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.,TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介,.,Contents,.,减薄的作用,1.减少占有的空间2.使Glass达到一定的柔性,.,减薄工艺简介,.,封胶,一般在这之前还会进行检查。,涂胶后静置1min。,清除多的UV胶。,UV固化后检查,.,封胶,UV固化,UV灯,涂胶后检查,涂胶,加盖遮光垫,.,原理及方式,单片直立喷洒,瀑布流,多片直立浸泡,原理,1,2,3,4,减薄原理及方式,6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O,液体+固体（玻璃）-液体,.,单片直立喷洒,瀑布流,优点：1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片缺点：1.蚀刻表面易产生凹点。,优点：1.表面最光滑，甚至可以不用抛光,三种方式优缺点,.,Textinhere,蚀刻,清洗,减薄,减薄流程,.,减薄设备,其余组件：供酸装置HF酸浓度计温度控制器洗气装置,.,减薄工艺参数,1.反应时间与玻璃质量损失的关系,图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系,.,减薄工艺参数,2.反应速率与反应温度的关系,图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系,.,减薄工艺参数,3.反应速率与HF酸浓度的关系,图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系,说明：(HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的HF键比HF分子中的HF键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。,.,减薄清洗单元（后）,清洗,外观检查,Polishing,外观检查,Reject,研磨,15,.,减薄工艺自身不良,.,减薄工艺自身不良,玻璃本身含有杂质.,1.除胶未干净，有残留2.PT等未清洗干净,1.设备故障（Conveyer）2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式）3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）,玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致,工艺设备,玻璃表面,玻璃本身,.,Slimming后划伤,.,Slimming后划伤,LiftPin凹点,.,Slimming后划伤,2.Robot吸盘凹点,.,Slimming后划伤,3.轮印,.,造成B-ITO不良,现象：ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀，类似产品表面水干燥后残留的印记。原因：BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性
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