料、无机非金属材料和化学材料等四大类。在化学材料中，又可大致分为有机电子材料和电子工业用化学品两大类。在电子芯片、晶圆制造、太阳能光伏、LED、PDP、光电等都会使用到高纯度化学品，高纯度化学品在电子厂房中的主要作用有以下几点：供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案供应高纯度化学品以显影芯片图案供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物供应高纯度化学品以研磨芯片供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件,划,1、化学品系统综述：化学品系统包括化学品供应系统和化学品回收系统，具体使用的化学品种类根据每个FAB产品的不同而不同:1）ChemicalDispensingSystem化学品供应系统：酸性：HF，HF/HNO3、BHF、CuSO4ALETCHANT(H3PO4/AceticAcid/HNO3)、ITOETCHANT(OxalicAcid、HNO3&HCL)、CrETCHANT(ACN&HNO3、)SiETCHANT(HF0.49%49%)、ITORework(HCL&FeCL3)H2SO4、H2O2等碱性：DEV、NH4OH29%。TMAH(25%、2.38%)、KOH(45%)、NaOH、Na2CO3、LGL等有机溶剂：IPA异丙醇、DEV-3、RINSE#1、BM73(BDG70%+MEA30%)、EBR-X(PGMEA+ADDITIVES)、EBR-100、Thinner(PGME30%+PGMEA70%)、DMSO、MEA、BDG、PGME、PGMEA、NMP、NBA、IPA、Alcohol、Acetone、Ethanol、TPN、BCA、SEMT-OT、ST3000等,划,1、化学品系统综述：2）化学品回收系统：光刻胶Resist、STRIPPER剥离液(EKC、SST-A2、ORP、N311、T106、PGMEA、PGME)、异丙醇、硫酸废液、硫酸铜废液回收等酸、碱液体的供给系统管路采用双套管：内管和外套管。内管采用PFA管，用于输送化学药品；外套管采用透明的PVC（CLEAR-PVC）管套于内管外部，用于保护、承托内管和防止药液自内管泄漏时产生的危害。PFA即聚四氟乙烯，其管材柔韧性好、可弯曲、外观透明。PFA管道具有优越的耐酸、碱腐蚀性能；管道内壁光滑、耐磨、洁净，是理想的化学药品输送材料。有机化学药液的闪火点一般较低，需要考虑防火和防爆要求，那就需要采用SUS的管道来满足防火和防爆的要求，有些有机化学药液是腐蚀性的，这时候就要考虑内管选用PFA，外管选用SUS304AP管，不具有腐蚀性的，一般选择管道材质为SUS316BA或者SUS316EP。SUS316BA管采用光亮退火方式加工而成。SUS316LEP管采用电解研磨方式加工而成。化学品回收系统材质可选用CPVC管或者CPVC+ClearPVC管。,划,2、化学品的流程介绍下面简要介绍一般化学品的输送流程：化学品输送一般分为化学泵输送、重力输送、惰性气体输送、水力输送，下面主要介绍化学泵输送。按照工艺设备对化学品的使用量进行设计，一般根据用量的多少选择不同的供给储罐、化学药液的储罐分为大型（StorageTank12m3）、中型（Tote1m3）、小型（Drum200L）。大型的储罐供给需要由化学品储罐车（TANKLORRY）运输过来的化学品经过N2或者CDA加压后送至Unit，经Unit内部的磁力泵(MAGNETICPUMP)加压后送至化学品储罐（STORAGETANK），然后储罐内化学品由外部磁力泵(MAGNETICPUMP)加压后送至Unit，经终端过滤（FINALFILTER）后送至厂房内经TB(TeeBox)、EB(EndBox)、VMB（ValveMultifoldBox）、送至化学品的各个使用点（POU）。同时为了输送化学品介质系统的稳定性，在TANKLORRY、STORAGETANK、Unit中都设置了CDA、VENT管路。这里要注意的是：不同的STORAGETANK可以由同一个输送化学品的管路来供给，但是需要设置单独的CDA、VENT管路。中型和小型的储罐供给直接由磁力泵(MAGNETICPUMP)加压经终端过滤（FINALFILTER）后送至厂房内经TB(TeeBox)、EB